本發(fā)明涉及真空腔體檢漏技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種真空鍍膜腔體檢漏系統(tǒng)及檢漏方法。

背景技術(shù)：

玻璃改性工藝用真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進行的玻璃鍍膜。鍍膜玻璃生產(chǎn)線真空裝備是鍍膜玻璃生產(chǎn)線中關(guān)鍵設備之一，鍍膜段高本底真空和腔體的低漏率是生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)鍍膜玻璃的前提和保證。因此，所加工的真空鍍膜腔體不僅要求快速的抽空，而且要求本底真空＜8×10^-6mbar，腔體漏率＜1×10^-7mbar.l/s，為保證本底真空及漏率，真空腔體必須采用氣密性焊接方式，對焊縫質(zhì)量要求極為嚴格，只有達到以上關(guān)鍵性工藝技術(shù)，才能最終保證鍍膜玻璃膜層的均勻性和穩(wěn)定性。

傳統(tǒng)的檢漏方法主要有加壓檢漏法和真空檢漏法。加壓檢漏法在被檢容器內(nèi)充入一定壓力的鹵素氣體，當容器上存在漏孔時，氣體便從漏孔中逸出，檢漏時，用探頭在外部尋找漏孔。該方法存在檢漏靈敏度低和不能精確定位的問題。真空檢漏法是將被檢容器內(nèi)部抽空后，再把試驗物質(zhì)施于容器外表可疑位置。如有漏孔，試驗物質(zhì)便通過漏孔進入容器，通過一些方法或儀器指示出來，從而可判斷出漏孔的位置和大小。玻璃鍍膜腔體制造廠家一般利用擴散泵進行抽真空檢漏，但該方法存在本底真空度低和高污染的問題，并且對更微小的漏孔難以檢漏。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明所解決的技術(shù)問題在于提供一種真空鍍膜腔體檢漏系統(tǒng)及檢漏方法，以解決上述背景技術(shù)中的問題。

本發(fā)明所解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：一種真空鍍膜腔體檢漏系統(tǒng)，包括：被檢真空腔體、檢漏裝置、電控系統(tǒng)，被檢真空腔體下側(cè)連接有檢漏裝置，電控系統(tǒng)連接控制檢漏裝置，所述被檢真空腔體側(cè)壁上裝有破空裝置I和真空檢測元件I，所述檢漏裝置包括高真空泵、前級泵組I、前級泵組II、高真空蝶閥I、高真空蝶閥II、真空檢測元件、破空裝置、氦質(zhì)譜檢漏儀、噴氦系統(tǒng)，高真空泵通過法蘭盤直接安裝在被檢真空腔體的側(cè)壁上，前級泵組I、前級泵組II通過真空管道串聯(lián)，后通過高真空蝶閥I與高真空泵串聯(lián)；在高真空蝶閥I與前級泵組I之間的主真空管道上，通過三通管道與被檢真空腔體之間設有一支路真空管道，所述主真空管道和支路真空管道在適當位置通過波紋管連接，所述支路真空管道與被檢真空腔體通過高真空蝶閥II連接；高真空蝶閥I與前級泵組I之間的真空管道上安裝有真空檢測元件II和破空裝置II，并且預留檢漏口閥門，氦質(zhì)譜檢漏儀通過檢漏口閥門連接到真空泵抽系統(tǒng)中；所述高真空泵、前級泵組I、前級泵組II、高真空蝶閥I、高真空蝶閥II、真空檢測元件I、真空檢測元件II通過電纜與電控系統(tǒng)連接。

所述前級泵組I為羅茨泵，前級泵組II為旋片泵或螺桿泵。

所述高真空泵為渦輪分子泵。

所述高真空泵的排氣口通過手動角閥以及波紋管連接到主抽氣管路中。

所述高真空泵為水冷泵，且在循環(huán)冷卻管路上需串聯(lián)水流量開關(guān)。

所述破空裝置I通過氣動角閥I連接到被檢真空腔體和真空管道上,破空裝置II通過氣動角閥II連接到被檢真空腔體和真空管道上，所述氣動角閥I、氣動角閥II通過電纜與電控系統(tǒng)連接。

