探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在顯示設(shè)備制造行業(yè)中，制作顯示設(shè)備中最重要的就是確定基板是否正常，其中，基板點(diǎn)亮測(cè)試是生產(chǎn)顯示設(shè)備過(guò)程中確定基板是否正常的關(guān)鍵工藝，目的在于通過(guò)檢測(cè)裝置來(lái)確定基板是否能正常亮起。
[0003]基板點(diǎn)亮測(cè)試的過(guò)程為，使用檢測(cè)裝置中的測(cè)試筆或探針等結(jié)構(gòu)與基板上的測(cè)試點(diǎn)進(jìn)行接觸，通電后，如果基板可以點(diǎn)亮，則判定基板為正?；?，如果基板不可以點(diǎn)亮，則判定基板為異?；?，需要使用其他方式進(jìn)行處理。
[0004]發(fā)明人在操作過(guò)程中發(fā)現(xiàn)如下問(wèn)題，由于放置基板的過(guò)程為人工操作，人工操作容易造成基板放置的位置出現(xiàn)偏差或不平整，從而使得檢測(cè)裝置中的探針與基板不平行而無(wú)法點(diǎn)亮基板，容易造成誤判，良品率較低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型提供一種探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，以克服當(dāng)基板放置的位置出現(xiàn)偏差或不平整時(shí)，使得探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置中的探針與基板不平行而無(wú)法點(diǎn)亮基板，容易造成誤判，影響良品率的問(wèn)題。
[0006]本實(shí)用新型提供一種探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，包括:板框、基板位移反饋機(jī)構(gòu)以及探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；
[0007]所述板框包括豎直側(cè)面以及底面，所述底面與所述豎直側(cè)面的底部連接，且所述豎直側(cè)面與所述底面相互垂直，
[0008]所述基板位移機(jī)構(gòu)包括平衡桿、轉(zhuǎn)動(dòng)桿、滑頭以及兩組調(diào)節(jié)組件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿與所述平衡桿垂直固定連接，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿與所述平衡桿的連接處與所述豎直側(cè)面鉸接，所述滑頭固定在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿遠(yuǎn)離所述平衡桿的一端，兩組所述調(diào)節(jié)組件對(duì)稱設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩側(cè)，所述調(diào)節(jié)組件包括頂緊件、彈性施力件以及傳動(dòng)件，所述頂緊件位于所述傳動(dòng)件朝向基板的一側(cè)，所述傳動(dòng)件與所述平衡桿固定連接，所述彈性施力件固定在所述豎直側(cè)面上，且與所述傳動(dòng)件相連，并向所述傳動(dòng)件施加朝向基板側(cè)邊的作用力，使所述頂緊件能夠始終頂緊基板側(cè)邊，
[0009]所述探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括探針組件以及調(diào)節(jié)件，所述探針組件與所述調(diào)節(jié)件固定連接，所述調(diào)節(jié)件上設(shè)置有與所述平衡桿的延伸方向平行的滑槽，所述滑頭置于所述滑槽內(nèi)，且能夠沿所述滑槽滑動(dòng)，所述調(diào)節(jié)件的底部設(shè)有底部弧形面，所述調(diào)節(jié)件放置在所述底面上，且通過(guò)所述底部弧形面與所述底面接觸，所述底部弧形面的延伸方向與所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的轉(zhuǎn)動(dòng)方向位于相互平行的平面內(nèi)。
[0010]進(jìn)一步地，上述探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置中，所述傳動(dòng)件包括受力連桿以及傳動(dòng)連桿，所述頂緊件設(shè)置在所述受力連桿朝向基板側(cè)邊的一側(cè)，所述彈性施力件與所述受力連桿背離基板側(cè)邊的一側(cè)相連，所述傳動(dòng)連桿分別與所述受力連桿以及所述平衡桿相連。
[0011]進(jìn)一步地，上述探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置中，所述傳動(dòng)連桿為兩根，兩根所述傳動(dòng)連桿對(duì)稱設(shè)置在所述彈性施力件的兩側(cè)。
[0012]進(jìn)一步地，上述探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置中，兩根所述傳動(dòng)連桿與所述平衡桿的連接端之間的間距小于二者與所述受力連桿的連接端之間的間距。
[0013]進(jìn)一步地，上述探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置中，所述彈性施力件包括氣缸以及彈簧，所述氣缸固定設(shè)置在所述豎直側(cè)面上，所述彈簧的一端與所述氣缸的活塞桿連接，另一端與所述受力連桿相連。
[0014]進(jìn)一步地，上述探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置中，所述頂緊件朝向基板側(cè)邊的一側(cè)為圓弧面，且所述圓弧面的延伸方向與所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的轉(zhuǎn)動(dòng)方向位于相互平行的平面內(nèi)。
[0015]進(jìn)一步地，上述探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置中，所述頂緊件為圓形。
[0016]進(jìn)一步地，上述探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置中，所述板框還包括頂面，所述頂面與所述豎直側(cè)面的頂部連接，且與所述底面相對(duì)設(shè)置，
[0017]所述調(diào)節(jié)件的頂部設(shè)置有頂部弧形面，所述頂面與所述頂部弧形面相接觸。
[0018]進(jìn)一步地，上述探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置中，所述滑頭為培林，所述培林的軸向與所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的轉(zhuǎn)動(dòng)軸平行。
[0019]進(jìn)一步地，上述探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置中，所述培林與所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿通過(guò)螺絲固定。
