技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種光學(xué)自由曲面的像散補(bǔ)償型干涉檢測(cè)裝置與檢測(cè)方法，所述裝置包括He?He激光器、擴(kuò)束系統(tǒng)、1/2波片、偏振分光棱鏡、第一～二1/4波片、標(biāo)準(zhǔn)平面反射鏡、移相器、第一匯聚透鏡、待測(cè)自由曲面、第二匯聚透鏡、平面反射鏡、偏振片、旋轉(zhuǎn)毛玻璃屏、成像物鏡、探測(cè)器、顯示器、計(jì)算機(jī)。方法為：將待測(cè)自由曲面傾斜放置，使檢測(cè)光束以特定的角度傾斜入射，以補(bǔ)償待測(cè)自由曲面的主要面形誤差成分像散，從而減小后續(xù)檢測(cè)光束的發(fā)散程度，使探測(cè)器上的條紋被分辨；由探測(cè)器采集得到一系列移相干涉圖，經(jīng)波面復(fù)原算法處理得到待測(cè)自由曲面的面形。本發(fā)明采用了像散補(bǔ)償?shù)姆椒?，可以檢測(cè)一類(lèi)以像散為主要面形誤差成分的光學(xué)自由曲面，穩(wěn)定性高、成本低。

技術(shù)研發(fā)人員：袁群;竇沂蒙;霍霄;殷慧敏;陳露;姚艷霞;高志山
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京理工大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710051247
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.20
技術(shù)公布日：2017.06.13