1.一種二自由度閉鏈柔性機(jī)構(gòu)振動(dòng)測(cè)量控制裝置，其特征在于，包括柔性機(jī)構(gòu)本體部分、信號(hào)檢測(cè)驅(qū)動(dòng)部分及信號(hào)控制部分；
柔性機(jī)構(gòu)本體部分，包括靜平臺(tái)，所述靜平臺(tái)上設(shè)置絲桿導(dǎo)軌，所述絲桿導(dǎo)軌上設(shè)置滑塊，所述滑塊通過帶轉(zhuǎn)軸的法蘭連接盤與長(zhǎng)柔性桿連接，長(zhǎng)柔性桿繞滑塊自由旋轉(zhuǎn)，所述長(zhǎng)柔性桿的延長(zhǎng)線上安裝有柔性伸出梁，在長(zhǎng)柔性桿與柔性伸出梁的連接處通過轉(zhuǎn)軸錯(cuò)位連接短柔性桿，所述短柔性桿的另一端通過轉(zhuǎn)軸與剛性曲柄的一端連接，作為輸入端的曲柄；
還包括兩個(gè)帶編碼盤的交流伺服電機(jī)，分別為第一交流伺服電機(jī)及第二交流伺服電機(jī)，所述第一交流伺服電機(jī)通過聯(lián)軸器與絲桿導(dǎo)軌連接，所述第二交流伺服電機(jī)通過行星減速器驅(qū)動(dòng)剛性曲柄的轉(zhuǎn)動(dòng)，
信號(hào)檢測(cè)驅(qū)動(dòng)部分：包括壓電片傳感器、加速度傳感器及壓電驅(qū)動(dòng)器，所述長(zhǎng)柔性桿及短柔性桿的中間位置粘貼壓電片傳感器，所述長(zhǎng)、短柔性桿的兩端均粘貼壓電驅(qū)動(dòng)器，所述柔性伸出梁末端粘貼加速度傳感器；
信號(hào)控制部分：包括運(yùn)動(dòng)控制卡、工控計(jì)算機(jī)、電荷放大器、A/D轉(zhuǎn)換器、D/A轉(zhuǎn)換器、伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)器及壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源；
所述壓電傳感器及加速度傳感器檢測(cè)的柔性桿應(yīng)變信息經(jīng)過電荷放大器、A/D轉(zhuǎn)換器后輸入到工控計(jì)算機(jī)得到應(yīng)變反饋信息，經(jīng)過D/A轉(zhuǎn)換器、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源進(jìn)行電壓放大后輸出到壓電驅(qū)動(dòng)器抑制長(zhǎng)、短柔性桿的振動(dòng)；
所述編碼盤檢測(cè)的信號(hào)經(jīng)過運(yùn)動(dòng)控制卡解算后得到電機(jī)旋轉(zhuǎn)角的位移信息輸入到工控計(jì)算機(jī)，然后通過D/A轉(zhuǎn)換器輸入伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)器控制第一、第二交流伺服電機(jī)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述長(zhǎng)柔性桿及短柔性桿的兩端均安裝有剛性轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括限位開關(guān)，安裝在絲桿導(dǎo)軌兩側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述壓電驅(qū)動(dòng)器粘貼在長(zhǎng)、短柔性桿距離固定端5mm處，所述加速度傳感器粘貼在距離柔性伸出梁末端10mm處，單面安裝。