所述真空檢測元件I為復合電離規(guī)，可檢測真空度范圍5x10^-9～1000mbar；所述真空檢測元件I通過手動角閥與被檢真空腔體連接。

所述真空檢測元件II為標準皮拉尼規(guī)，可檢測真空度范圍5x10^-4～1000mbar；所述真空檢測元件II通過KF型法蘭接口與主真空管道連接。

一種真空鍍膜腔體檢漏方法，包括以下步驟：

S101.首先檢查電氣接線及各管路連接，確保各電氣元器件接線正確以及硬件管路連接正確；

S102.接通柜外電源，閉合柜內(nèi)斷路器；

S103.開啟循環(huán)冷卻水系統(tǒng)；

S104.在電控顯示屏上依次按下旋片泵和羅茨泵啟動按鈕；

S105.打開分子泵管路手動角閥，至最大開度；打開主真空管道氣動蝶閥；

S106.待腔體真空度達到8x10^-2mbar時，在電控顯示屏上按下分子泵啟動按鈕；

S107.待被檢真空腔體真空度達到5x10^-5mbar時，開啟檢漏儀，待自檢完成后，打開檢漏口閥門，此時可對被檢真空腔體利用噴氦系統(tǒng)進行檢漏操作。

S108.待檢漏完成后，關(guān)閉分子泵；

S19.等待15～20分鐘，待分子泵停止之后關(guān)閉主真空管道氣動蝶閥；

S110.在電控顯示屏上依次關(guān)閉羅茨泵和旋片泵；

S111.依次打開主真空管道破空角閥和腔體破空角閥，進行破空；

S113.斷開循環(huán)冷卻水.斷開柜內(nèi)斷路器，斷開柜外電源，完成真空鍍膜腔體的檢漏。

與已公開技術(shù)相比，本發(fā)明存在以下優(yōu)點：本發(fā)明采用自動控制系統(tǒng)，對電氣元器件具有一鍵操作功能；本發(fā)明具有檢漏靈敏度高，能夠精確定位漏孔位置并可定量評判漏點大小等優(yōu)點。同時，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單，易操作的優(yōu)點。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的檢漏系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明的檢漏方法流程示意圖。

具體實施方式

為了使本發(fā)明的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、工作流程、使用方法達成目的與功效易于明白了解，下面將結(jié)合本發(fā)明實施例，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

如圖1、圖2所示，一種真空鍍膜腔體檢漏系統(tǒng)，包括：被檢真空腔體1、檢漏裝置、電控系統(tǒng)，被檢真空腔體1下側(cè)連接有檢漏裝置，電控系統(tǒng)連接控制檢漏裝置，所述被檢真空腔體1側(cè)壁上裝有破空裝置I2和真空檢測元件I3，所述檢漏裝置包括高真空泵4、前級泵組I11、前級泵組II12、高真空蝶閥I7、高真空蝶閥II14、真空檢測元件II8、破空裝置II9、氦質(zhì)譜檢漏儀15、噴氦系統(tǒng)16，高真空泵4通過法蘭盤直接安裝在被檢真空腔體1的側(cè)壁上，前級泵組I11、前級泵組II12通過真空管道串聯(lián)，后通過高真空蝶閥I7與高真空泵4串聯(lián)；在高真空蝶閥I7與前級泵組I11之間的主真空管道上，通過三通管道與被檢真空腔體1之間設有一支路真空管道，所述主真空管道和支路真空管道在適當位置通過波紋管連接，所述支路真空管道與被檢真空腔體1通過高真空蝶閥II14連接；高真空蝶閥I7與前級泵組I11之間的真空管道上安裝有真空檢測元件II8和破空裝置II9，并且預留檢漏口閥門13，氦質(zhì)譜檢漏儀15通過檢漏口閥門13連接到真空泵抽系統(tǒng)中；所述高真空泵4、前級泵組I11、前級泵組II12、高真空蝶閥I7、高真空蝶閥II14、真空檢測元件I3、真空檢測元件II8通過電纜與電控系統(tǒng)17連接。

