技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
測(cè)定線評(píng)價(jià)機(jī)構(gòu)(23)根據(jù)針對(duì)薄膜而指定的組成和/或厚度，對(duì)于已指定的全部的測(cè)定線，通過理論計(jì)算而計(jì)算出推算測(cè)定強(qiáng)度，以規(guī)定量改變僅僅一個(gè)測(cè)定線的推算測(cè)定強(qiáng)度，針對(duì)每個(gè)變化的測(cè)定線，通過基本參數(shù)法，求出推算測(cè)定強(qiáng)度變化后的薄膜的組成和/或厚度的定量值，根據(jù)該定量值和已指定的組成和/或厚度，進(jìn)行定量誤差的推算和/或分析的可否的判斷。

技術(shù)研發(fā)人員：山田康治郎;原真也;堂井真
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社理學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.01
技術(shù)公布日：2017.08.18