本發(fā)明涉及對(duì)陶瓷體的表面進(jìn)行檢查的裝置，特別地，涉及對(duì)在利用擠出成形法而制造的陶瓷體的表面上形成的裂紋進(jìn)行檢測(cè)的裝置。

背景技術(shù)：

作為捕獲來自內(nèi)燃機(jī)、鍋爐等的廢氣中包含的粒子狀物質(zhì)的過濾器、或廢氣凈化用催化劑的催化劑載體，廣泛使用陶瓷制的蜂窩結(jié)構(gòu)體。蜂窩結(jié)構(gòu)體是兩端部開口并且內(nèi)部具有所謂的蜂窩結(jié)構(gòu)(蜜蜂的蜂巢結(jié)構(gòu))的筒狀(例如，圓筒形)結(jié)構(gòu)體。即，蜂窩結(jié)構(gòu)體在由形成筒狀的外面(外壁)所圍住的內(nèi)部，具有通過間壁劃分出的、各自沿著該結(jié)構(gòu)體的軸方向的多個(gè)單元(cell)。陶瓷制的蜂窩結(jié)構(gòu)體在耐熱性、耐熱沖擊性、耐氧化性方面良好，因此，在除了上述用途以外，也被廣泛使用。

一般，陶瓷制的蜂窩結(jié)構(gòu)體是將作為其構(gòu)成材料的陶瓷(例如氧化鋁)的粉末與有機(jī)粘合劑、水等一起進(jìn)行混煉而得到的粘土狀的坯土通過擠出成形法而成形，并對(duì)由此得到的蜂窩狀成形體進(jìn)行燒成，由此制造而得。

但是，在通過該方法制造蜂窩結(jié)構(gòu)體的情況下，有時(shí)會(huì)產(chǎn)生在蜂窩結(jié)構(gòu)體的外壁上發(fā)生裂紋、或者附著雜質(zhì)等缺陷。裂紋的發(fā)生或雜質(zhì)的附著可能會(huì)招致產(chǎn)生蜂窩結(jié)構(gòu)體的強(qiáng)度下降、以及在將蜂窩結(jié)構(gòu)體用于過濾器時(shí)的過濾性能下降、在用于催化劑載體時(shí)的廢氣凈化性能下降等。因此，在使用蜂窩結(jié)構(gòu)體之前，需要檢查有無這些缺陷。用于進(jìn)行這樣的缺陷檢查的技術(shù)已經(jīng)被公知(例如，參照專利文獻(xiàn)1至專利文獻(xiàn)3)。

其中，專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2公開了如下方法：一邊使圓筒形蜂窩結(jié)構(gòu)體圍繞其中心軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)一邊對(duì)該蜂窩結(jié)構(gòu)體的側(cè)面即外壁表面進(jìn)行拍攝，并根據(jù)其拍攝結(jié)果來檢查外壁上有無缺陷。

存在上述這樣的缺陷會(huì)影響蜂窩結(jié)構(gòu)體的特性，因此，從保證蜂窩結(jié)構(gòu)體的品質(zhì)的角度來看，缺陷檢查是重要的。特別地，在通過對(duì)擠出成形后的蜂窩狀成形體進(jìn)行燒成而制作圓筒形的蜂窩結(jié)構(gòu)體，來作為陶瓷體的燒成體的情況下，容易形成沿著蜂窩結(jié)構(gòu)體的軸方向的裂紋，要求對(duì)該裂紋進(jìn)行適當(dāng)檢測(cè)。

另一方面，對(duì)于該陶瓷燒成體即圓筒形的蜂窩結(jié)構(gòu)體，當(dāng)沿著圓周方向來觀察其外壁時(shí)，有時(shí)存在波紋(表面起伏)。由于該波紋不會(huì)影響蜂窩結(jié)構(gòu)體的品質(zhì)和特性，因而允許其存在。

但是，當(dāng)通過例如專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2所公開的方法來進(jìn)行缺陷檢查時(shí)，存在如下問題，即，會(huì)將無需被判定為缺陷的波紋也作為缺陷來檢測(cè)，出現(xiàn)所謂的過檢測(cè)(過剩檢測(cè))。

特別地，在蜂窩結(jié)構(gòu)體的軸方向上延伸的裂紋的部位出現(xiàn)的陰影與因產(chǎn)生了波紋而導(dǎo)致在蜂窩結(jié)構(gòu)體的軸方向上形成的凹部的部位出現(xiàn)的陰影是相似的，存在容易過檢測(cè)為后者與前者相符的傾向。

此外，對(duì)于通過目視進(jìn)行的檢查，裂紋檢測(cè)的可靠性高，但是需要檢查時(shí)間，因而從生產(chǎn)效率、成本的角度來看是不利的。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：國際公開第2007/105825號(hào)

專利文獻(xiàn)2：美國專利申請(qǐng)公開第2011/0128370號(hào)說明書

專利文獻(xiàn)3：日本特開平09-257671號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于上述課題而做出的，目的在于提供一種能夠比以往更可靠地判定有無在蜂窩結(jié)構(gòu)體的表面上形成的裂紋的表面檢查裝置。

本發(fā)明的第1方式提供一種陶瓷體的表面檢查方法，檢查陶瓷體的表面的裂紋，該表面檢查方法具有：拍攝工序，在針對(duì)所述陶瓷體的局部表面即被檢查面的預(yù)定的被照射區(qū)域照射了第一照明光和第二照明光的至少一種照明光的狀態(tài)下，通過預(yù)定的拍攝單元來拍攝所述被照射區(qū)域；判定用圖像生成工序，根據(jù)所述拍攝工序的拍攝結(jié)果，生成能夠用于判定有無裂紋的判定用圖像；以及判定工序，根據(jù)所述判定用圖像，判定所述被檢查面有無裂紋，從隔著所述拍攝單元的不同方向，對(duì)所述被檢查面照射所述第一照明光和所述第二照明光，在所述拍攝工序中，在照射了所述第一照明光和所述第二照明光的至少一種照明光的狀態(tài)下，拍攝所述被照射區(qū)域，當(dāng)設(shè)為將在至少照射了所述第一照明光的狀態(tài)下由所述拍攝單元進(jìn)行所述被檢查面的拍攝而由此得到的拍攝結(jié)果作為第一拍攝結(jié)果，將在至少照射了所述第二照明光的狀態(tài)下由所述拍攝單元進(jìn)行所述被檢查面的拍攝而由此得到的拍攝結(jié)果作為第二拍攝結(jié)果，并在所述判定用圖像生成工序中根據(jù)所述第一拍攝結(jié)果來生成所述第一判定用圖像，根據(jù)所述第二拍攝結(jié)果來生成第二判定用圖像時(shí)，以能夠根據(jù)將所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像進(jìn)行對(duì)照時(shí)各自的陰影區(qū)域的形成樣態(tài)的差異，來判定所述被檢查面有無裂紋的方式，生成所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像，在所述判定工序中，根據(jù)所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像，來判定所述被檢查面有無裂紋。

本發(fā)明的第2方式提供一種基于第1方式的陶瓷體的表面檢查方法，在所述判定用圖像生成工序中，根據(jù)所述第一拍攝結(jié)果，作為僅由針對(duì)第一顏色成分的圖像形成信號(hào)而構(gòu)成的圖像，或者，作為由針對(duì)所述第一顏色成分的圖像形成信號(hào)和針對(duì)除了所述第一顏色成分以外的顏色成分的圖像形成信號(hào)即預(yù)定的閾值以下的信號(hào)量的圖像形成信號(hào)而構(gòu)成的圖像，生成所述第一判定用圖像；根據(jù)所述第二拍攝結(jié)果，作為僅由針對(duì)第二顏色成分的圖像形成信號(hào)而構(gòu)成的圖像，或者，作為僅由針對(duì)所述第二顏色成分的圖像形成信號(hào)和針對(duì)除了所述第二顏色成分以外的顏色成分的圖像形成信號(hào)即預(yù)定的閾值以下的信號(hào)量的圖像形成信號(hào)而構(gòu)成的圖像，生成所述第二判定用圖像。

本發(fā)明的第3方式提供一種基于第2方式的陶瓷體的表面檢查方法，在所述拍攝工序中，生成所述拍攝單元的拍攝結(jié)果來作為預(yù)定的數(shù)據(jù)形式的拍攝數(shù)據(jù)，所述判定用圖像生成工序是通過從所述拍攝數(shù)據(jù)中取得預(yù)定的顏色成分的像素值來作為針對(duì)該顏色成分的圖像形成信號(hào)，生成針對(duì)所述判定用圖像的圖像數(shù)據(jù)即判定用圖像數(shù)據(jù)的判定用圖像數(shù)據(jù)生成工序，在所述判定用圖像數(shù)據(jù)生成工序中，根據(jù)作為所述第一拍攝結(jié)果而生成的第一拍攝數(shù)據(jù)，生成針對(duì)所述第一判定用圖像的圖像數(shù)據(jù)即所述第一判定用圖像數(shù)據(jù)；根據(jù)作為所述第二拍攝結(jié)果而生成的第二拍攝數(shù)據(jù)，生成針對(duì)所述第二判定用圖像的圖像數(shù)據(jù)即所述第二判定用圖像數(shù)據(jù)。

本發(fā)明的第4方式提供一種基于第3方式的陶瓷體的表面檢查方法，在所述拍攝工序中，生成所述拍攝單元的拍攝結(jié)果，來作為獨(dú)立地記述針對(duì)多種顏色成分的每種顏色成分的像素值的數(shù)據(jù)形式的拍攝數(shù)據(jù)，在所述判定用圖像數(shù)據(jù)生成工序中，通過從作為所述第一拍攝結(jié)果而生成的第一拍攝數(shù)據(jù)，僅取得針對(duì)所述第一顏色成分的像素值，或者通過取得所述第一顏色成分的像素值和除了所述第一顏色成分以外的顏色成分的像素值即預(yù)定的閾值以下的像素值，來生成所述第一判定用圖像數(shù)據(jù)；通過從作為所述第二拍攝結(jié)果而生成的第二拍攝數(shù)據(jù)，僅取得針對(duì)所述第二顏色成分的像素值，或者通過取得所述第二顏色成分的像素值和除了所述第二顏色成分以外的顏色成分的像素值即預(yù)定的閾值以下的像素值，來生成所述第二判定用圖像數(shù)據(jù)。

本發(fā)明的第5方式提供一種基于第3方式的陶瓷體的表面檢查方法，在所述拍攝工序中，生成所述拍攝單元的拍攝結(jié)果，來作為合成了針對(duì)多種顏色成分的像素值信息的數(shù)據(jù)形式的拍攝數(shù)據(jù)，在所述判定用圖像數(shù)據(jù)生成工序中，通過對(duì)作為所述第一拍攝結(jié)果而生成的第一拍攝數(shù)據(jù)進(jìn)行分解，生成僅記述針對(duì)所述第一顏色成分的像素值，或者，記述所述第一顏色成分的像素值和除了所述第一顏色成分以外的顏色成分的像素值即預(yù)定的閾值以下的像素值的所述第一判定用圖像數(shù)據(jù)；通過對(duì)作為所述第二拍攝結(jié)果而生成的第二拍攝數(shù)據(jù)進(jìn)行分解，生成僅記述針對(duì)所述第二顏色成分的像素值，或者，記述所述第二顏色成分的像素值和除了所述第二顏色成分以外的顏色成分的像素值即預(yù)定的閾值以下的像素值的所述第二判定用圖像數(shù)據(jù)。

本發(fā)明的第6方式提供一種基于第3至5方式中的任一項(xiàng)的陶瓷體的表面檢查方法，在所述判定工序中，通過對(duì)所述第一判定用圖像數(shù)據(jù)和所述第二判定用圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)照，判定所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像各自的陰影區(qū)域的形成樣態(tài)的差異，由此來判定所述被檢查面有無裂紋，并生成記述了該判定的結(jié)果的判定結(jié)果數(shù)據(jù)。