具體的，所述前級泵組I11為羅茨泵，前級泵組II12為旋片泵或螺桿泵。

具體的，所述高真空泵4為渦輪分子泵，根據(jù)工藝要求可多臺并聯(lián)使用。

具體的，所述高真空泵4的排氣口通過手動角閥501以及波紋管連接到主抽氣管路中。

具體的，所述高真空泵4為水冷泵，且在循環(huán)冷卻管路上需串聯(lián)水流量開關(guān)6。

具體的，所述破空裝置I2通過氣動角閥I101連接到被檢真空腔體1和真空管道上,破空裝置II9通過氣動角閥II102連接到被檢真空腔體1和真空管道上，所述氣動角閥I101、氣動角閥II102通過電纜與電控系統(tǒng)17連接。

具體的，所述真空檢測元件I3為復合電離規(guī)，可檢測真空度范圍5x10^-9～1000mbar；所述真空檢測元件I3通過手動角閥502與被檢真空腔體1連接。

具體的，所述真空檢測元件II8為標準皮拉尼規(guī)，可檢測真空度范圍5x10^-4～1000mbar；所述真空檢測元件II8通過KF型法蘭接口與主真空管道連接。

實施例1

一種真空鍍膜腔體檢漏系統(tǒng)，包括：被檢真空腔體1、檢漏裝置、電控系統(tǒng)，被檢真空腔體1下側(cè)連接有檢漏裝置，電控系統(tǒng)連接控制檢漏裝置，所述被檢真空腔體1側(cè)壁上裝有破空裝置I2和真空檢測元件I3，所述檢漏裝置包括高真空泵4、前級泵組I11、前級泵組II12、高真空蝶閥I7、真空檢測元件II8、破空裝置II9、氦質(zhì)譜檢漏儀15、噴氦系統(tǒng)16以及電控系統(tǒng)17，高真空泵4通過法蘭盤直接安裝在被檢真空腔體1的側(cè)壁上，前級泵組I11、前級泵組II12通過真空管道串聯(lián)，后通過高真空蝶閥I7與高真空泵4串聯(lián)；高真空蝶閥I7與前級泵11之間的真空管道上安裝有真空檢測元件II8和破空裝置II9，并且預留檢漏口閥門13，氦質(zhì)譜檢漏儀15通過檢漏口閥門13連接到真空泵抽系統(tǒng)中；其中，高真空泵4、前級泵組I11、前級泵組II12、高真空蝶閥I7、真空檢測元件I3、真空檢測元件II8等通過電纜與電控系統(tǒng)17連接。

在該實施例中，前級泵組I11、前級泵組II12為羅茨泵和旋片泵的組合，或者羅茨泵和螺桿泵的組合，通過真空泵的合理匹配，達到提高抽真空的效率。高真空泵4采用渦輪分子泵，且根據(jù)工藝要求可多臺并聯(lián)使用。高真空泵4的排氣口通過手動角閥501以及波紋管連接到主抽氣管路中，方便連接的同時，可根據(jù)工藝需要通過手動角閥501及時隔離開某臺分子泵。高真空泵4為水冷泵，且在循環(huán)冷卻管路上需串聯(lián)水流量開關(guān)6，用以實時監(jiān)測分子泵冷卻水流量，防止意外斷水對分子泵的損壞。破空裝置I2、破空裝置II9通過氣動角閥I101、氣動角閥II102分別連接到被檢真空腔體1和主真空管道上，所述氣動角閥I101、氣動角閥II102通過電纜與電控系統(tǒng)17連接。安裝在被檢真空腔體1上的真空檢測元件I3為復合電離規(guī)，可檢測真空度范圍5x10^-9～1000mbar，并通過手動角閥502與被檢真空腔體1連接。安裝在主真空管道上的真空檢測元件II8為標準皮拉尼規(guī)，可檢測真空度范圍5x10^-4～1000mbar，并通過KF型法蘭接口與主真空管道直接連接。主真空管道在適當位置可設置波紋管連接，以減小真空泵工作時的震動對整個系統(tǒng)的影響。

