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固態(tài)勢壘接觸式恒力反饋超穩(wěn)定掃描隧道譜測試方法與流程

文檔序號:11913550閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.固態(tài)勢壘接觸式恒力反饋超穩(wěn)定掃描隧道譜測試方法,包括掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)、待測樣品、PID控制器和掃描隧道譜測試模塊,其特征在于:導電針尖與待測樣品之間設置有固態(tài)勢壘,且針尖與固態(tài)勢壘與待測樣品之間為力接觸狀態(tài),導電針尖的另一端固定于力感應器上,力感應器的信號輸出端通過比較放大器與PID控制器的輸入端相連,PID控制器的輸出端與樣品臺或/和探針臺的驅(qū)動模塊相連,用于維持力感應器的輸出信號恒定,待測樣品和導電針尖的電極均連接到掃描隧道譜測試模塊,用于在恒力反饋模式下實現(xiàn)對待測樣品的掃描隧道譜測試。

2.根據(jù)權利要求1所述的固態(tài)勢壘接觸式恒力反饋超穩(wěn)定掃描隧道譜測試方法,其特征在于:所述的力感應器為壓阻式導電針體、壓電式導電針體或光反射式導電針體。

3.根據(jù)權利要求1所述的固態(tài)勢壘接觸式恒力反饋超穩(wěn)定掃描隧道譜測試方法,其特征在于:所述的力感應器為壓阻式導電針體時對應的比較放大器為電橋放大器;所述的力感應器為壓電式導電針體時對應的比較放大器為電壓放大器;所述的力感應器為光反射式導電針體時對應的比較放大器為光電探測器。

4.根據(jù)權利要求1所述的固態(tài)勢壘接觸式恒力反饋超穩(wěn)定掃描隧道譜測試方法,其特征在于:所述的固態(tài)勢壘設置在導電針尖上或/和待測樣品上或者為導電針尖與待測樣品形成的界面。

5.根據(jù)權利要求1-3中任意一項所述的固態(tài)勢壘接觸式恒力反饋超穩(wěn)定掃描隧道譜測試方法,其特征在于:所述的力感應器中導電針體的結構為彈性體結構。

6.根據(jù)權利要求5所述的固態(tài)勢壘接觸式恒力反饋超穩(wěn)定掃描隧道譜測試方法,其特征在于:所述的彈性體結構為微懸臂梁結構、之字形彈簧結構或螺旋彈簧結構。

7.根據(jù)權利要求1所述的固態(tài)勢壘接觸式恒力反饋超穩(wěn)定掃描隧道譜測試方法,其特征在于:所述的固態(tài)勢壘材質(zhì)為電介質(zhì)。

8.根據(jù)權利要求7所述的固態(tài)勢壘接觸式恒力反饋超穩(wěn)定掃描隧道譜測試方法,其特征在于:所述的電介質(zhì)為二氧化硅、氮化硅、藍寶石或金剛石。

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