本發(fā)明的第7方式提供一種基于第6方式的陶瓷體的表面檢查方法，在所述判定工序中，在根據(jù)所述第一判定用圖像數(shù)據(jù)和所述第二判定用圖像數(shù)據(jù)，判斷為在所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像中所述陶瓷體的所述被檢查面的同一位置上，存在沿著同一方向延伸的、像素值比周圍小的陰影區(qū)域的情況下，以及在根據(jù)所述第一判定用圖像數(shù)據(jù)和所述第二判定用圖像數(shù)據(jù)判斷為盡管在所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像的某一個(gè)中存在所述陰影區(qū)域，但是在另一個(gè)判定用圖像中，所述陰影區(qū)域的形成位置以及其附近都不存在與所述陰影區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域的情況下，判定為在所述陶瓷體的所述被檢查面的與所述陰影區(qū)域?qū)?yīng)的部位，產(chǎn)生了沿著所述同一方向的裂紋。

本發(fā)明的第8方式提供一種基于第2至7方式中的任一項(xiàng)的陶瓷體的表面檢查方法，所述第一照明光的波段與所述第二照明光的波段不同，在所述拍攝工序中，在對(duì)所述被照射區(qū)域同時(shí)照射了所述第一照明光和所述第二照明光的狀態(tài)下，通過所述拍攝單元進(jìn)行拍攝，由此取得所述第一拍攝結(jié)果和所述第二拍攝結(jié)果來作為一個(gè)拍攝結(jié)果，在所述判定用圖像生成工序中，根據(jù)所述一個(gè)拍攝結(jié)果，區(qū)分針對(duì)所述第一顏色成分的波長范圍和針對(duì)所述第二顏色成分的波長范圍地生成所述第一判定用圖像數(shù)據(jù)和所述第二判定用圖像數(shù)據(jù)。

本發(fā)明的第9方式提供一種基于第8方式的陶瓷體的表面檢查方法，針對(duì)所述第一顏色成分的波長范圍至少與所述第一照明光的波段重復(fù)，針對(duì)所述第二顏色成分的波長范圍至少與所述第二照明光的波段重復(fù)。

本發(fā)明的第10方式提供一種基于第8或9方式的陶瓷體的表面檢查方法，在所述拍攝工序中，在使所述陶瓷體圍繞預(yù)定的旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行一次旋轉(zhuǎn)的期間，所述拍攝單元以與所述旋轉(zhuǎn)軸平行的面作為所述被檢查面來進(jìn)行拍攝，由此得到所述一個(gè)拍攝數(shù)據(jù)。

本發(fā)明的第11方式提供一種基于第1方式的陶瓷體的表面檢查方法，在所述判定用圖像生成工序中，根據(jù)所述第一拍攝結(jié)果中的亮度信號(hào)或者輝度信號(hào)來生成所述第一判定用圖像，根據(jù)所述第二拍攝結(jié)果中的亮度信號(hào)或者輝度信號(hào)來生成所述第二判定用圖像。

本發(fā)明的第12方式提供一種基于第11方式的陶瓷體的表面檢查方法，在所述拍攝工序中，生成所述拍攝單元的拍攝結(jié)果來作為記述各像素的亮度值或者輝度值的數(shù)據(jù)形式的拍攝數(shù)據(jù)，所述判定用圖像生成工序是通過從所述拍攝數(shù)據(jù)中取得各像素的亮度值或者輝度值，生成針對(duì)所述判定用圖像的圖像數(shù)據(jù)即判定用圖像數(shù)據(jù)的判定用圖像數(shù)據(jù)生成工序，在所述判定用圖像數(shù)據(jù)生成工序中，根據(jù)作為所述第一拍攝結(jié)果而生成的第一拍攝數(shù)據(jù)，生成針對(duì)所述第一判定用圖像的圖像數(shù)據(jù)即所述第一判定用圖像數(shù)據(jù)；根據(jù)作為所述第二拍攝結(jié)果而生成的第二拍攝數(shù)據(jù)，生成針對(duì)所述第二判定用圖像的圖像數(shù)據(jù)即所述第二判定用圖像數(shù)據(jù)。

本發(fā)明的第13方式提供一種基于第12方式的陶瓷體的表面檢查方法，在所述判定工序中，通過對(duì)所述第一判定用圖像數(shù)據(jù)和所述第二判定用圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)照，判定所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像各自的陰影區(qū)域的形成樣態(tài)的差異，由此來判定所述被檢查面有無裂紋，并生成記述了該判定的結(jié)果的判定結(jié)果數(shù)據(jù)。

本發(fā)明的第14方式提供一種基于第13方式的陶瓷體的表面檢查方法，在所述判定工序中，在根據(jù)所述第一判定用圖像數(shù)據(jù)和所述第二判定用圖像數(shù)據(jù)，判斷為在所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像中所述陶瓷體的所述被檢查面的同一位置上，存在沿著同一方向延伸的、像素值比周圍小的陰影區(qū)域的情況下，以及在根據(jù)所述第一判定用圖像數(shù)據(jù)和所述第二判定用圖像數(shù)據(jù)判斷為盡管在所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像的某一個(gè)中存在所述陰影區(qū)域，但是在另一個(gè)判定用圖像中，所述陰影區(qū)域的形成位置以及其附近都不存在與所述陰影區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域的情況下，判定為在所述陶瓷體的所述被檢查面的與所述陰影區(qū)域?qū)?yīng)的部位，產(chǎn)生了沿著所述同一方向的裂紋。

本發(fā)明的第15方式提供一種基于第1至9、11至14方式中的任一項(xiàng)的陶瓷體的表面檢查方法，在所述拍攝工序中，一邊使所述陶瓷體圍繞預(yù)定的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，一邊以平行于所述旋轉(zhuǎn)軸的面為所述被檢查面來進(jìn)行所述拍攝單元的拍攝，由此得到所述第一拍攝結(jié)果和第二拍攝結(jié)果。

本發(fā)明的第16方式提供一種基于第15方式的陶瓷體的表面檢查方法，在所述拍攝工序中，在使所述陶瓷體圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行一次旋轉(zhuǎn)的期間，一邊照射所述第一照明光一邊由所述拍攝單元對(duì)整個(gè)所述被檢查面進(jìn)行拍攝，由此得到所述第一拍攝結(jié)果，之后，在使所述陶瓷體圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸再進(jìn)行一次旋轉(zhuǎn)的期間，一邊照射所述第二照明光一邊由所述拍攝單元對(duì)整個(gè)所述被檢查面進(jìn)行拍攝，由此得到所述第二拍攝結(jié)果。

本發(fā)明的第17方式提供一種基于第10、15或16方式的陶瓷體的表面檢查方法，所述陶瓷體形成為圓筒形，在所述拍攝工序中，為使所述陶瓷體的側(cè)面成為所述被檢查面而以所述陶瓷體能夠在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的方式來保持所述陶瓷體。

本發(fā)明的第18方式提供一種基于第10、15至17方式中的任一項(xiàng)的陶瓷體的表面檢查方法，在所述拍攝工序中，通過所述拍攝單元按照預(yù)定的拍攝寬度以拍攝范圍相互鄰接或一部分相互重合的方式，對(duì)圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的所述陶瓷體進(jìn)行重復(fù)拍攝，由此拍攝整個(gè)所述被檢查面，對(duì)通過所述拍攝單元的重復(fù)的拍攝而得的多個(gè)拍攝圖像進(jìn)行合成，由此得到所述第一拍攝結(jié)果和所述第二拍攝結(jié)果。

本發(fā)明的第19方式提供一種基于第18方式的陶瓷體的表面檢查方法，使用至少對(duì)所述第一照明光和所述第二照明光具有靈敏度的線傳感器，來作為所述拍攝單元。

本發(fā)明的第20方式提供一種基于第1至5、11、12方式中任一項(xiàng)的陶瓷體的表面檢查方法，該表面檢查方法還具備圖像顯示工序，在該圖像顯示工序中，以能夠判定有無所述裂紋的方式，在預(yù)定的圖像顯示單元中顯示所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像。

本發(fā)明的第21方式提供一種基于第20方式的陶瓷體的表面檢查方法，在所述判定工序中，通過在所述圖像顯示單元中對(duì)所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像進(jìn)行對(duì)照，判定所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像各自的陰影區(qū)域的形成樣態(tài)的差異，由此來判定所述被檢查面有無裂紋。

本發(fā)明的第22方式提供一種基于第21方式的陶瓷體的表面檢查方法，在所述判定工序中，在根據(jù)所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像，判斷為在所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像中所述陶瓷體的所述被檢查面的同一位置上，存在沿著同一方向延伸的、像素值比周圍暗的陰影區(qū)域的情況下，以及在根據(jù)所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像判斷為盡管在所述第一判定用圖像和所述第二判定用圖像的某一個(gè)中存在所述陰影區(qū)域，但是在另一個(gè)判定用圖像中，所述陰影區(qū)域的形成位置以及其附近都不存在與所述陰影區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域的情況下，判定為在所述陶瓷體的所述被檢查面的與所述陰影區(qū)域?qū)?yīng)的部位，產(chǎn)生了沿著所述同一方向的裂紋。

本發(fā)明的第23方式提供一種基于第1至22方式中任一項(xiàng)的陶瓷體的表面檢查方法，所述第一照明光的波段是400nm～500nm，所述第二照明光的波段是600nm～800nm。

本發(fā)明的第24方式提供一種基于第1至22方式中任一項(xiàng)的陶瓷體的表面檢查方法，所述第一照明光的波段是100nm～400nm，所述第二照明光的波段是300nm～800nm。

本發(fā)明的第25方式提供一種基于第1至24方式中任一項(xiàng)的陶瓷體的表面檢查方法，所述陶瓷體是將通過擠出成形而得的陶瓷成形體進(jìn)行燒成而得到的蜂窩結(jié)構(gòu)體，將所述蜂窩結(jié)構(gòu)體的側(cè)面作為所述被檢查面。

本發(fā)明的第26方式提供一種基于第1至25方式中任一項(xiàng)的陶瓷體的表面檢查方法，通過表面檢查裝置進(jìn)行所述拍攝工序和所述判定用圖像生成工序，其中，所述表面檢查裝置具備：保持部，其保持所述陶瓷體；第一照明單元，其能夠?qū)τ伤霰３植勘３值乃鎏沾审w的所述預(yù)定的被照射區(qū)域，照射所述第一照明光；第二照明單元，其能夠?qū)τ伤霰３植勘３值乃鎏沾审w的所述預(yù)定的被照射區(qū)域，照射所述第二照明光；所述拍攝單元；以及判定用圖像生成單元，其根據(jù)所述第一拍攝結(jié)果來生成所述第一判定用圖像，并根據(jù)所述第二拍攝結(jié)果來生成所述第二判定用圖像，在所述表面檢查裝置中，所述第一照明單元和所述第二照明單元隔著所述拍攝單元而配置，從不同方向?qū)λ霰粰z查面照射所述第一照明光和所述第二照明光。

根據(jù)本發(fā)明的第1至第26方式，通過使用照射方向不同的2個(gè)照明光的拍攝、以及根據(jù)該拍攝結(jié)果而生成的2個(gè)判定用圖像的對(duì)比這樣的簡(jiǎn)單方法，能夠比以往更可靠地判定陶瓷體的被檢查面有無裂紋。

特別地，根據(jù)第6、第7、第12、以及第14方式，能夠通過自動(dòng)處理可靠地判定陶瓷體的被檢查面有無裂紋。

特別地，根據(jù)第7以及第14方式，能夠可靠地判別在陶瓷體的被檢查面上產(chǎn)生的變形是沿著預(yù)定方向的裂紋、還是波紋。由此，能夠可靠地檢測(cè)裂紋，并且，由于不會(huì)將波紋誤檢測(cè)為裂紋因而抑制了過檢測(cè)。

特別地，根據(jù)第8至第10方式，只要通過使用照射方向以及波段不同的2個(gè)照明光的拍攝對(duì)整個(gè)被檢查面進(jìn)行一次拍攝，就能夠得到2個(gè)判定用圖像來作為針對(duì)完全相同位置的圖像，因此能夠通過2個(gè)判定用圖像的對(duì)比這樣的簡(jiǎn)便方法來更可靠地判定有無裂紋。

特別地，根據(jù)第10、以及第15至第19方式，能夠針對(duì)例如筒狀的陶瓷體，更有效地拍攝被檢測(cè)面。

特別地，根據(jù)第17方式，通過僅使圓筒形的陶瓷體旋轉(zhuǎn)，能夠獲得2個(gè)判定用圖像來作為針對(duì)完全相同位置的圖像，因此能夠更加迅速且準(zhǔn)確地判定有無裂紋。

