技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種用于激光加工的樣品距離檢測裝置，包括沿主光路順序排列的用于發(fā)出加工光束的激光器、激光功率調(diào)諧機構(gòu)、快門、第一偏振分光棱鏡、全反鏡、激光光束直徑調(diào)整系統(tǒng)、第二偏振分光棱鏡、物鏡和用于放置樣品的三維移動平臺，特點是三維移動平臺背面設(shè)置有背景照明LED，第二偏振分光棱鏡的分光路上設(shè)置有成像CCD，第一偏振分光棱鏡的分光路上設(shè)置有聚焦透鏡和光電倍增管，光電倍增管與放置在三維移動平臺上的樣品表面處在共聚焦位置，激光器、三維移動平臺、快門、激光功率調(diào)諧機構(gòu)和光電倍增管分別與控制計算機連接，優(yōu)點在于利用加工系統(tǒng)中共用的激光器及三維移動平臺，在實現(xiàn)精確測量的同時，盡可能地降低成本。

技術(shù)研發(fā)人員：姚劍婷;宋寶安;劉畫池;金友良
受保護的技術(shù)使用者：寧波大學(xué)
文檔號碼：201620619954
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.21
技術(shù)公布日：2016.11.30