1.一種用于晶圓銅層厚度多點(diǎn)測(cè)量的標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，包括：
電渦流傳感器；
數(shù)據(jù)采集裝置，所述數(shù)據(jù)采集裝置與所述電渦流傳感器相連，以采集電渦流傳感器輸出的采樣信號(hào)，并傳輸所述采樣信號(hào)；
數(shù)據(jù)庫模塊，所述數(shù)據(jù)庫模塊用于建立標(biāo)定數(shù)據(jù)庫以存儲(chǔ)計(jì)算銅層厚度所需的多點(diǎn)標(biāo)定表，其中，在所述多點(diǎn)標(biāo)定表中對(duì)每一個(gè)測(cè)量點(diǎn)進(jìn)行多點(diǎn)標(biāo)樣，且各測(cè)量點(diǎn)的標(biāo)樣數(shù)相同；
上層控制系統(tǒng)，所述上層控制系統(tǒng)與所述數(shù)據(jù)采集裝置相連，接收所述數(shù)據(jù)采集裝置傳輸?shù)乃霾蓸有盘?hào)，并用于存儲(chǔ)所述標(biāo)定數(shù)據(jù)庫，所述上層控制系統(tǒng)對(duì)所述采樣信號(hào)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理后，根據(jù)選定的多點(diǎn)標(biāo)定表計(jì)算晶圓表面銅層多點(diǎn)的厚度測(cè)量值，并在計(jì)算完成后，所述上層控制系統(tǒng)根據(jù)測(cè)量點(diǎn)序，進(jìn)行測(cè)量值與測(cè)量點(diǎn)坐標(biāo)的一一匹配，并將匹配結(jié)果按照預(yù)設(shè)格式進(jìn)行保存。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓銅層厚度多點(diǎn)測(cè)量的標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，所述上層控制系統(tǒng)具有XY模式和全局模式兩種測(cè)量模式，其中，所述XY模式測(cè)量晶圓表面兩條垂直直徑上各點(diǎn)的厚度值，所述全局模式測(cè)量晶圓表面以同心圓組均勻分布的多點(diǎn)厚度值。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶圓銅層厚度多點(diǎn)測(cè)量的標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，其中，
在所述XY模式下一條測(cè)量直徑上的輸出測(cè)量點(diǎn)數(shù)為100點(diǎn)；
根據(jù)8系列點(diǎn)分布，在所述全局模式下的輸出測(cè)量點(diǎn)數(shù)為121點(diǎn)、169點(diǎn)和225點(diǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于晶圓銅層厚度多點(diǎn)測(cè)量的標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，其中，
在所述XY模式下，定義晶圓圓心為坐標(biāo)原點(diǎn)，固定所述電渦流傳感器的探頭從起始位運(yùn)動(dòng)至坐標(biāo)原點(diǎn)的距離，以晶圓邊緣上缺口所在半徑為X軸負(fù)半軸，依次測(cè)量X軸負(fù)半軸、Y軸負(fù)半軸、X軸正半軸和Y軸正半軸方向上的四段半徑，在測(cè)量過程中，根據(jù)用戶設(shè)定的預(yù)留邊距值計(jì)算所述探頭在每段半徑上移動(dòng)的距離；
在所述全局模式下，所述探頭在測(cè)量時(shí)從晶圓圓心向外運(yùn)動(dòng)，所述晶圓轉(zhuǎn)盤帶動(dòng)晶圓做勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，晶圓邊緣缺口處為每圈測(cè)量起點(diǎn)，每圈測(cè)量時(shí)，所述探頭在晶圓表面各測(cè)量圓的半徑處保持靜止，隨著晶圓的自轉(zhuǎn)，完成各特定半徑圓周上的厚度測(cè)量，并在完成本圈測(cè)量后，所述探頭運(yùn)動(dòng)至下一個(gè)半徑處開始下一圈測(cè)量，直至完成全部測(cè)量。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于晶圓銅層厚度多點(diǎn)測(cè)量的標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，所述上層控制系統(tǒng)用于建立獨(dú)立的讀取線程，以在實(shí)時(shí)讀取電渦流傳感器輸出的采樣信號(hào)的同時(shí)，獲取測(cè)量系統(tǒng)的各項(xiàng)狀態(tài)信息，并建立獨(dú)立的測(cè)量工藝線程，以運(yùn)行全自動(dòng)工藝過程。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓銅層厚度多點(diǎn)測(cè)量的標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)庫模塊建立所述標(biāo)定數(shù)據(jù)庫，功能包括：新建標(biāo)定表、打開標(biāo)定表、刪除標(biāo)定表、讀取選定標(biāo)定表的標(biāo)定信息及刷新標(biāo)定表，在系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，所述上層控制系統(tǒng)用于判斷用戶是否已選定標(biāo)定表，并在用戶選擇并獲取指定標(biāo)定表時(shí)，所述上層控制系統(tǒng)解鎖所述數(shù)據(jù)庫模塊的打開標(biāo)定表和計(jì)算厚度值功能，否則，所述上層控制系統(tǒng)控制用戶界面上的打開標(biāo)定表和計(jì)算厚度值功能對(duì)應(yīng)的控件不響應(yīng)任何操作。