特別地，根據(jù)第20至第22方式，通過將圖像顯示單元中顯示的2個(gè)判定用圖像進(jìn)行對(duì)照這樣的簡(jiǎn)單方法，能夠確認(rèn)陶瓷體的被檢查面有無裂紋。

特別地，根據(jù)第25方式，能夠可靠地判別在陶瓷體的被檢查面上產(chǎn)生的變形是沿著擠出成形時(shí)的擠出方向的裂紋、還是波紋。由此，能夠可靠地檢測(cè)沿著擠出方向的裂紋，并且，由于不會(huì)將波紋誤檢測(cè)為裂紋因而抑制了過檢測(cè)。

附圖說明

圖1是表示表面檢查裝置1以及作為其檢查對(duì)象的蜂窩結(jié)構(gòu)體100的圖。

圖2是表示表面檢查裝置1所具備的構(gòu)成要素的框圖。

圖3是通過蜂窩結(jié)構(gòu)體100的垂直于軸方向的截面中的部分f的放大圖，來表示在蜂窩結(jié)構(gòu)體100的外壁101上形成的、沿著其軸方向的變形的類型的圖。

圖4是用于表示在外壁101的形成有裂紋cr的部位的像的形成方法的圖。

圖5是表示實(shí)際的關(guān)于外壁101的形成有裂紋cr的部位的圖像的圖。

圖6是用于表示在外壁101的形成有波紋ud的部位的像的形成方法的圖。

圖7是表示實(shí)際的關(guān)于外壁101的形成有波紋ud的部位的圖像的圖。

圖8是用于表示在外壁101的形成有階梯st的部位的像的形成方法的圖。

圖9是表示變形例的表面檢查裝置1所具備的構(gòu)成要素的框圖。

具體實(shí)施方式

<表面檢查裝置和蜂窩結(jié)構(gòu)體>

圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式的表面檢查裝置1以及作為其檢查對(duì)象的蜂窩結(jié)構(gòu)體100的圖。圖1中的(a)是示意性地表示表面檢查裝置1的構(gòu)成要素與蜂窩結(jié)構(gòu)體100之間的空間上的配置關(guān)系的圖。圖1中的(b)是表面檢查裝置1的主要部分的平面配置圖。圖2是表示表面檢查裝置1所具備的構(gòu)成要素的框圖。

表面檢查裝置1用于將圓筒形的蜂窩結(jié)構(gòu)體100的側(cè)面即外壁的表面(外表面)101作為被檢查面，來檢查在該外壁101上有無形成缺陷。概略來說，表面檢查裝置1一邊使蜂窩結(jié)構(gòu)體100繞著其中心軸ax1旋轉(zhuǎn)一邊在預(yù)定的照明光下拍攝與中心軸ax1平行的外壁101的表面，并根據(jù)該拍攝的結(jié)果來判定在外壁101上有無缺陷。這里，蜂窩結(jié)構(gòu)體100，是指兩端部開口且內(nèi)部具有所謂的蜂窩結(jié)構(gòu)(蜜蜂的蜂巢結(jié)構(gòu))的圓筒形結(jié)構(gòu)體。蜂窩結(jié)構(gòu)體100在由形成圓筒形的外壁101所圍住的內(nèi)部，具有通過間壁102劃分出的、各自沿著該蜂窩結(jié)構(gòu)體100的中心軸ax1的方向(軸方向)的多個(gè)單元103。此外，在圖1的(b)中，為了有助于理解，僅涂滿了一個(gè)單元103，實(shí)際上，全部單元103在軸方向上是貫通的。

例如，外壁101的厚度是大約500μm～1mm，間壁102的厚度是大約50μm～300μm，規(guī)定單元103的尺寸的間壁102的間距是大約0.5mm～2.0mm。此外，軸方向的長度(高度h)是大約40mm～400mm，與軸方向垂直的截面的半徑(截面半徑)是大約20mm～200mm。

此外，在本實(shí)施方式中示出了蜂窩結(jié)構(gòu)體100具有截面圖為正方形且均一尺寸的單元103，這是示例，單元103也可以形成為截面圖為正六邊形或截面圖為圓形，或者，也可以具有不同尺寸的單元103。

本實(shí)施方式的蜂窩結(jié)構(gòu)體100是陶瓷(例如氧化鋁)的燒成體，是將作為其構(gòu)成材料的陶瓷粉末與有機(jī)粘合劑、水等一起進(jìn)行混煉而得到的粘土狀的坯土通過擠出成形法而成形，并對(duì)由此得到的蜂窩狀成形體(陶瓷成形體)進(jìn)行燒成，由此制造而得。

并且，作為該蜂窩結(jié)構(gòu)體100的外壁101上產(chǎn)生的缺陷，示例了裂紋、雜質(zhì)的附著等，本實(shí)施方式的表面檢查裝置1至少是以這些缺陷中的、外壁101上沿著蜂窩結(jié)構(gòu)體100的軸方向發(fā)生的裂紋作為檢查對(duì)象。在本實(shí)施方式中，特別地，也將以該樣態(tài)而發(fā)生的裂紋稱為軸方向裂紋。此外，盡管后文進(jìn)行詳細(xì)描述，然而，軸方向裂紋還包括：在外壁101上導(dǎo)致縫隙的一般性裂紋cr(參照?qǐng)D3)、外壁101的一部分沿著軸方向而向徑方向偏離而由此產(chǎn)生的階梯(階梯裂紋)st(參照?qǐng)D3)。

如圖1的(a)所示，表面檢查裝置1主要具備：在檢查時(shí)載置蜂窩結(jié)構(gòu)體100的工作臺(tái)2；對(duì)載置在工作臺(tái)2上的蜂窩結(jié)構(gòu)體100照射照明光的一對(duì)照明單元3(第一照明單元3a和第二照明單元3b)；拍攝蜂窩結(jié)構(gòu)體100的外壁101的表面而生成圖像數(shù)據(jù)(拍攝數(shù)據(jù))的拍攝單元4；對(duì)表面檢查裝置1整體的動(dòng)作進(jìn)行控制，并且構(gòu)成了根據(jù)由拍攝單元4得到的拍攝數(shù)據(jù)來進(jìn)行圖像處理，并根據(jù)其處理結(jié)果來判定有無缺陷的各種處理部的控制單元5。

工作臺(tái)2具有能夠使蜂窩結(jié)構(gòu)體100以其中心軸ax1與鉛垂方向大致一致的姿態(tài)來載置蜂窩結(jié)構(gòu)體100的載置面。工作臺(tái)2還具備圖1中未圖示的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2a(參照?qǐng)D2)。通過具備該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2a，工作臺(tái)2能夠以圖1中箭頭ar1和ar2所示的方式在水平面內(nèi)自由旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2a中使用了例如轉(zhuǎn)臺(tái)?？梢哉f，工作臺(tái)2是作為保持部發(fā)揮功能的部位，該保持部以蜂窩結(jié)構(gòu)體100能夠圍繞其中心軸ax1而旋轉(zhuǎn)的方式來保持該蜂窩結(jié)構(gòu)體100。

此外，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2a具備未圖示的編碼器，每當(dāng)工作臺(tái)2以一定的角度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)時(shí)，從該編碼器對(duì)拍攝單元4(更詳細(xì)地，為拍攝控制部4c)賦予脈沖(編碼脈沖)。

蜂窩結(jié)構(gòu)體100以其中心軸ax1與工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)中心相匹配的方式，被載置在該工作臺(tái)2的載置面上。此外，作為工作臺(tái)2，使用了其平面尺寸小于蜂窩結(jié)構(gòu)體100的垂直于中心軸ax1的截面的尺寸的工作臺(tái)。這是為了在拍攝單元4進(jìn)行拍攝時(shí)不會(huì)映入工作臺(tái)2的像。

形成一對(duì)照明單元3的第一照明單元3a和第二照明單元3b，如圖2所示，配置在相對(duì)于俯視圖上載置在工作臺(tái)2上的蜂窩結(jié)構(gòu)體100的外壁101的某法線n的方向而對(duì)稱的位置。此外，第一照明單元3a和第二照明單元3b配置成，前者的照明光(第一照明光)la與后者的照明光(第二照明光)lb被照射到外壁101的同一位置，換言之，在各個(gè)被照射區(qū)域中存在重疊的范圍，并且在俯視圖上各個(gè)照射角(各個(gè)照明光的光軸中心ax2a、ax2b與外壁101的法線n所形成的角)為相同角度θ。通過滿足該配置關(guān)系，第一照明單元3a和第二照明單元3b能夠隔著拍攝單元4而配置，從不同的方向?qū)ψ鳛楸粰z查面的蜂窩結(jié)構(gòu)體100的側(cè)面照射第一照明光la和第二照明光lb。將角度θ設(shè)定為5°≤θ≤30°的范圍的值。此外，下文中，只要沒有特別說明，均將第一照明光la和第二照明光lb的各自的被照射區(qū)域的重疊區(qū)域簡(jiǎn)單稱為被照射區(qū)域。

但是，作為第一照明單元3a和第二照明單元3b，可以使用所發(fā)出的照明光的波段彼此不同(不重復(fù))的照明單元。此外，在被照射區(qū)域上，重疊地照射波段不同的第一照明光la和第二照明光lb。

例如，設(shè)置成第一照明單元3a發(fā)出紅色光來作為第一照明光la，第二照明單元3b發(fā)出藍(lán)色光來作為第二照明光lb，這是優(yōu)選的一種方式?；蛘哌€可以是，設(shè)置成第一照明單元3a發(fā)出白色光來作為第一照明光la，第二照明單元3b發(fā)出紫外光來作為第二照明光lb等的方式。此外，在本實(shí)施方式中，設(shè)紅色光是發(fā)光波長屬于600nm～800nm的波段的光，并設(shè)藍(lán)色光是發(fā)光波長屬于400nm～500nm的波段的光。此外，設(shè)白色光是發(fā)光波長屬于300nm～800nm的波段的光，并設(shè)紫外光是發(fā)光波長屬于100nm～400nm的波段的光。

作為照明單元3所具備的照明光源，使用發(fā)出滿足上述波段的單色光的led，是優(yōu)選的一例。但是，也可以是如下這樣的方式，即，將從發(fā)出例如白色光的led、金屬鹵化物燈以及其他的光源發(fā)出的光，在透過了僅使?jié)M足上述波段的光通過的濾色器等之后，照射到蜂窩結(jié)構(gòu)體100。

此外，如果是使用led作為照明光源的情況，則照明單元3還具備對(duì)從led發(fā)出的光進(jìn)行聚光的未圖示的聚光透鏡，經(jīng)過了該聚光透鏡后的光被照射到蜂窩結(jié)構(gòu)體100，從提高照明光的照射強(qiáng)度這一點(diǎn)來看，這是優(yōu)選的。

拍攝單元4，至少是其受光部4a，配置在成為第一照明單元3a和第二照明單元3b的配置位置的對(duì)稱軸的、蜂窩結(jié)構(gòu)體100的外壁101的法線n上，在該配置位置上，能夠在拍攝寬度w的范圍內(nèi)拍攝從這些照明單元3照射的照明光的被照射區(qū)域在該法線處的像。

此外，盡管圖1中省略了圖示，然而拍攝單元4如圖2所示，除了具備受光部4a之外，還具備拍攝部4b、以及拍攝控制部4c。拍攝部4b是拍攝單元4中承擔(dān)實(shí)際的拍攝工作(基于拍攝指示而進(jìn)行的拍攝)的部位。拍攝控制部4c是承擔(dān)如下處理的部位，該處理是對(duì)拍攝部4b的拍攝指示、取得來自拍攝部4b的拍攝數(shù)據(jù)，進(jìn)而對(duì)取得的每個(gè)拍攝寬度w的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行合成，生成針對(duì)外壁101的整個(gè)表面的一個(gè)拍攝圖像數(shù)據(jù)即連續(xù)圖像數(shù)據(jù)的處理等。

