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一種氣體特性參數測量儀的制作方法

文檔序號:12799235閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種氣體特性參數測量儀,包括殼體,殼體上設有氣體流動通道和用于對氣體流動通道中的氣體進行相應特性參數測量的參數測量傳感器,其特征在于:所述氣體流動通道中于所述參數測量傳感器的上游布置有用于對氣體進行冷凝除濕的冷凝裝置。

2.根據權利要求1所述的氣體特性參數測量儀,其特征在于:所述氣體流動通道沿上下方向延伸,氣體流動通道連通有進氣口和出氣口,所述進氣口為布置在所述氣體流動通道底部以將所述冷凝裝置滴落的冷凝水排出的排水口。

3.根據權利要求2所述的氣體特性參數測量儀,其特征在于:所述排水口位于所述冷凝裝置下方,排水口具有朝向所述氣體流動通道并用于承接所述冷凝水的內側口沿。

4.根據權利要求3所述的氣體特性參數測量儀,其特征在于:所述排水口的內側口沿為上大下小的錐形口沿。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的氣體特性參數測量儀,其特征在于:所述參數測量傳感器包括流量傳感器和/或純度傳感器。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的氣體特性參數測量儀,其特征在于:所述冷凝裝置包括半導體制冷片和與半導體制冷片裝配在一起的多個冷凝片。

7.根據權利要求2所述的氣體特性參數測量儀,其特征在于:所述殼體包括軸向沿上下方向延伸的中間筒體和對應設置于中間筒體上下兩端開口處的上端蓋、下端蓋,中間筒體中設有將中間筒體的內腔分為上腔和下腔的分隔板,所述下腔即為所述氣體流動通道,所述進氣口設置于所述下端蓋上,所述分隔板上設有與所述下腔連通的通氣孔,通氣孔的下端孔口即為所述的出氣口,所述參數測量傳感器包括布置在上腔中的流量傳感器,流量傳感器的測量管道的下端與所述的通氣孔插接連通、上端與所述上端蓋上設有的排氣孔插接連通。

8.根據權利要求7所述的氣體特性參數測量儀,其特征在于:所述參數測量傳感器還包括純度傳感器,所述純度傳感器設置于所述中間筒體的對應下腔的筒壁上。

9.根據權利要求8所述的氣體特性參數測量儀,其特征在于:所述中間筒體的外周面上設有線路板安裝槽,線路板安裝槽中設置有線路板,線路板與所述流量傳感器及純度傳感器信號連接。

10.根據權利要求9所述的氣體特性參數測量儀,其特征在于:所述冷凝裝置包括半導體制冷片和與半導體制冷片裝配在一起的多個冷凝片,半導體制冷片與所述線路板控制連接。

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