技術(shù)編號(hào)：12654847
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種干涉檢測(cè)裝置與檢測(cè)方法，特別是一種適用于以像散為主要面形誤差成分的光學(xué)自由曲面的像散補(bǔ)償型干涉檢測(cè)裝置。背景技術(shù)為了同時(shí)滿足日益提高的高像質(zhì)與小型化的要求，光學(xué)自由曲面出現(xiàn)在了成像光學(xué)系統(tǒng)，特別是離軸反射式系統(tǒng)中。自由曲面元件的應(yīng)用提高了光學(xué)設(shè)計(jì)的自由度，能夠更好的校正非共軸引起的軸外像差。相對(duì)于光學(xué)自由曲面的設(shè)計(jì)與加工技術(shù)，光學(xué)自由曲面的高精度檢測(cè)問題是制約光學(xué)自由曲面在成像領(lǐng)域應(yīng)用的技術(shù)瓶頸。目前國(guó)內(nèi)外對(duì)于光學(xué)自由曲面的檢測(cè)方法可以概括為以下幾類：逐點(diǎn)掃描法、相位偏折法、干涉法...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。