技術(shù)總結(jié)
本公開涉及一種加速度度量傳感器和便攜式電子裝置。加速度度量傳感器包括：承載結(jié)構(gòu)；半導(dǎo)體材料的懸置區(qū)域，相對于所述承載結(jié)構(gòu)可移動；至少一個第一調(diào)制電極，固定至所述承載結(jié)構(gòu)并且被配置用于在使用中采用包括具有第一頻率的至少一個周期性分量的電調(diào)制信號來偏置；至少一個第一可變電容器，由所述懸置區(qū)域以及由所述第一調(diào)制電極形成為使得所述懸置區(qū)域經(jīng)受取決于所述電調(diào)制信號的第一靜電力；以及感測組件，被配置用于當(dāng)所述加速度度量傳感器經(jīng)受加速度時產(chǎn)生電感測信號，所述電感測信號指示所述懸置區(qū)域相對于所述承載結(jié)構(gòu)的位置并且包括頻率調(diào)制分量，所述頻率調(diào)制分量取決于所述加速度和所述第一頻率。

技術(shù)研發(fā)人員：A·托齊奧;G·加特瑞
受保護的技術(shù)使用者：意法半導(dǎo)體股份有限公司
文檔號碼：201621102333
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.30
技術(shù)公布日：2017.10.27