1.一種缺陷檢查用拍攝裝置，用于進(jìn)行具有偏振特性的膜的缺陷檢查，其特征在于，
所述缺陷檢查用拍攝裝置具備：
光照射機(jī)構(gòu)，其向所述膜的拍攝區(qū)域照射光；
拍攝機(jī)構(gòu)，其將所述膜的所述拍攝區(qū)域拍攝為二維圖像；
第一偏振濾波器，其以與所述膜形成正交偏振狀態(tài)或者第一非正交偏振狀態(tài)的方式，配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述膜的所述拍攝區(qū)域之間、或者所述膜的所述拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間；以及
搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其相對(duì)于所述光照射機(jī)構(gòu)、所述拍攝機(jī)構(gòu)以及所述第一偏振濾波器沿搬運(yùn)方向相對(duì)地搬運(yùn)所述膜，
所述拍攝區(qū)域包括在所述搬運(yùn)方向上被分割出的第一拍攝區(qū)域以及第二拍攝區(qū)域，
所述第一偏振濾波器配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第一拍攝區(qū)域之間、或者所述第一拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述第一偏振濾波器與所述膜形成正交偏振狀態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述缺陷檢查用拍攝裝置還具備亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，該亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)照射至所述第一拍攝區(qū)域以及所述第二拍攝區(qū)域中的至少一方的光、或者透過所述第一拍攝區(qū)域以及所述第二拍攝區(qū)域中的至少一方或被所述第一拍攝區(qū)域以及所述第二拍攝區(qū)域中的至少一方反射的光的亮度值。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)照射至所述第二拍攝區(qū)域的光、或者透過所述第二拍攝區(qū)域或被所述第二拍攝區(qū)域反射的光的亮度值。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第二拍攝區(qū)域之間、或者所述第二拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間的衰減濾波器。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)配置于所述光照射機(jī)構(gòu)，單獨(dú)調(diào)節(jié)向所述第一拍攝區(qū)域照射的光的亮度值和向所述第二拍攝區(qū)域照射的光的亮度值。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述第一偏振濾波器配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第一拍攝區(qū)域之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述缺陷檢查用拍攝裝置還具備亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，該亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)照射至所述第一拍攝區(qū)域以及所述第二拍攝區(qū)域中的至少一方的光、或者透過所述第一拍攝區(qū)域以及所述第二拍攝區(qū)域中的至少一方或被所述第一拍攝區(qū)域以及所述第二拍攝區(qū)域中的至少一方反射的光的亮度值。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述第一偏振濾波器與所述膜的所述第一拍攝區(qū)域形成正交偏振狀態(tài)，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括第一亮度調(diào)節(jié)用偏振濾波器，該第一亮度調(diào)節(jié)用偏振濾波器以與所述膜的所述第二拍攝區(qū)域形成第一非正交偏振狀態(tài)的方式，配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第二拍攝區(qū)域之間、或者所述第二拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述第一偏振濾波器與所述膜的所述第一拍攝區(qū)域形成第一非正交偏振狀態(tài)，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第二拍攝區(qū)域之間、或者所述第二拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間的衰減濾波器。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述第一偏振濾波器與所述膜的所述第一拍攝區(qū)域形成第一非正交偏振狀態(tài)，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)配置于所述光照射機(jī)構(gòu)，單獨(dú)調(diào)節(jié)向所述第一拍攝區(qū)域照射的光的亮度值和向所述第二拍攝區(qū)域照射的光的亮度值。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述拍攝區(qū)域包括在所述搬運(yùn)方向上被分割出的第三拍攝區(qū)域，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括第二亮度調(diào)節(jié)用偏振濾波器且調(diào)節(jié)照射至所述第三拍攝區(qū)域的光的亮度值，該第二亮度調(diào)節(jié)用偏振濾波器以與所述膜的所述第三拍攝區(qū)域形成第二非正交偏振狀態(tài)的方式，配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第三拍攝區(qū)域之間、或者所述第三拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間。
13.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述拍攝區(qū)域包括在所述搬運(yùn)方向上被分割出的第三拍攝區(qū)域，
所述缺陷檢查用拍攝裝置還具備第二偏振濾波器，該第二偏振濾波器配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第三拍攝區(qū)域之間、或者所述第三拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間，且該第二偏振濾波器與所述膜的所述第三拍攝區(qū)域形成第二非正交偏振狀態(tài)。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述第一偏振濾波器與所述膜的所述第一拍攝區(qū)域形成第一非正交偏振狀態(tài)，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括第一亮度調(diào)節(jié)用偏振濾波器，該第一亮度調(diào)節(jié)用偏振濾波器以與所述膜的所述第二拍攝區(qū)域形成第二非正交偏振狀態(tài)的方式，配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第二拍攝區(qū)域之間、或者所述第二拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間。
15.一種缺陷檢查用拍攝裝置，用于進(jìn)行不具有偏振特性的膜的缺陷檢查，其特征在于，
所述缺陷檢查用拍攝裝置具備：
