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一種高濃度氣態(tài)汞發(fā)生器的制作方法

文檔序號:12711127閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種高濃度氣態(tài)汞發(fā)生器,其特征在于,包括:

封裝液態(tài)汞的汞源容器,該汞源容器內(nèi)設(shè)置至少一層隔離裝置,所述隔離裝置上留有氣體通孔;

容置汞源容器的溫控裝置;

連通汞源容器的小流量載氣管路;

小流量載氣攜帶汞蒸氣與大流量稀釋氣管路連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高濃度氣態(tài)汞發(fā)生器,其特征在于,所述隔離裝置為帶凹孔的玻璃板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高濃度氣態(tài)汞發(fā)生器,其特征在于,所述溫控裝置包括溫控加熱爐以及支撐溫控加熱爐的支架。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高濃度氣態(tài)汞發(fā)生器,其特征在于,所述溫控加熱爐內(nèi)設(shè)有風扇、溫度傳感器和溫度控制器,所述溫度傳感器和溫度控制器連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或4所述的高濃度氣態(tài)汞發(fā)生器,其特征在于,所述小流量載氣管路通過流量控制箱與汞源容器連通,所述大流量稀釋氣管路通過流量控制箱與汞源容器的輸出端連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高濃度氣態(tài)汞發(fā)生器,其特征在于,所述流量控制箱內(nèi)包括:分別與小流量載氣管路和大流量稀釋氣管路連通的載氣質(zhì)量流量計和稀釋氣質(zhì)量流量計,以及連通載氣質(zhì)量流量計和汞源容器的第一單向閥,和連通稀釋氣質(zhì)量流量計和汞源容器輸出端的第二單向閥。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的高濃度氣態(tài)汞發(fā)生器,其特征在于,還包括:與汞源容器輸出端連通的模擬氣體管路,所述模擬氣體管路通過流量控制箱與汞源容器的輸出端連通。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的高濃度氣態(tài)汞發(fā)生器,其特征在于,所述流量控制箱內(nèi)還包括:與模擬氣體管路連通的稀釋氣浮子流量計,以及連通稀釋氣浮子流量計和汞源容器輸出端的第三單向閥。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的高濃度氣態(tài)汞發(fā)生器,其特征在于,還包括:置于小流量載氣管路與汞源容器之間的預(yù)熱盤管,所述預(yù)熱盤管置于溫控裝置內(nèi)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的高濃度氣態(tài)汞發(fā)生器,其特征在于,還包括:與汞源容器輸出端連通的后端反應(yīng)系統(tǒng)、泄壓閥和尾氣凈化器。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的高濃度氣態(tài)汞發(fā)生器,其特征在于,所述汞源容器采用石英玻璃容器。

12.根據(jù)權(quán)利要求1或11所述的高濃度氣態(tài)汞發(fā)生器,其特征在于,所述小流量載氣和大流量稀釋氣的氣源采用氮氣N2或者壓縮空氣,所述小流量載氣的流量范圍為10ml/min-100ml/min,大流量稀釋氣的流量范圍為2L/min-30L/min。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的高濃度氣態(tài)汞發(fā)生器,其特征在于,所述溫控裝置內(nèi)溫度范圍為30-200℃。

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