技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種真空鍍膜腔體檢漏系統(tǒng)及檢漏方法，包括：被檢真空腔體、檢漏裝置、電控系統(tǒng)，被檢真空腔體下側(cè)連接有檢漏裝置，電控系統(tǒng)連接控制檢漏裝置，所述被檢真空腔體側(cè)壁上裝有破空裝置I和真空檢測元件I，所述檢漏裝置包括高真空泵、前級泵組I、前級泵組II、真空檢測元件、破空裝置、氦質(zhì)譜檢漏儀、噴氦系統(tǒng)，高真空泵通過法蘭盤直接安裝在被檢真空腔體的側(cè)壁上，前級泵組I、前級泵組II通過真空管道串聯(lián)，后通過高真空蝶閥I與高真空泵串聯(lián)；本發(fā)明采用自動控制系統(tǒng)，對電氣元器件具有一鍵操作功能；本發(fā)明具有檢漏靈敏度高，能夠精確定位漏孔位置并可定量評判漏點大小等優(yōu)點。同時，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單，易操作的優(yōu)點。

技術(shù)研發(fā)人員：羅松松;張仰平;王東;張勇杰;王程;王翔宇
受保護的技術(shù)使用者：凱盛重工有限公司
文檔號碼：201710191928
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.28
技術(shù)公布日：2017.06.06