在本實(shí)施方式的表面檢查裝置1中，使用該拍攝單元4，在一對(duì)照明單元3的照明光下，針對(duì)通過工作臺(tái)2在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的蜂窩結(jié)構(gòu)體100的外壁101的表面，重復(fù)進(jìn)行按照預(yù)定的拍攝寬度w的拍攝，由此，最終獲得整個(gè)外壁101的拍攝圖像。這是通過一邊使工作臺(tái)2以預(yù)定的旋轉(zhuǎn)速度(角速度)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)一邊以一定的定時(shí)(時(shí)間間隔)重復(fù)進(jìn)行拍攝部4b中的拍攝而實(shí)現(xiàn)的。如后述，所得到的按照拍攝寬度w的多個(gè)拍攝圖像通過表面檢查裝置1所具備的各種處理部進(jìn)行圖像處理，用于判定蜂窩結(jié)構(gòu)體100的外壁101上有無缺陷(特別是裂紋)。

此外，關(guān)于拍攝寬度w以及拍攝單元4與蜂窩結(jié)構(gòu)體100之間的距離(拍攝距離)，根據(jù)蜂窩結(jié)構(gòu)體100的截面半徑而適當(dāng)設(shè)定即可。即，當(dāng)拍攝寬度w過大于截面半徑時(shí)，在拍攝圖像中處于對(duì)焦?fàn)顟B(tài)的范圍相對(duì)于拍攝寬度w的比例會(huì)變小，這是不期望的。此外，在拍攝寬度w過小的情況、拍攝距離過大的情況下，拍攝圖像的析像度變差，這是不期望的。如果是如上述截面半徑為大約20mm～250mm的情況，則拍攝寬度w優(yōu)選為大約10μm～3cm，拍攝距離優(yōu)選為大約30cm～200cm。

更詳細(xì)地，拍攝單元4(拍攝部4b)能夠生成圖像形成信號(hào)，從拍攝控制部4c移交給控制單元5，其中，該圖像形成信號(hào)分別對(duì)由第一照明單元3a發(fā)出的第一照明光la和由第二照明單元3b發(fā)出的第二照明光lb的波段具有良好的靈敏度，并且是針對(duì)與預(yù)定的波長范圍對(duì)應(yīng)的顏色成分的圖像形成信號(hào)。這里，圖像形成信號(hào)是針對(duì)拍攝圖像的、表示坐標(biāo)位置以及該坐標(biāo)位置的信號(hào)量的信號(hào)。這是例如通過由拍攝單元4以對(duì)每一個(gè)顏色成分的像素值(各像素位置的顏色濃度值)進(jìn)行獨(dú)立地(個(gè)別地)記述的數(shù)據(jù)形式來生成拍攝數(shù)據(jù)而實(shí)現(xiàn)的。該情況下，各像素的像素位置與圖像形成信號(hào)中的坐標(biāo)位置相當(dāng)，像素值與該坐標(biāo)位置的信號(hào)量相當(dāng)。以下，只要沒有特別說明，均是以下述情況為對(duì)象進(jìn)行說明，即拍攝單元4以所述樣態(tài)通過對(duì)每一個(gè)顏色成分的像素值進(jìn)行獨(dú)立地記述的數(shù)據(jù)形式來生成拍攝數(shù)據(jù)。

作為該拍攝單元4，例示了線傳感器(linesensor)，其對(duì)不同顏色成分(波長范圍)的光個(gè)別地具有受光靈敏度，并且能夠輸出對(duì)各個(gè)顏色成分的像素值進(jìn)行獨(dú)立地記述而得的拍攝數(shù)據(jù)。例如，如上述，如果是第一照明光la為紅色光，第二照明光lb為藍(lán)色光的情況，則可以使用公知的rgb線傳感器來作為拍攝單元4。此外，rgb線傳感器除了接受紅色光和藍(lán)色光之外，還能夠接受綠色光，作為拍攝數(shù)據(jù)而輸出rgb形式的數(shù)據(jù)，但是，在本實(shí)施方式中不使用與綠色光的光強(qiáng)度值(像素值)有關(guān)的信息。此外，在使用線傳感器作為拍攝單元4的情況下，優(yōu)選的是以其受光部4a的長度方向與蜂窩結(jié)構(gòu)體100的軸方向平行的方式來配置該受光部4a。

但是，使用線傳感器作為拍攝單元4并不是必須的方式，例如還可以是使用例如數(shù)字相機(jī)等具有二維的(矩形的)拍攝范圍的區(qū)域相機(jī)(areacamera)的方式。

此外，作為拍攝單元4，還可以使用如下的單元，其對(duì)不同顏色成分(波長范圍)的光個(gè)別地具有受光靈敏度，并且輸出按照各像素位置對(duì)針對(duì)各個(gè)顏色成分的像素值的信息進(jìn)行了合成的形式的拍攝數(shù)據(jù)。但是，在該情況下，在后級(jí)的處理中要求能夠適當(dāng)?shù)鼗謴?fù)各顏色成分的像素值信息。

優(yōu)選地，拍攝單元4被設(shè)置成能夠在蜂窩結(jié)構(gòu)體100的軸方向的整個(gè)區(qū)域(圖1所示的高度h的范圍)，以拍攝寬度w進(jìn)行拍攝。這例如可以通過使用能夠?qū)υ撆臄z范圍進(jìn)行拍攝的線傳感器來作為拍攝單元4而實(shí)現(xiàn)。在該情況下，對(duì)于照明單元3也可以以至少在該拍攝范圍的全部區(qū)域，用適合于拍攝單元4的拍攝的照射強(qiáng)度來照射照明光的方式來配置。在照明單元3和拍攝單元4滿足這些要件的情況下，能夠在使蜂窩結(jié)構(gòu)體100進(jìn)行一次旋轉(zhuǎn)的期間，拍攝外壁101的全部表面。

但是，該方式并不是必須的，還可以是如下的方式，即，拍攝單元4設(shè)置成能夠在鉛垂方向上相對(duì)于工作臺(tái)2上載置的蜂窩結(jié)構(gòu)體100而相對(duì)移動(dòng)，按照對(duì)高度h的范圍進(jìn)行某種分割后的各部分來進(jìn)行拍攝。此外，表面檢查裝置1在鉛垂方向上具有多個(gè)拍攝單元4，通過由各個(gè)拍攝單元4對(duì)不同范圍進(jìn)行拍攝，作為整體而拍攝高度h的范圍。

控制單元5通過具備例如未圖示的cpu、rom、ram、hdd以及其他存儲(chǔ)介質(zhì)的計(jì)算機(jī)而構(gòu)成。在表面檢查裝置1中，通過cpu來執(zhí)行預(yù)先存儲(chǔ)在存儲(chǔ)介質(zhì)中的動(dòng)作程序，由此能夠進(jìn)行各部的動(dòng)作和處理。關(guān)于控制單元5，如果能夠確保在上述的工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2a、一對(duì)照明單元3、以及拍攝單元4的各自之間的電連接，則其配置位置不受特別的限制。

如圖2所示，控制單元5具備：能夠?qū)Ρ砻鏅z查裝置1進(jìn)行來自外部的檢查執(zhí)行指示、條件設(shè)定等各種輸入操作的、例如由鍵盤、觸摸面板等構(gòu)成的輸入操作部6；以及用于進(jìn)行動(dòng)作菜單的顯示、檢查結(jié)果的顯示的、例如由液晶顯示器等構(gòu)成的顯示部7。

此外，關(guān)于控制單元5，作為通過由cpu執(zhí)行動(dòng)作程序而實(shí)現(xiàn)的功能性結(jié)構(gòu)要素而主要具備：統(tǒng)一控制部10、旋轉(zhuǎn)控制部12、照明控制部13、判定用圖像生成部20、以及缺陷判定部24。

統(tǒng)一控制部10是統(tǒng)一地控制表面檢查裝置1的各部的動(dòng)作的部位。即，表面檢查裝置1的各部根據(jù)來自統(tǒng)一控制部10的控制信號(hào)而進(jìn)行其動(dòng)作。

旋轉(zhuǎn)控制部12是控制工作臺(tái)2所具備的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2a的動(dòng)作(工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)及其停止)的部位。即，在表面檢查裝置1中，通過基于來自統(tǒng)一控制部10的控制信號(hào)而從旋轉(zhuǎn)控制部12對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2a賦予的旋轉(zhuǎn)指示信號(hào)和停止指示信號(hào)，實(shí)現(xiàn)了工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作及其停止。

照明控制部13是對(duì)第一照明單元3a和第二照明單元3b的動(dòng)作進(jìn)行控制的部位。即，在表面檢查裝置1中，通過基于來自統(tǒng)一控制部10的控制信號(hào)而從照明控制部13對(duì)第一照明單元3a和第二照明單元3b賦予的照明光的開啟/關(guān)閉指示信號(hào)(亮燈/滅燈指示信號(hào))，實(shí)現(xiàn)了來自第一照明單元3a和第二照明單元3b的照明光的照射及其停止。

判定用圖像生成部20是承擔(dān)如下處理的部位，該處理是根據(jù)通過拍攝單元4得到的蜂窩結(jié)構(gòu)體100的外壁101的圖像數(shù)據(jù)，來生成表示用于判定該外壁101有無裂紋的圖像(判定用圖像)的圖像數(shù)據(jù)(判定用圖像數(shù)據(jù))的處理。判定用圖像生成部20主要具備分解圖像生成部22、以及濾波處理部23。

分解圖像生成部22是取得通過拍攝單元4生成的拍攝數(shù)據(jù)，并根據(jù)該拍攝數(shù)據(jù)來生成第一分解圖像數(shù)據(jù)和第二分解圖像數(shù)據(jù)的部位。此外，對(duì)于第一分解圖像數(shù)據(jù)，意圖是主要作為針對(duì)由第一照明光la的照射而形成的像的圖像數(shù)據(jù)而生成，對(duì)于第二分解圖像數(shù)據(jù)，意圖是主要作為針對(duì)由第二照明光lb的照射而形成的像的圖像數(shù)據(jù)而生成，然而，在缺陷判定部24中，在不會(huì)成為以后述方式進(jìn)行的、基于對(duì)兩個(gè)判定用圖像進(jìn)行對(duì)照來判定有無裂紋的障礙的程度內(nèi)，例如允許在各個(gè)圖像數(shù)據(jù)中包含因外光等其他光而形成的像。

濾波處理部23是對(duì)由分解圖像生成部22生成的兩個(gè)分解圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行適當(dāng)?shù)臑V波處理，以便其成為適合于在缺陷判定部24中進(jìn)行的缺陷判定的圖像的部位。作為該濾波處理，例示了二值化處理、“黑點(diǎn)”校正、收縮膨脹處理等。將經(jīng)過濾波處理后的兩個(gè)分解圖像數(shù)據(jù)，作為判定有無裂紋時(shí)的判定用圖像數(shù)據(jù)，從判定用圖像生成部20供給到缺陷判定部24。

缺陷判定部24是承擔(dān)對(duì)外壁101上有無缺陷進(jìn)行判定的判定處理的部位。缺陷判定部24至少進(jìn)行如下的判定處理，即，將兩個(gè)判定用圖像進(jìn)行對(duì)照(更詳細(xì)地，將兩個(gè)判定用圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)照)，根據(jù)各自的陰影區(qū)域的形成樣態(tài)的差異，來判定在外壁101上有無產(chǎn)生的軸方向的裂紋。優(yōu)選地，缺陷判定部24在判定為存在軸方向裂紋的情況下，作為判定處理的一環(huán)，還進(jìn)行判定對(duì)象即軸方向裂紋的種類的確定(是一般性裂紋cr還是階梯st)、以及該軸方向裂紋的發(fā)生位置的確定。下文描述該判定處理的細(xì)節(jié)。

但是，針對(duì)以其他樣態(tài)發(fā)生的(例如在軸方向以外的方向上發(fā)生的)裂紋的有無、雜質(zhì)的附著等，也可以是在缺陷判定部24中通過適當(dāng)?shù)奶幚矸绞絹砼袛嗟姆绞健Ｒ部梢允强刂茊卧?具備為此所需的、未圖示的其他功能性結(jié)構(gòu)要素的方式。

<外壁的變形類型>

接著，在進(jìn)行與軸方向裂紋的有無的判定處理有關(guān)的說明之前，說明作為該判定處理時(shí)的前提事項(xiàng)的、在蜂窩結(jié)構(gòu)體100的外壁101上在軸方向上產(chǎn)生的變形的類型。圖3是通過蜂窩結(jié)構(gòu)體100的垂直于軸方向的截面中的部分f的放大圖，來表示在蜂窩結(jié)構(gòu)體100的外壁101上產(chǎn)生的、沿著其軸方向的變形的類型的圖。