進行真空檢漏時，S101首先檢查電氣接線及各管路連接，確保各電氣元器件接線正確以及硬件管路連接正確；S102接通柜外電源，閉合柜內(nèi)斷路器；S103開啟循環(huán)冷卻水系統(tǒng)；S104在電控顯示屏上依次按下旋片泵或螺桿泵和羅茨泵啟動按鈕；S105打開分子泵4管路手動角閥，至最大開度；打開主真空管道氣動蝶閥7；S106待被檢真空腔體1真空度達到8x10^-2mbar時，在電控顯示屏上按下分子泵4啟動按鈕；S107待被檢真空腔體1真空度達到5x10^-5mbar時，開啟檢漏儀15，待自檢完成后，打開檢漏口閥門13，此時可對被檢真空腔體1利用噴氦系統(tǒng)16進行檢漏操作。待S108檢漏完成后，S109關(guān)閉分子泵4；S110等待15～20分鐘，待分子泵4停止之后關(guān)閉主真空管道氣動蝶閥I7；S111在電控顯示屏上依次關(guān)閉羅茨泵和旋片泵或螺桿泵；S112依次打開主真空管道氣動角閥I101和腔體氣動角閥II102，進行破空；S113斷開循環(huán)冷卻水；S114斷開柜內(nèi)斷路器，斷開柜外電源，完成真空鍍膜腔體的檢漏。

該實施例具有本底真空度高，檢漏精度高，能夠檢出更微小的漏點，且定位精確，適應性強。

實施例2

一種真空鍍膜腔體檢漏系統(tǒng)，包括：被檢真空腔體1、檢漏裝置、電控系統(tǒng)，被檢真空腔體1下側(cè)連接有檢漏裝置，電控系統(tǒng)連接控制檢漏裝置，所述被檢真空腔體1側(cè)壁上裝有破空裝置I2和真空檢測元件I3，所述檢漏裝置包括羅茨泵、旋片泵或螺桿泵、高真空蝶閥II14、真空檢測元件II8、破空裝置II9、氦質(zhì)譜檢漏儀15、噴氦系統(tǒng)16以及電控系統(tǒng)17，羅茨泵、旋片泵或螺桿泵通過真空管道串聯(lián)，后通過高真空蝶閥II14與被檢真空腔體1連接；高真空蝶閥II14與羅茨泵之間的真空管道上安裝有真空檢測元件II8和破空裝置II9，破空裝置I2、破空裝置I9通過氣動角閥I101、氣動角閥II102分別連接到被檢真空腔體1和真空管道上，所述氣動角閥I101、氣動角閥II102通過電纜與電控系統(tǒng)17連接。安裝在被檢真空腔體1上的真空檢測元件I3為復合電離規(guī)，可檢測真空度范圍5x10^-9～1000mbar，并通過手動角閥502與被檢真空腔體1連接。安裝在真空管道上的真空檢測元件II8為標準皮拉尼規(guī)，可檢測真空度范圍5x10^-4～1000mbar，并通過KF型法蘭接口與主真空管道直接連接。真空管道預留檢漏口閥門13，氦質(zhì)譜檢漏儀15通過檢漏口閥門13連接到真空泵抽系統(tǒng)中。真空管道在適當位置可設置波紋管連接，以減小真空泵工作時的震動對整個系統(tǒng)的影響。其中，羅茨泵、旋片泵或螺桿泵、高真空蝶閥II14、真空檢測元件I3、真空檢測元件I I8等通過電纜與電控系統(tǒng)17連接。

進行真空檢漏時，首先檢查電氣接線及各管路連接，確保各電氣元器件接線正確以及硬件管路連接正確；接通柜外電源，閉合柜內(nèi)斷路器；如真空泵需水冷，則開啟循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，并在冷卻管路上安裝水流量開關(guān)6；在電控顯示屏上依次按下旋片泵或螺桿泵和羅茨泵啟動按鈕；打開真空管道氣動蝶閥II14，對被檢真空腔體1進行抽真空；待腔體真空度穩(wěn)定之后，開啟檢漏儀15；待自檢完成后，打開檢漏口閥門13，此時可對被檢真空腔體1利用噴氦系統(tǒng)16進行檢漏操作。待檢漏完成后，關(guān)閉真空管道氣動蝶閥II14；在電控顯示屏上依次關(guān)閉羅茨泵和旋片泵或螺桿泵；依次打開真空管道氣動角閥I101、氣動角閥II102，進行破空；斷開循環(huán)冷卻水；斷開柜內(nèi)斷路器，斷開柜外電源，完成真空鍍膜腔體的檢漏。

該實施例結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，能夠檢出一般性的漏點，靈敏度較高。

以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理、主要特征及本發(fā)明的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應該了解，本發(fā)明不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明的要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。