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于晶圓銅層厚度多點(diǎn)測(cè)量的標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，所述上層控制系統(tǒng)在進(jìn)行新建標(biāo)定表時(shí)，設(shè)計(jì)專用的標(biāo)定窗口以實(shí)現(xiàn)新建標(biāo)定表，所述標(biāo)定窗口包含導(dǎo)入數(shù)據(jù)和生成標(biāo)定表兩項(xiàng)功能，所述上層控制系統(tǒng)在讀取已選定標(biāo)定表的標(biāo)定信息時(shí)，通過循環(huán)遍歷整張表格，分別獲取所述已選定標(biāo)定表上的待標(biāo)定值和真實(shí)厚度值，并依次賦給二維數(shù)組x[i][j]和y[i][j]，其中，i代表第i個(gè)測(cè)量點(diǎn)，j代表第j個(gè)標(biāo)樣。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于晶圓銅層厚度多點(diǎn)測(cè)量的標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，所述上層控制系統(tǒng)根據(jù)選定的多點(diǎn)標(biāo)定表計(jì)算晶圓表面銅層多點(diǎn)的厚度測(cè)量值，包括：
標(biāo)定信息提取與排序：在每次測(cè)量前，根據(jù)本次測(cè)量點(diǎn)分布與測(cè)量點(diǎn)數(shù)要求，選定標(biāo)定表，并讀取所選定標(biāo)定表的標(biāo)定信息，并在標(biāo)定信息讀取完成后，對(duì)于每一個(gè)測(cè)量點(diǎn)，將標(biāo)樣數(shù)據(jù)按照由小到大的順序進(jìn)行排列，以得到該測(cè)量點(diǎn)正確的分段標(biāo)定曲線，以便后續(xù)進(jìn)行實(shí)際厚度值的計(jì)算；
輸出值預(yù)處理：所述上層控制系統(tǒng)將每個(gè)測(cè)量點(diǎn)所在局部測(cè)量區(qū)間內(nèi)的所有采樣點(diǎn)的平均值作為該測(cè)量點(diǎn)的輸出值，且全部所述測(cè)量點(diǎn)的輸出值的個(gè)數(shù)與測(cè)量點(diǎn)數(shù)相同，同時(shí)測(cè)量點(diǎn)數(shù)應(yīng)與標(biāo)定表中的行數(shù)一致；
測(cè)量值計(jì)算與坐標(biāo)匹配：在對(duì)所述采樣信號(hào)進(jìn)行數(shù)據(jù)預(yù)處理后，各測(cè)量點(diǎn)根據(jù)標(biāo)定表中對(duì)應(yīng)的標(biāo)定信息和輸出值，計(jì)算各測(cè)量點(diǎn)的測(cè)量值，并在計(jì)算完成后，按照實(shí)際測(cè)量次序，將計(jì)算得到的測(cè)量值與測(cè)量點(diǎn)坐標(biāo)一一匹配，并將測(cè)量結(jié)果輸出到預(yù)定文本中。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于晶圓銅層厚度多點(diǎn)測(cè)量的標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，所述上層控制系統(tǒng)用于在計(jì)算所述測(cè)量值時(shí)，自動(dòng)搜索當(dāng)前輸出值所屬標(biāo)定曲線的標(biāo)定區(qū)間，并根據(jù)所在標(biāo)定區(qū)間擬合計(jì)算參數(shù)，計(jì)算出對(duì)應(yīng)的測(cè)量值，其中，計(jì)算的循環(huán)次數(shù)受所選標(biāo)定表的行數(shù)與列數(shù)限制。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于晶圓銅層厚度多點(diǎn)測(cè)量的標(biāo)定系統(tǒng)，其特征在于，所述上層控制系統(tǒng)計(jì)算所述測(cè)量值，包括：
判斷輸出值所屬標(biāo)定區(qū)間，如果輸出值小于所在標(biāo)定曲線中最小標(biāo)樣的待標(biāo)定值，則計(jì)算測(cè)量值為該標(biāo)定曲線最小標(biāo)樣的標(biāo)定值；
如果輸出值大于所在標(biāo)定曲線中最大標(biāo)樣的待標(biāo)定值，則計(jì)算測(cè)量值為該標(biāo)定曲線最大標(biāo)樣的標(biāo)定值；
如果輸出值屬于所在標(biāo)定曲線的某段標(biāo)定區(qū)間，則根據(jù)所在標(biāo)定區(qū)間擬合本區(qū)間內(nèi)的線性標(biāo)定關(guān)系，以得到對(duì)應(yīng)的斜率與截距；
根據(jù)擬合得到的斜率與截距，計(jì)算出當(dāng)前輸出值所對(duì)應(yīng)的厚度值。