對(duì)于蜂窩結(jié)構(gòu)體100，理想的是期望制作成其外壁101不具有缺陷而一樣平滑的結(jié)構(gòu)體，然而，實(shí)際上，由于其制作方法，更具體地，由于通過擠出成形法的成形和之后的稱作燒成的處理來制作，導(dǎo)致在擠出成形時(shí)的擠出方向亦即蜂窩結(jié)構(gòu)體100的軸方向上會(huì)產(chǎn)生變形。具體地，成為該變形的主要原因的是，在通過擠出成形而得到蜂窩狀成形體時(shí)，因水分不足等原因而在該成形體上沿著其軸方向產(chǎn)生的不良，或者，在對(duì)蜂窩狀成形體進(jìn)行燒成而成為蜂窩結(jié)構(gòu)體100之后，在降溫時(shí)蜂窩結(jié)構(gòu)體100產(chǎn)生的收縮等。

對(duì)于具體的變形類型，有圖3中表示為類型(a)、類型(b)、類型(c)這三種。

首先，類型(a)是在會(huì)導(dǎo)致外壁101上沿軸方向的間隙的樣態(tài)下產(chǎn)生的一般性裂紋cr。此外，在大部分情況下，如圖3所示貫通外壁101地形成該裂紋cr，但是，也可以將不貫通該外壁101而在其內(nèi)側(cè)面閉合的間隙設(shè)為符合類型(a)。并且，在蜂窩結(jié)構(gòu)體100上產(chǎn)生的軸方向裂紋的大部分是該類型(a)的裂紋cr。此外，圖3中示出了，形成裂紋cr的外壁101所涉及的兩個(gè)端面均為平坦端面，然而，實(shí)際上，有時(shí)會(huì)以具有反映了陶瓷結(jié)晶粒的形狀的微小凹凸的樣態(tài)而形成端面。軸方向裂紋的大部分，作為該裂紋cr而形成。沿裂紋cr的圓周方向的寬度大體上是大約20μm～500μm。另一方面，對(duì)于裂紋cr的深度，在貫通的情況下當(dāng)然是外壁101的厚度，因此該厚度是上限值，在未貫通的情況下的下限值大約是50μm以上。

接著，類型(b)是作為外壁101的一部分沿著軸方向而向徑方向偏離后的結(jié)果而產(chǎn)生的階梯(階梯裂紋)st。在圖3中例示了圖右側(cè)相對(duì)較高，圖左側(cè)相對(duì)較低的情況，然而，在與之相反的樣態(tài)下當(dāng)然也會(huì)產(chǎn)生階梯st。相比于裂紋cr，產(chǎn)生該階梯st的情況稀少，在外壁101上產(chǎn)生了不連續(xù)，這一點(diǎn)與裂紋cr相同，在本實(shí)施方式中，與裂紋cr相同處理為應(yīng)當(dāng)檢測(cè)的軸方向裂紋。階梯st的高度為大約50μm～1mm。

另一方面，類型(c)是在外壁101的表面上沿著圓周方向產(chǎn)生的起伏即波紋ud。更具體地，圖3中例示了因產(chǎn)生了波紋ud而導(dǎo)致以在蜂窩結(jié)構(gòu)體的軸方向上具有長度方向的方式形成的凹部。此外，波紋ud也可以形成為凸部，然而，在以下的說明中，為了容易與上述的裂紋cr進(jìn)行對(duì)比，將以沿軸方向的樣態(tài)形成凹部的波紋ud作為對(duì)象。

沿波紋ud的圓周方向的寬度大體上是大約200μm～1mm。此外，波紋ud的深度也是大約200μm～1mm。

在蜂窩結(jié)構(gòu)體100中可產(chǎn)生以上那樣的3種類型的變形。其中，本實(shí)施方式的表面檢查裝置1應(yīng)當(dāng)可靠地檢測(cè)的是統(tǒng)稱為軸方向裂紋的裂紋cr以及階梯st。對(duì)于波紋ud，由于不會(huì)對(duì)蜂窩結(jié)構(gòu)體的質(zhì)量和特性產(chǎn)生影響，因而允許其存在。換言之，要求表面檢查裝置1在缺陷判定時(shí)可靠地檢測(cè)軸方向裂紋，另一方面，要求不會(huì)出現(xiàn)將波紋ud作為軸方向裂紋的過檢測(cè)的情況。

<檢查工序>

接著，說明在上述構(gòu)成的表面檢查裝置1中進(jìn)行的、用于檢查有無軸方向裂紋的代表性處理工序。此外，以下為了說明的簡(jiǎn)單，只要沒有特別說明，第一照明單元3a發(fā)出紅色光來作為第一照明光la，第二照明單元3b發(fā)出藍(lán)色光來作為第二照明光lb，并且，拍攝單元4是生成rgb形式的拍攝數(shù)據(jù)的rgb線傳感器，并且，這些照明單元3和拍攝單元4被設(shè)置為，能夠在蜂窩結(jié)構(gòu)體100進(jìn)行一次旋轉(zhuǎn)的期間執(zhí)行對(duì)其側(cè)面即外壁101的整個(gè)表面的拍攝。

首先，將作為檢查對(duì)象的蜂窩結(jié)構(gòu)體100載置固定到工作臺(tái)2上。蜂窩結(jié)構(gòu)體100相對(duì)于工作臺(tái)2的載置可以由作業(yè)者手動(dòng)作業(yè)進(jìn)行，也可以是由設(shè)置在裝置外的預(yù)定的輸送單元自動(dòng)進(jìn)行載置的方式。

當(dāng)進(jìn)行該載置時(shí)，通過輸入操作部6對(duì)統(tǒng)一控制部10給出檢查開始指示。此外，對(duì)于檢查時(shí)所需要的參數(shù)，例如蜂窩結(jié)構(gòu)體100的尺寸、工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)速度、照明光的強(qiáng)度、拍攝定時(shí)(時(shí)間間隔)及其他拍攝條件、濾波處理?xiàng)l件、軸方向裂紋的判定處理?xiàng)l件等，預(yù)先通過輸入操作部6來設(shè)定。此外，也可以是自動(dòng)檢測(cè)蜂窩結(jié)構(gòu)體100的載置固定，向統(tǒng)一控制部10給出檢查開始指示的方式。

接受了檢查開始指示的統(tǒng)一控制部10同步地控制旋轉(zhuǎn)控制部12和照明控制部13。

具體地，統(tǒng)一控制部10首先針對(duì)旋轉(zhuǎn)控制部12指示使載置有蜂窩結(jié)構(gòu)體100的工作臺(tái)2所具備的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2a旋轉(zhuǎn)，并且針對(duì)照明控制部13指示由第一照明單元3a和第二照明單元3b進(jìn)行照明光的照射。通過由旋轉(zhuǎn)控制部12和照明控制部13發(fā)出與從統(tǒng)一控制部10給出的指示信號(hào)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，載置有蜂窩結(jié)構(gòu)體100的工作臺(tái)2以預(yù)先設(shè)定的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并且如圖1所示地，分別從第一照明單元3a和第二照明單元3b對(duì)正在旋轉(zhuǎn)的蜂窩結(jié)構(gòu)體100重疊地(同時(shí))照射預(yù)先確定好強(qiáng)度的第一照明光la和第二照明光lb。

當(dāng)工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作開始時(shí)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2a所具備的未圖示的編碼器以預(yù)定的時(shí)間間隔發(fā)出脈沖(編碼脈沖)。該編碼脈沖被移交給拍攝單元4的拍攝控制部4c。拍攝控制部4c對(duì)拍攝部4b給出拍攝指示，使得與接受該編碼脈沖的定時(shí)同步地執(zhí)行拍攝。通過這樣在發(fā)出編碼脈沖的定時(shí)進(jìn)行拍攝，在拍攝單元4中生成了作為針對(duì)各個(gè)拍攝時(shí)的rgb各色成分的像素值與拍攝時(shí)的編碼脈沖的脈沖值的數(shù)據(jù)集的拍攝數(shù)據(jù)。

此外，拍攝單元4如上述以拍攝寬度w進(jìn)行拍攝，因此，在設(shè)蜂窩結(jié)構(gòu)體100的截面半徑為r，設(shè)工作臺(tái)2的(因而蜂窩結(jié)構(gòu)體100的)旋轉(zhuǎn)角速度為ω(rad/秒)時(shí)，如果在蜂窩結(jié)構(gòu)體100進(jìn)行一次旋轉(zhuǎn)的時(shí)間4π/ω(秒)的期間至少進(jìn)行2πr/ω次拍攝，也就是說，每隔時(shí)間2w/rω(秒)進(jìn)行一次拍攝，則能夠在蜂窩結(jié)構(gòu)體100進(jìn)行一次旋轉(zhuǎn)的期間對(duì)外壁101的整個(gè)表面進(jìn)行拍攝，然而，實(shí)際上，優(yōu)選前后拍攝到的圖像中存在大約50％以下的重疊，因此優(yōu)選將拍攝的時(shí)間間隔設(shè)定為小于2w/rω(秒)的值。

例如，在使r＝5.0cm的蜂窩結(jié)構(gòu)體100以ω＝230°/秒進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，通過成為w＝30μm的拍攝單元4(線傳感器)進(jìn)行拍攝的情況下，將拍攝的時(shí)間間隔設(shè)定為大約1.0×10^-4秒～1.4×10^-4秒。該情況下的拍攝次數(shù)為大約10500次～15000次。即，在進(jìn)行一個(gè)蜂窩結(jié)構(gòu)體100的檢查時(shí)，會(huì)取得大約10500行～15000行的拍攝數(shù)據(jù)。

通過拍攝單元4得到的拍攝數(shù)據(jù)依次地、或者按照預(yù)定的數(shù)據(jù)量(例如，每次針對(duì)一個(gè)蜂窩結(jié)構(gòu)體100而拍攝結(jié)束時(shí))總括地被提供給判定用圖像生成部20的分解圖像生成部21。

此外，通過統(tǒng)一控制部10來進(jìn)行對(duì)各個(gè)蜂窩結(jié)構(gòu)體100的外壁101的整個(gè)表面的拍攝結(jié)束的判斷。具體地，在統(tǒng)一控制部10中，根據(jù)在檢查前預(yù)先通過輸入操作部6輸入的蜂窩結(jié)構(gòu)體100的尺寸、工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)速度等，運(yùn)算出外壁101的整個(gè)表面的拍攝所需要的時(shí)間，并且，通過取得由拍攝單元4以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2a發(fā)出的編碼脈沖，能夠得知拍攝開始的定時(shí)。根據(jù)這些拍攝開始的定時(shí)和拍攝所需要的時(shí)間，能夠判斷對(duì)外壁101的整個(gè)表面的拍攝結(jié)束的定時(shí)。

或者，每次對(duì)統(tǒng)一控制部4輸入一定數(shù)量與工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)角度對(duì)應(yīng)的編碼脈沖時(shí)，讀入一定拍攝次數(shù)(讀入的行數(shù))的量的拍攝數(shù)據(jù)，并且根據(jù)預(yù)先設(shè)定的工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)角、讀入的行數(shù)、編碼脈沖數(shù)等自動(dòng)地結(jié)束拍攝，由此能夠以一定的間隔對(duì)蜂窩結(jié)構(gòu)體100的外周進(jìn)行拍攝。

通過按照時(shí)間序列來配置在從拍攝開始直至結(jié)束的定時(shí)的期間所取得的大量拍攝數(shù)據(jù)，來表示針對(duì)外壁101的整個(gè)表面的一個(gè)拍攝數(shù)據(jù)。在本實(shí)施方式中，將該一個(gè)拍攝數(shù)據(jù)稱為連續(xù)圖像數(shù)據(jù)。

統(tǒng)一控制部10在對(duì)外壁101的整個(gè)表面的拍攝結(jié)束的定時(shí)，指示分解圖像生成部22生成基于連續(xù)圖像數(shù)據(jù)的分解圖像數(shù)據(jù)。此外，統(tǒng)一控制部10對(duì)旋轉(zhuǎn)控制部12給出使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2a的旋轉(zhuǎn)停止的指示信號(hào)，并且對(duì)照明控制部13給出使第一照明光la和第二照明光lb的照射結(jié)束的指示信號(hào)。旋轉(zhuǎn)控制部12和照明控制部13分別發(fā)出響應(yīng)于這些指示信號(hào)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，由此，工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)停止，第一照明光la和第二照明光lb熄滅。此外，也可以設(shè)第一照明光la和第二照明光lb始終為點(diǎn)亮狀態(tài)。在工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)完全停止的時(shí)刻，使結(jié)束了拍攝的蜂窩結(jié)構(gòu)體100從工作臺(tái)2移動(dòng)，代替其而在工作臺(tái)2上載置接下來要進(jìn)行拍攝的蜂窩結(jié)構(gòu)體100。

