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一種光譜共焦測(cè)量系統(tǒng)在線標(biāo)定裝置與方法與流程

文檔序號(hào):11260970閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種光譜共焦測(cè)量系統(tǒng)在線標(biāo)定裝置和方法,該裝置包括白光寬光譜光源、濾光片、雙分支光纖、光纖出射光束、色散物鏡、色散物鏡出射光束、待測(cè)物、位移傳感器、光譜儀和計(jì)算機(jī),該方法包括轉(zhuǎn)動(dòng)濾光片的濾光片輪,讓白光寬光譜光源發(fā)出的寬光譜白光光束通過(guò)各單色濾光片,通過(guò)計(jì)算得到被測(cè)物的位移d和波長(zhǎng)λ之間的關(guān)系dλ=a+bλ,完成光譜共焦測(cè)量系統(tǒng)在線標(biāo)定。該裝置和方法實(shí)現(xiàn)了不同使用環(huán)境下光譜共焦測(cè)量系統(tǒng)的快速在線標(biāo)定。

技術(shù)研發(fā)人員:齊月靜;盧增雄;楊光華;齊威;蘇佳妮;張清洋;李兵;王宇
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國(guó)科學(xué)院光電研究院
技術(shù)研發(fā)日:2017.04.14
技術(shù)公布日:2017.09.19
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