光照射機(jī)構(gòu)，其向所述膜的拍攝區(qū)域照射光；
拍攝機(jī)構(gòu)，其將所述膜的所述拍攝區(qū)域拍攝為二維圖像；
一對(duì)第一偏振濾波器，其以形成正交偏振狀態(tài)或者第一非正交偏振狀態(tài)的方式，分別配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述膜的所述拍攝區(qū)域之間、以及所述膜的所述拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間；以及
搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其相對(duì)于所述光照射機(jī)構(gòu)、所述拍攝機(jī)構(gòu)以及一對(duì)所述第一偏振濾波器沿搬運(yùn)方向相對(duì)地搬運(yùn)所述膜，
所述拍攝區(qū)域包括在所述搬運(yùn)方向上被分割出的第一拍攝區(qū)域以及第二拍攝區(qū)域，
一對(duì)所述第一偏振濾波器分別配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第一拍攝區(qū)域之間、以及所述第一拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
一對(duì)所述第一偏振濾波器形成正交偏振狀態(tài)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述缺陷檢查用拍攝裝置還具備亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，該亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)照射至所述第一拍攝區(qū)域以及所述第二拍攝區(qū)域中的至少一方的光、或者透過所述第一拍攝區(qū)域以及所述第二拍攝區(qū)域中的至少一方或被所述第一拍攝區(qū)域以及所述第二拍攝區(qū)域中的至少一方反射的光的亮度值。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)照射至所述第二拍攝區(qū)域的光、或者透過所述第二拍攝區(qū)域或被所述第二拍攝區(qū)域反射的光的亮度值。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第二拍攝區(qū)域之間、或者所述第二拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間的衰減濾波器。
20.根據(jù)權(quán)利要求17或18所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)配置于所述光照射機(jī)構(gòu)，單獨(dú)調(diào)節(jié)向所述第一拍攝區(qū)域照射的光的亮度值和向所述第二拍攝區(qū)域照射的光的亮度值。
21.根據(jù)權(quán)利要求15所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述缺陷檢查用拍攝裝置還具備亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，該亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)照射至所述第一拍攝區(qū)域以及所述第二拍攝區(qū)域中的至少一方的光、或者透過所述第一拍攝區(qū)域以及所述第二拍攝區(qū)域中的至少一方或被所述第一拍攝區(qū)域以及所述第二拍攝區(qū)域中的至少一方反射的光的亮度值。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
一對(duì)所述第一偏振濾波器形成正交偏振狀態(tài)，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括一對(duì)第一亮度調(diào)節(jié)用偏振濾波器，該一對(duì)第一亮度調(diào)節(jié)用偏振濾波器以形成第一非正交偏振狀態(tài)的方式，配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第二拍攝區(qū)域之間、以及所述第二拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
一對(duì)所述第一偏振濾波器形成第一非正交偏振狀態(tài)，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第二拍攝區(qū)域之間、或者所述第二拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間的衰減濾波器。
24.根據(jù)權(quán)利要求21所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
一對(duì)所述第一偏振濾波器形成第一非正交偏振狀態(tài)，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)配置于所述光照射機(jī)構(gòu)，單獨(dú)調(diào)節(jié)向所述第一拍攝區(qū)域照射的光的亮度值和向所述第二拍攝區(qū)域照射的光的亮度值。
25.根據(jù)權(quán)利要求22所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述拍攝區(qū)域包括在所述搬運(yùn)方向上被分割出的第三拍攝區(qū)域，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括一對(duì)第二亮度調(diào)節(jié)用偏振濾波器并調(diào)節(jié)照射至所述第三拍攝區(qū)域的光的亮度值，該一對(duì)第二亮度調(diào)節(jié)用偏振濾波器以形成第二非正交偏振狀態(tài)的方式，配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第三拍攝區(qū)域之間、以及所述第三拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間。
26.根據(jù)權(quán)利要求23或24所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
所述拍攝區(qū)域包括在所述搬運(yùn)方向上被分割出的第三拍攝區(qū)域，
所述缺陷檢查用拍攝裝置還具備一對(duì)第二偏振濾波器，該一對(duì)第二偏振濾波器以形成第二非正交偏振狀態(tài)的方式，分別配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第三拍攝區(qū)域之間、以及所述第三拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間。
27.根據(jù)權(quán)利要求21所述的缺陷檢查用拍攝裝置，其特征在于，
一對(duì)所述第一偏振濾波器形成第一非正交偏振狀態(tài)，
所述亮度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括一對(duì)第一亮度調(diào)節(jié)用偏振濾波器，該一對(duì)第一亮度調(diào)節(jié)用偏振濾波器以形成第二非正交偏振狀態(tài)的方式，配置在所述光照射機(jī)構(gòu)與所述第二拍攝區(qū)域之間、以及所述第二拍攝區(qū)域與所述拍攝機(jī)構(gòu)之間。
28.一種缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于，具備：
權(quán)利要求1至27中任一項(xiàng)所述的缺陷檢查用拍攝裝置；以及
檢測(cè)部，其根據(jù)由所述缺陷檢查用拍攝裝置拍攝到的所述二維圖像而檢測(cè)所述膜中存在的缺陷。
29.一種膜制造裝置，其特征在于，具備權(quán)利要求28所述的缺陷檢查系統(tǒng)。