分解圖像生成部22根據(jù)作為一個(gè)rgb圖像數(shù)據(jù)而生成的連續(xù)圖像數(shù)據(jù)，生成第一分解圖像數(shù)據(jù)和第二分解圖像數(shù)據(jù)。當(dāng)前，第一照明光la是紅色光，第二照明光lb是藍(lán)色光，因此，優(yōu)選的一例是，作為從連續(xù)圖像數(shù)據(jù)中僅提取其r成分而得的圖像數(shù)據(jù)(r圖像數(shù)據(jù))來生成第一分解圖像數(shù)據(jù)，作為從連續(xù)圖像數(shù)據(jù)中僅提取其b成分而得的圖像數(shù)據(jù)(b圖像數(shù)據(jù))來生成第二分解圖像數(shù)據(jù)。例如優(yōu)選的是，在將連續(xù)圖像數(shù)據(jù)的任意像素(x、y)的像素值(色濃度值)表示為(rxy、gxy、bxy)的情況下，分解圖像生成部22分別將像素(x、y)的像素值被表示為(rxy、0、0)的r像素?cái)?shù)據(jù)、以及像素(x、y)的像素值被表示為(0、0、bxy)的b像素?cái)?shù)據(jù)，生成為第一分解圖像數(shù)據(jù)和第二分解圖像數(shù)據(jù)。

該情況下的r圖像數(shù)據(jù)和b圖像數(shù)據(jù)基本上分別相當(dāng)于僅照射第一照明光la由拍攝單元4進(jìn)行拍攝而由此得到的拍攝數(shù)據(jù)、以及僅照射第二照明光lb由拍攝單元4進(jìn)行拍攝而由此得到的拍攝數(shù)據(jù)。

但是，如上述，如果是不成為缺陷判定部24進(jìn)行判定的障礙的范圍，例如像素值為預(yù)定閾值以下的范圍，則第一分解圖像數(shù)據(jù)可以包含r成分以外的顏色成分，第二分解圖像數(shù)據(jù)可以包含b成分以外的顏色成分。即，如上述例子，在將連續(xù)圖像數(shù)據(jù)的任意像素(x、y)的像素值(色濃度值)表示為(rxy、gxy、bxy)的情況下，可以是將第一分解圖像數(shù)據(jù)的像素(x、y)的像素值表示為(rxy、g1xy、b1xy)的r像素?cái)?shù)據(jù)，并將第二分解圖像數(shù)據(jù)的像素(x、y)的像素值表示為(r2xy、g2xy、bxy)的方式。這里，g1xy、b1xy、r2xy、g2xy各自表示預(yù)定閾值以下的像素值。

此外，在如上述使用對(duì)不同顏色成分(波長范圍)的光個(gè)別地具有受光靈敏度，并且能夠輸出按照各像素位置合成了針對(duì)各個(gè)顏色成分的像素值的信息的形式的拍攝數(shù)據(jù)的單元，來作為拍攝單元4的情況下，分解圖像生成部22通過從該拍攝數(shù)據(jù)恢復(fù)對(duì)各顏色成分的像素值信息，來生成第一分解圖像數(shù)據(jù)和第二分解圖像數(shù)據(jù)。

由分解圖像生成部22生成的第一分解圖像數(shù)據(jù)和第二分解圖像數(shù)據(jù)被提供給由濾波處理部23進(jìn)行的濾波處理。濾波處理部23對(duì)第一分解圖像數(shù)據(jù)和第二分解圖像數(shù)據(jù)分別進(jìn)行上述的二值化處理、“黑點(diǎn)”校正、收縮膨脹處理等。

然后，將被實(shí)施了由濾波處理部23進(jìn)行的濾波處理的第一分解圖像數(shù)據(jù)和第二分解圖像數(shù)據(jù)，分別作為第一判定用圖像數(shù)據(jù)和第二判定用圖像數(shù)據(jù)，移交至缺陷判定部24，用于缺陷判定部24判定軸方向有無裂紋。下文描述缺陷判定部24的判定處理的細(xì)節(jié)。

將記述了由缺陷判定部24得到的判定結(jié)果的判定結(jié)果數(shù)據(jù)移交至統(tǒng)一控制部10，進(jìn)而用于顯示部7進(jìn)行的判定結(jié)果的顯示等。

當(dāng)?shù)玫脚卸ńY(jié)果時(shí)，繼續(xù)同樣地進(jìn)行以另一個(gè)蜂窩結(jié)構(gòu)體100為對(duì)象的檢查。

<軸方向裂紋的判定>

概略來說，將第一判定用圖像數(shù)據(jù)和第二判定用圖像數(shù)據(jù)分別所表示的像(第一判定用圖像和第二判定用圖像)進(jìn)行對(duì)照，根據(jù)各個(gè)像中出現(xiàn)的、隨著外壁101的表面上產(chǎn)生的變形而形成的陰影區(qū)域的有無以及形成位置的差異，來進(jìn)行缺陷判定部24的判定。

首先，在未產(chǎn)生變形的部位，在第一判定用圖像和第二判定用圖像的每一個(gè)中未形成陰影區(qū)域。

接著，說明作為變形而產(chǎn)生了圖3中作為類型(a)所示的裂紋cr的情況。圖4是用于表示在外壁101的形成有裂紋cr的部位的像的形成方法的圖。

圖4的(a)表示了針對(duì)形成有裂紋cr的部位的、基于第一照明光la的像的形成方法。在第一照明光la如上述地以預(yù)定角度θ入射到外壁101的表面的情況下，對(duì)于未形成裂紋cr的區(qū)域re11以及re12，在配置在圖上方位置的拍攝單元4(然而未圖示)中形成基于第一照明光la的該表面的像。此外，圖4的(a)中通過實(shí)線箭頭ar11和箭頭ar12示出了進(jìn)行該像形成的情況(圖6、圖8中也同樣)。

與此相對(duì)地，關(guān)于形成有裂紋cr的區(qū)域re13，不會(huì)對(duì)拍攝單元4中基于第一照明光la的像形成作出貢獻(xiàn)。即，拍攝單元4并不取得區(qū)域re13的像，該區(qū)域成為陰影區(qū)域。此外，圖4的(a)通過虛線箭頭ar13示出了進(jìn)行該陰影區(qū)域的形成的情況(圖6、圖8中也同樣)。

另一方面，圖4的(b)表示了針對(duì)形成有裂紋cr的部位(與圖4中(a)相同的部位)的、基于第二照明光lb的像的形成方法。在第二照明光lb如上述地以預(yù)定角度θ入射到外壁101的表面的情況下，對(duì)于未形成裂紋cr的區(qū)域re21以及re22(分別與圖4的(a)中的區(qū)域re11和re12相同)，如通過箭頭ar21和箭頭ar22所示，在拍攝單元4中形成基于第二照明光lb的該表面的像。

與此相對(duì)地，關(guān)于形成有裂紋cr的區(qū)域re23(與圖4的(a)中的區(qū)域re13相同)，不會(huì)對(duì)拍攝單元4中基于第二照明光lb的像形成作出貢獻(xiàn)。即，拍攝單元4并不取得區(qū)域re23的像，如箭頭ar23所示該區(qū)域成為陰影區(qū)域。

此外，圖5是表示實(shí)際上關(guān)于外壁101的形成有裂紋cr的部位的圖像的圖。圖5中的(a)是由拍攝單元4得到的拍攝數(shù)據(jù)所表示的拍攝圖像，圖5中的(b)是判定用圖像生成部20根據(jù)賦予圖5中(a)的拍攝圖像的拍攝數(shù)據(jù)而生成的、基于第一判定用圖像數(shù)據(jù)的第一判定用圖像，圖5中的(c)是同樣生成的基于第二判定用圖像數(shù)據(jù)的第二判定用圖像。即，三個(gè)圖像所表示的范圍是相同的。此外，為了便于圖示，圖5所示的各圖像為單色圖，實(shí)際上是彩色圖像(圖7也同樣)。

圖5的(a)中，在圖上下方向延伸的直線上的陰影區(qū)域s1對(duì)應(yīng)于裂紋cr。另一方面，圖5的(b)中形成的陰影區(qū)域s1a與圖5的(c)中形成的陰影區(qū)域s1b分別相當(dāng)于圖4的(a)和圖4的(b)中的表示為箭頭ar13和箭頭ar23的陰影區(qū)域。若將圖5的(b)與圖5的(c)進(jìn)行對(duì)比，可知，陰影區(qū)域s1a與陰影區(qū)域s1b的形狀和形成位置是彼此一致的。確認(rèn)地說，該兩個(gè)區(qū)域的形狀和形成位置也均與圖5的(a)中的陰影區(qū)域s1一致。

接著，說明作為變形而產(chǎn)生了圖3中作為類型(c)所示的波紋ud(凹部)的情況。圖6是用于表示在外壁101的形成有波紋ud的部位的像的形成方法的圖。

圖6的(a)表示了針對(duì)形成有波紋ud的部位的、基于第一照明光la的像的形成方法。在第一照明光la如上述地以預(yù)定角度θ入射到外壁101的表面的情況下，針對(duì)未構(gòu)成波紋ud的或者構(gòu)成了波紋ud的面向第一照明光la的照射方向的區(qū)域re31以及re32，如通過箭頭ar31和箭頭ar32所示，在拍攝單元4中形成基于第一照明光la的該表面的像。

另一方面，關(guān)于構(gòu)成了波紋ud且未面向第一照明光la的照射方向的區(qū)域re33，不會(huì)對(duì)拍攝單元4中基于第一照明光la的像形成作出貢獻(xiàn)。即，拍攝單元4并不取得區(qū)域re33的像，如箭頭ar33所示，該區(qū)域成為陰影區(qū)域。

與此相對(duì)地，圖6的(b)表示了針對(duì)形成有波紋ud的部位(與圖6中(a)相同的部位)的、基于第二照明光lb的像的形成方法。在第二照明光lb如上述地以預(yù)定角度θ入射到外壁101的表面的情況下，針對(duì)未構(gòu)成波紋ud的或者構(gòu)成了波紋ud的面向第二照明光lb的照射方向的區(qū)域re41以及re42，如通過箭頭ar41和箭頭ar42所示，在拍攝單元4中形成基于第二照明光lb的該表面的像。

另一方面，關(guān)于構(gòu)成了波紋ud且未面向第二照明光lb的照射方向的區(qū)域re43，不會(huì)對(duì)拍攝單元4中基于第二照明光lb的像形成作出貢獻(xiàn)。即，拍攝單元4并不取得區(qū)域re43的像，如通過箭頭ar43所示，該區(qū)域成為陰影區(qū)域。

圖7是表示實(shí)際上關(guān)于外壁101的形成有波紋ud的部位的圖像的圖。圖7中的(a)是由拍攝單元4得到的拍攝數(shù)據(jù)所表示的拍攝圖像，圖7中的(b)是判定用圖像生成部20根據(jù)得到圖7中(a)的拍攝圖像的拍攝數(shù)據(jù)而生成的、基于第一判定用圖像數(shù)據(jù)的像(第一判定用圖像)，圖7中的(c)是同樣生成的基于第二判定用圖像數(shù)據(jù)的像(第二判定用圖像)。即，三個(gè)圖像所表示的范圍是相同的。

圖7的(a)中，在圖上下方向延伸的直線上的陰影區(qū)域s2對(duì)應(yīng)于波紋ud。另一方面，圖7的(b)中形成的陰影區(qū)域s2a與圖7的(c)中形成的陰影區(qū)域s2b分別相當(dāng)于圖6的(a)和圖6的(b)中的表示為箭頭ar33和箭頭ar43的陰影區(qū)域。若將圖7的(b)與圖7的(c)進(jìn)行對(duì)比，可知，陰影區(qū)域s2a與陰影區(qū)域s2b的形成位置是彼此一致的。確認(rèn)地說，該兩個(gè)區(qū)域的形成位置相對(duì)于圖7的(a)中的陰影區(qū)域s2是對(duì)稱的。

如上述，在形成了裂紋cr的部位和形成了波紋ud的部位，在第一判定用圖像和第二判定用圖像這兩者中會(huì)形成與裂紋cr或者波紋ud對(duì)應(yīng)的陰影區(qū)域，但是，在裂紋cr的情況下和在波紋ud的情況下，兩個(gè)判定用圖像中形成的陰影區(qū)域的形成位置的關(guān)系是不同的。即，如果陰影區(qū)域與裂紋cr有關(guān)，則第一判定用圖像的陰影區(qū)域與第二判定用圖像的陰影區(qū)域是一致的，然而，如果陰影區(qū)域與波紋ud有關(guān)，則第一判定用圖像的陰影區(qū)域與第二判定用圖像的陰影區(qū)域會(huì)不一致。

此外，該差異是因利用了裂紋cr和波紋ud的形成樣態(tài)(形成尺寸)的不同而造成的。概括地說，裂紋cr具有比波紋ud更細(xì)且更深地形成的傾向。

接著，說明作為變形而產(chǎn)生了圖3中作為類型(b)所示的階梯st的情況。圖8是用于表示在外壁101的形成有階梯st的部位的像的形成方法的圖。此外，在圖8中，設(shè)為第一照明光la從階梯st的下階側(cè)照射，第二照明光lb從階梯st的上階側(cè)照射。

圖8的(a)表示了針對(duì)形成有階梯st的部位的、基于第一照明光la的像的形成方法。在第一照明光la如上述地以預(yù)定角度θ從階梯st的下階側(cè)入射到外壁101的表面的情況下，在面向配置了拍攝單元4的圖上方的全部被照射區(qū)域即區(qū)域re51和re52，如通過箭頭ar51和箭頭ar52所示，在拍攝單元4中形成基于第一照明光la的該表面的像。在外壁101的表面上并不存在未被照射第一照明光la的部位，因此未形成陰影區(qū)域。

另一方面，圖8的(b)表示了針對(duì)形成有階梯st的部位(與圖8中(a)相同的部位)的、基于第二照明光lb的像的形成方法。在第二照明光lb如上述地以預(yù)定角度θ從階梯st的上階側(cè)入射到外壁101的表面的情況下，在作為階梯st的下階側(cè)的并與上階側(cè)分離的區(qū)域re61、以及作為階梯st的上階側(cè)的被照射區(qū)域的區(qū)域re62，如通過箭頭ar61和箭頭ar62所示，在拍攝單元4中形成基于第一照明光la的該表面的像。

與此相對(duì)地，在階梯st的下階側(cè)中，在靠近上階側(cè)的附近形成有未被照射第二照明光lb的區(qū)域re63，因此，拍攝單元4不取得區(qū)域re63的像，如通過箭頭ar63所示，該區(qū)域成為陰影區(qū)域。

其結(jié)果是，盡管省略了圖示，但在以圖8所示的樣態(tài)形成了階梯st的情況下，在第一判定用圖像中未確認(rèn)陰影區(qū)域，在第二判定用圖像中形成了與圖5的(b)中的陰影區(qū)域s2b同樣的陰影區(qū)域。對(duì)于該階梯st中第一判定用圖像的陰影區(qū)域與第二判定用圖像的陰影區(qū)域的形成位置的關(guān)系，與上述的針對(duì)裂紋cr和波紋ud的第一判定用圖像的陰影區(qū)域和第二判定用圖像的陰影區(qū)域的形成位置的關(guān)系的任一個(gè)都不同于。

此外，根據(jù)針對(duì)上述的裂紋cr、波紋ud、以及階梯st適當(dāng)?shù)匦纬捎糜趯?duì)彼此進(jìn)行判別的陰影區(qū)域的觀點(diǎn)，來確定上述的照明光的照明角θ的角度范圍。具體地，當(dāng)θ<5°時(shí)，兩個(gè)照射光的光源位置接近，結(jié)果是不會(huì)清楚地得到階梯st的陰影區(qū)域，因而這是不期望的。另一方面，當(dāng)θ>30°時(shí)，針對(duì)波紋ud的第一判定用圖像中的陰影區(qū)域與第二判定用圖像陰影區(qū)域中的陰影區(qū)域重疊，因而這是不期望的。

缺陷判定部24根據(jù)將第一判定用圖像和第二判定用圖像進(jìn)行對(duì)照時(shí)的以上那樣的第一判定用圖像中的陰影區(qū)域與第二判定用圖像中的陰影區(qū)域的形成位置的關(guān)系的差異，判別外壁101上產(chǎn)生的變形的類型是裂紋cr、階梯st、還是波紋ud。

即，在判斷為在通過第一判定用圖像數(shù)據(jù)表示的第一判定用圖像與通過第二判定用圖像數(shù)據(jù)表示的第二判定用圖像中，在外壁101的同一位置上存在沿著與擠出成形時(shí)的擠出方向(通常，在第一判定用圖像和第二判定用圖像中是上下方向)對(duì)應(yīng)的方向而延伸的、像素值比周圍小的陰影區(qū)域的情況下，判定為在外壁101的與該陰影區(qū)域?qū)?yīng)的部位產(chǎn)生了裂紋cr。

此外，在第一判定用圖像和第二判定用圖像中的某一個(gè)中存在陰影區(qū)域，然而在另一個(gè)圖像中，該陰影區(qū)域的形成位置以及其附近都不存在與該陰影區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域的情況下，判定為在外壁101的與該陰影區(qū)域?qū)?yīng)的部位產(chǎn)生了階梯st。此外，在該情況下，能夠根據(jù)在哪一個(gè)圖像中形成了陰影區(qū)域來確定階梯的上下關(guān)系。

另一方面，在第一判定用圖像和第二判定用圖像這兩個(gè)圖像中存在同樣的陰影區(qū)域，但二者的形成位置錯(cuò)開的情況下，判定為在外壁101上產(chǎn)生了波紋ud。

這樣，在缺陷判定部24進(jìn)行判定時(shí)，將作為軸方向裂紋的裂紋cr以及階梯st的判定基準(zhǔn)、與波紋ud的判定基準(zhǔn)明確地進(jìn)行了區(qū)分。因此，可靠地檢測(cè)出軸方向裂紋，另一方面，不會(huì)將波紋ud誤檢測(cè)為軸方向裂紋。即，在通過缺陷判定部24進(jìn)行的判定中，適當(dāng)?shù)匾种屏诉^檢測(cè)的發(fā)生。

具體地，缺陷判定部24分別以由判定用圖像生成部20生成的第一判定用圖像數(shù)據(jù)和第二判定用圖像數(shù)據(jù)作為對(duì)象，通過公知的圖像處理方法，確定出在各個(gè)圖像數(shù)據(jù)所表現(xiàn)的圖像(第一判定用圖像或第二判定用圖像)中成為陰影區(qū)域的像素范圍。概括地說，將像素值為0或接近于0的預(yù)定閾值范圍內(nèi)的值的像素連續(xù)的區(qū)域，確定為與陰影區(qū)域?qū)?yīng)的像素區(qū)域。然后，將第一判定用圖像數(shù)據(jù)與第二判定用圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)照，根據(jù)二者中的與該陰影區(qū)域?qū)?yīng)的像素區(qū)域的位置關(guān)系，來判定各個(gè)陰影區(qū)域符合裂紋cr、階梯st以及波紋ud中的哪一個(gè)。然后，在存在被判定為符合前二者的陰影區(qū)域的情況下，作為存在軸方向裂紋，缺陷判定部24生成記述了該像素位置信息和軸方向裂紋的類別(是裂紋cr，還是階梯st)的判定結(jié)果數(shù)據(jù)，移交至統(tǒng)一控制部10。被制作了該記述內(nèi)容的判定結(jié)果的蜂窩結(jié)構(gòu)體100，被判斷為不合格品。

在第一判定用圖像數(shù)據(jù)和第二判定用圖像數(shù)據(jù)這兩者中均未檢測(cè)到符合陰影區(qū)域的像素區(qū)域的情況下，以及在判定為僅存在與波紋ud相符的像素區(qū)域的情況下，未檢測(cè)出軸方向裂紋，因此，缺陷判定部24生成記述了作為檢查對(duì)象的蜂窩結(jié)構(gòu)體100是合格品的判定結(jié)果數(shù)據(jù)，移交至統(tǒng)一控制部10。

以上，如所說明的，根據(jù)本實(shí)施方式的表面檢查裝置，能夠通過使用了照射方向不同的兩個(gè)照明光的拍攝、以及根據(jù)該拍攝結(jié)果而生成的兩個(gè)判定用圖像的對(duì)比這樣的簡(jiǎn)便方法，比以往更可靠地判定蜂窩結(jié)構(gòu)體的側(cè)面(外壁表面)上有無裂紋。更具體地，在屬于不同的兩個(gè)波段的兩個(gè)照明光下對(duì)蜂窩結(jié)構(gòu)體的側(cè)面(外壁表面)進(jìn)行拍攝，接著，根據(jù)所得的拍攝數(shù)據(jù)來生成該兩個(gè)波段的每一個(gè)的圖像數(shù)據(jù)，并通過所得的兩個(gè)圖像數(shù)據(jù)中的陰影區(qū)域的形成方法，能夠可靠地判別在蜂窩結(jié)構(gòu)體的外壁上產(chǎn)生的變形是沿著軸方向的裂紋、還是波紋。由此，可靠地檢測(cè)裂紋，并且不會(huì)將波紋誤檢測(cè)為裂紋，因此抑制了過檢測(cè)。

<變形例>

在上述實(shí)施方式的檢查方法中，將圓筒形的蜂窩結(jié)構(gòu)體設(shè)為檢查對(duì)象，然而，在該檢查方法的原理上，作為檢查對(duì)象的蜂窩結(jié)構(gòu)體可以不必是圓筒形。例如，在表面檢查裝置1上設(shè)置有使拍攝單元4相對(duì)于載置在工作臺(tái)2上的蜂窩結(jié)構(gòu)體而自由進(jìn)退地移動(dòng)的進(jìn)退移動(dòng)機(jī)構(gòu)，為了保證拍攝單元4的焦點(diǎn)距離而能夠根據(jù)拍攝位置來調(diào)整拍攝單元與蜂窩結(jié)構(gòu)體的相對(duì)位置的情況下，也能夠?qū)缇匦瓮矤畹榷噙呏蔚姆涓C結(jié)構(gòu)體進(jìn)行檢查。

此外，在上述實(shí)施方式的檢查方法的原理上，檢查對(duì)象不必是蜂窩結(jié)構(gòu)體，只要是能夠載置在工作臺(tái)上的筒狀或者柱狀的陶瓷體均可成為檢查對(duì)象。但是，如果根據(jù)能夠恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行軸方向上產(chǎn)生的裂紋和波紋的判別這樣的檢查方法的特征，則將應(yīng)用了擠出成形法而制作的陶瓷燒成體作為對(duì)象是合適的。

或者，如果是在表面檢查裝置1上設(shè)置有使拍攝單元4相對(duì)于載置在工作臺(tái)2上的陶瓷體而平行地移動(dòng)的平行移動(dòng)機(jī)構(gòu)，為了保證拍攝單元4的焦點(diǎn)距離而能夠根據(jù)拍攝位置來調(diào)整拍攝單元與陶瓷體之間的相對(duì)位置的情況，則也能夠?qū)ζ桨鍫畹奶沾审w進(jìn)行檢查。

此外，在上述實(shí)施方式中，將構(gòu)成一對(duì)照明單元3的第一照明單元3a和第二照明單元3b配置在相對(duì)于蜂窩結(jié)構(gòu)體100的外壁101的法線n的方向而對(duì)稱的位置，由此將各自的照射角設(shè)為相同的角度θ，但是，只要能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行該實(shí)施方式的裂紋有無的判別，第一照明單元3a和第二照明單元3b的配置位置可以相對(duì)于法線n的方向呈非對(duì)稱。也就是說，關(guān)于第一照明單元3a和第二照明單元3b的照射角θ的值，只要滿足5°≤θ≤30°的范圍，則可以不同。

或者，在上述實(shí)施方式中將拍攝單元4配置在了法線n上，但是拍攝單元4并不必嚴(yán)密地設(shè)置在法線n上，只要能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行上述實(shí)施方式的裂紋有無的判定，也可以是在與法線大致一致的位置或者法線n附近的位置配置拍攝單元4的方式。

此外，上述實(shí)施方式中例示了根據(jù)一個(gè)連續(xù)圖像數(shù)據(jù)生成r圖像數(shù)據(jù)和b圖像數(shù)據(jù)來作為第一分解圖像數(shù)據(jù)和第二分解圖像數(shù)據(jù)的情況，然而，實(shí)際上也可以進(jìn)行僅第一照明光la的照射和僅第二照明光lb的照射，并在各自情況下進(jìn)行通過拍攝單元4的拍攝，由此，從一開始就直接生成r圖像數(shù)據(jù)和b圖像數(shù)據(jù)來作為獨(dú)立的圖像數(shù)據(jù)，并能夠使用它們來進(jìn)行通過缺陷判定部24的判定處理。但是，在該情況下，在使蜂窩結(jié)構(gòu)體100圍繞中心軸ax進(jìn)行一次旋轉(zhuǎn)的期間，一邊僅照射第一照明光la一邊通過拍攝單元4進(jìn)行拍攝而由此得到r圖像數(shù)據(jù)之后，在使蜂窩結(jié)構(gòu)體100圍繞中心軸ax再進(jìn)行一次旋轉(zhuǎn)的期間，一邊僅照射第二照明光lb一邊通過拍攝單元4進(jìn)行拍攝而由此得到b圖像數(shù)據(jù)。即，需要至少使蜂窩結(jié)構(gòu)體100進(jìn)行2次旋轉(zhuǎn)。并且，此時(shí)需要準(zhǔn)確地進(jìn)行兩個(gè)圖像的對(duì)位。該情況下，當(dāng)在蜂窩結(jié)構(gòu)體100旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生蜂窩結(jié)構(gòu)體100的位置偏差、旋轉(zhuǎn)速度的波動(dòng)、旋轉(zhuǎn)軸的偏心等時(shí)，難以高精度地進(jìn)行對(duì)位。因此，從處理效率和判定精度這一點(diǎn)來看，僅進(jìn)行一次旋轉(zhuǎn)就結(jié)束拍攝，并使用基于一個(gè)拍攝數(shù)據(jù)而生成的針對(duì)完全相同位置的相同位置的數(shù)據(jù)即r圖像數(shù)據(jù)和b圖像數(shù)據(jù)的上述實(shí)施方式的處理方式，被判斷為是優(yōu)選的。

進(jìn)一步說，還可以將兩個(gè)照明光的波段設(shè)為相同，來進(jìn)行僅第一照明光la的照射和僅第二照明光lb的照射，并在各自情況下通過拍攝單元4進(jìn)行拍攝，生成與r圖像數(shù)據(jù)和b圖像數(shù)據(jù)相當(dāng)?shù)膬蓚€(gè)圖像數(shù)據(jù)，并對(duì)它們進(jìn)行對(duì)照，通過缺陷判定部24進(jìn)行判定處理。

此外，在上述實(shí)施方式中使用了紅色光和藍(lán)色光來作為照明光，并且生成了r圖像數(shù)據(jù)和b圖像數(shù)據(jù)來作為分解圖像數(shù)據(jù)，但是只要是能夠?qū)蓚€(gè)判定用圖像(判定用圖像數(shù)據(jù))進(jìn)行對(duì)照并適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行基于陰影區(qū)域的形成樣態(tài)的差異的裂紋有無的判定，照明光的波段與分解圖像數(shù)據(jù)的作為對(duì)象的顏色成分(的波長范圍)也可以不一致。例如也可以是下述等方式，即，使用紫外光(uv)和白光作為照明光，生成uv圖像數(shù)據(jù)和r圖像數(shù)據(jù)來作為分解圖像數(shù)據(jù)，并基于這些分解圖像數(shù)據(jù)來生成判定用圖像(判定用圖像數(shù)據(jù))。

或者，也可以是如下方式，即如上述情況那樣，在使蜂窩結(jié)構(gòu)體100圍繞中心軸ax進(jìn)行2次旋轉(zhuǎn)，第一次旋轉(zhuǎn)中僅照射第一照明光la來進(jìn)行拍攝，第二次旋轉(zhuǎn)中僅照射第二照明光lb來進(jìn)行拍攝時(shí)，生成各自的拍攝結(jié)果來作為記述了各像素的亮度值或輝度值的數(shù)據(jù)形式的拍攝數(shù)據(jù)(第一和第二拍攝數(shù)據(jù))，判定用圖像生成部20通過從這些拍攝數(shù)據(jù)取得各像素的亮度值或輝度值，來生成第一和第二判定用圖像(第一和第二判定用圖像數(shù)據(jù))，并基于該第一和第二判定用圖像(第一和第二判定用圖像數(shù)據(jù))來確認(rèn)蜂窩結(jié)構(gòu)體的外壁101有無裂紋。

或者，另外，在上述實(shí)施方式中使用了波段不同的兩個(gè)照明光，并且在判定中使用的圖像也與這些頻帶相對(duì)應(yīng)，但是，代替其，也可以是如下方式，即，在進(jìn)行了分別使用偏振光狀態(tài)不同的兩個(gè)照明光的拍攝、分別使用相位不同的兩個(gè)照明光的拍攝之后，根據(jù)通過所得到的兩個(gè)圖像而形成的像的差異來確定在外壁101上產(chǎn)生的變形的類型的差異。

此外，在上述實(shí)施方式中，由缺陷判定部24得到的判定結(jié)果被顯示在顯示部7中，然而，代替由缺陷判定部24進(jìn)行判定，也可以是如下方式，即，將基于分別由判定用圖像生成部20生成的兩個(gè)判定用圖像數(shù)據(jù)的兩個(gè)判定用圖像顯示在顯示部7中，作業(yè)者通過目視對(duì)這兩個(gè)判定用圖像進(jìn)行對(duì)照，由此來確認(rèn)蜂窩結(jié)構(gòu)體的外壁101有無裂紋。如果將兩個(gè)判定用圖像以能夠?qū)Ω髯灾写嬖诘年幱皡^(qū)域的差異進(jìn)行對(duì)比的方式顯示在顯示部7中，則能夠通過基于目視進(jìn)行對(duì)照的簡(jiǎn)單方法來判定裂紋的有無。

此外，在上述的實(shí)施方式中，主要通過將拍攝單元4的拍攝結(jié)果作為像素值而記述為拍攝數(shù)據(jù)并移交至判定用圖像生成部20，并生成判定用圖像數(shù)據(jù)這樣的數(shù)字式圖像處理方式，確認(rèn)在蜂窩結(jié)構(gòu)體的外壁101有無裂紋，然而，代替其，也可以是下述等方式，即，拍攝單元4能夠?qū)⑵渑臄z結(jié)果輸出為例如預(yù)定輸出形式的模擬方式的圖像形成信號(hào)，使用該圖像形成信號(hào)中的不同的兩個(gè)圖像形成信號(hào)，在顯示部7中以能夠進(jìn)行對(duì)比的方式顯示第一判定用圖像和第二判定用圖像。例如，拍攝單元4能夠輸出rgb形式的圖像信號(hào)，并例示了生成僅由r信號(hào)構(gòu)成的第一判定用圖像和僅由b信號(hào)構(gòu)成的第二判定用圖像的情況等。該情況下，也能夠由作業(yè)者通過目視來對(duì)照兩個(gè)判定用圖像，由此來確認(rèn)蜂窩結(jié)構(gòu)體的外壁101上有無裂紋。

或者，缺陷判定部24的裂紋有無的判定、以及通過由作業(yè)者目視在顯示部7中顯示的兩個(gè)判定用圖像而進(jìn)行的裂紋有無的判定，也可以在一個(gè)表面檢查裝置1中并用。

此外，在上述實(shí)施方式中，在從使工作臺(tái)2旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2a發(fā)出編碼脈沖的定時(shí)，拍攝單元4進(jìn)行拍攝，然而對(duì)拍攝單元4的拍攝定時(shí)的控制方式并不受限于此。圖9是通過與上述實(shí)施方式不同的方式來控制拍攝單元4的拍攝定時(shí)的表面檢查裝置1的框圖。

具體地，在圖9所示的表面檢查裝置1中，在控制單元5所具備的拍攝處理部14中進(jìn)行拍攝單元4的動(dòng)作的控制。在該表面檢查裝置1中，通過基于來自統(tǒng)括控制部10的控制信號(hào)而從拍攝處理部14提供給拍攝單元4的拍攝指示信號(hào)，來進(jìn)行基于拍攝單元4的拍攝。

此外，在圖9所示的表面檢查裝置1中，判定用圖像生成部20具備連續(xù)圖像生成部21。連續(xù)圖像生成部21是承擔(dān)如下處理的部位，該處理是，對(duì)按照拍攝寬度w拍攝而得的圖像的數(shù)據(jù)進(jìn)行合成，生成針對(duì)外壁101的整個(gè)表面的一個(gè)拍攝圖像數(shù)據(jù)即連續(xù)圖像數(shù)據(jù)。

在該表面檢查裝置1中執(zhí)行檢查時(shí)，在工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作、以及來自第一照明單元3a和第二照明單元3b的照明光的照射狀態(tài)穩(wěn)定的階段，統(tǒng)一控制部10向拍攝處理部14指示執(zhí)行通過拍攝單元4進(jìn)行拍攝。拍攝處理部14響應(yīng)該執(zhí)行指示，按照預(yù)先設(shè)定的定時(shí)(時(shí)間間隔)使拍攝單元4進(jìn)行拍攝。

然后，當(dāng)針對(duì)外壁101的整個(gè)表面結(jié)束拍攝時(shí)，拍攝處理部14對(duì)統(tǒng)一控制部10給出報(bào)告該結(jié)束的信號(hào)。接收到該報(bào)告信號(hào)的統(tǒng)一控制部10對(duì)旋轉(zhuǎn)控制部12給出使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2a的旋轉(zhuǎn)停止的指示信號(hào)，并且，對(duì)照明控制部13給出使第一照明光la和第二照明光lb的照射結(jié)束的指示信號(hào)。旋轉(zhuǎn)控制部12和照明控制部13分別發(fā)出響應(yīng)這些指示信號(hào)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，由此，工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)停止，第一照明光la和第二照明光lb熄滅。

另一方面，通過拍攝單元4得到的拍攝數(shù)據(jù)依次地、或者總括地通過拍攝處理部14而被提供給判定用圖像生成部20的連續(xù)圖像生成部21。

連續(xù)圖像生成部21在每次取得拍攝數(shù)據(jù)時(shí)逐次地，或者在取得全部拍攝數(shù)據(jù)之后總括地，將前后的拍攝定時(shí)得到的拍攝數(shù)據(jù)進(jìn)行合成，生成連續(xù)圖像數(shù)據(jù)。所生成的連續(xù)圖像數(shù)據(jù)被提供給分解圖像生成部22。之后的處理與上述實(shí)施方式相同。

或者可以是如下方式，拍攝控制部4c本身具備未圖示的計(jì)時(shí)器，利用該計(jì)數(shù)器，以一定的定時(shí)進(jìn)行拍攝。

但是，在蜂窩結(jié)構(gòu)體100每次旋轉(zhuǎn)一定角度時(shí)來進(jìn)行拍攝的上述實(shí)施方式的拍攝方法，即使在蜂窩結(jié)構(gòu)體100旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生位置偏離，也能夠可靠地進(jìn)行外壁101的拍攝，這一點(diǎn)可以說更優(yōu)于變形例中針對(duì)拍攝定時(shí)的控制方法。此外，在上述實(shí)施方式中，通過一個(gè)拍攝單元4對(duì)蜂窩結(jié)構(gòu)體100的整個(gè)外壁101進(jìn)行拍攝，然而，代替其，也可以是在載置于工作臺(tái)2上的蜂窩結(jié)構(gòu)體100的周圍以預(yù)定間隔載置多個(gè)拍攝單元4，并且與各個(gè)拍攝單元4對(duì)應(yīng)地設(shè)置第一照明單元3a和第二照明單元3b，該多個(gè)拍攝單元4的拍攝范圍能夠覆蓋整個(gè)外壁101。該情況下，即使不旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)2，也能夠得到蜂窩結(jié)構(gòu)體100的整個(gè)外壁101的拍攝數(shù)據(jù)。