[0020]本實(shí)用新型探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，包括板框、基板位移反饋機(jī)構(gòu)以及探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其中基板位移機(jī)構(gòu)包括平衡桿、轉(zhuǎn)動(dòng)桿、滑頭以及兩組調(diào)節(jié)組件，探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括探針組件以及調(diào)節(jié)件，調(diào)節(jié)組件包括頂緊件、彈性施力件以及傳動(dòng)件，通過(guò)頂緊件頂緊待點(diǎn)亮的基板，當(dāng)待點(diǎn)亮的基板位置與標(biāo)準(zhǔn)位置發(fā)生偏差，頂緊件可帶動(dòng)平衡桿以及轉(zhuǎn)動(dòng)桿轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)調(diào)節(jié)件轉(zhuǎn)動(dòng)，使得探針組件可以與基板達(dá)到相對(duì)平行的狀態(tài)，解決了人工操作容易造成基板放置的位置出現(xiàn)偏差或不平整，從而使得探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置中的探針與基板不平行而無(wú)法點(diǎn)亮基板，容易造成誤判，良品率較低的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了提高良品率的效果O
【附圖說(shuō)明】

[0021]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0022]圖1為本實(shí)用新型探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置實(shí)施例的板框與基板位移反饋機(jī)構(gòu)的配合結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2為本實(shí)用新型探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置實(shí)施例的主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖3為本實(shí)用新型探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置實(shí)施例的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]附圖標(biāo)記:
[0026]11—板框
[0027]111一豎直側(cè)面
[0028]112—底面
[0029]12—基板位移反饋機(jī)構(gòu)
[0030]121—平衡桿
[0031]122—轉(zhuǎn)動(dòng)桿
[0032]123—滑頭
[0033]丨24—調(diào)節(jié)組件
[0034]1241—頂緊件
[0035]1242—彈性施力件
[0036]1243—傳動(dòng)件
[0037]13一探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)
[0038]131—探針組件
[0039]132—調(diào)節(jié)件
【具體實(shí)施方式】
[0040]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0041]圖1為本實(shí)用新型探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置實(shí)施例的板框與基板位移反饋機(jī)構(gòu)的配合結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為本實(shí)用新型探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置實(shí)施例的主視結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為本實(shí)用新型探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置實(shí)施例的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1-圖3所示，本實(shí)施例的探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，包括板框11、基板位移反饋機(jī)構(gòu)12以及探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)13。
[0042]其中，板框11包括豎直側(cè)面111以及底面112，且底面112與豎直側(cè)面111的底部連接、豎直側(cè)面111與底面112相互垂直。例如，當(dāng)需要對(duì)制作顯示器時(shí)使用的基板進(jìn)行點(diǎn)亮操作，用點(diǎn)亮的結(jié)果來(lái)判斷制作完成的基板是否為合格產(chǎn)品時(shí)，板框11用來(lái)放置基板，且基板需要與板框11的豎直側(cè)面111保持平行狀態(tài)。
[0043]基板位移反饋機(jī)構(gòu)12可以包括平衡桿121、轉(zhuǎn)動(dòng)桿122、滑頭123以及兩組調(diào)節(jié)組件124，其中，轉(zhuǎn)動(dòng)桿122需要與平衡桿121垂直固定連接，以利于轉(zhuǎn)動(dòng)桿122在轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中可以形成一個(gè)以平衡桿121為半徑的圓弧，從而保證了轉(zhuǎn)動(dòng)的精準(zhǔn)度。轉(zhuǎn)動(dòng)桿122與平衡桿121的連接處需要與板框11的豎直側(cè)面111鉸接，從而保證了轉(zhuǎn)動(dòng)桿122與平衡桿121不會(huì)因轉(zhuǎn)動(dòng)而發(fā)生位移。
[0044]滑頭123固定在轉(zhuǎn)動(dòng)桿122遠(yuǎn)離平衡桿121的一端，在實(shí)際應(yīng)用過(guò)程中，滑頭123可以采用培林，且培林的軸向與轉(zhuǎn)動(dòng)桿122的轉(zhuǎn)動(dòng)軸平行，培林與轉(zhuǎn)動(dòng)桿122之間的固定方式可以使用螺絲進(jìn)行固定。采用培林作為滑頭123，可以實(shí)現(xiàn)有良好的潤(rùn)滑效果，使用螺絲進(jìn)行固定，實(shí)現(xiàn)了培林與轉(zhuǎn)動(dòng)桿122不會(huì)脫落，且牢固程度更高的效果。
[0045]為了保證平衡桿121的平衡，采用兩組調(diào)節(jié)組件124，且需要對(duì)稱設(shè)置于轉(zhuǎn)動(dòng)桿122的兩側(cè)，從而實(shí)現(xiàn)了保持平衡桿121的平衡度的效果。而且調(diào)節(jié)組件124包括頂緊件1241、彈性施力件1242以及傳動(dòng)件1243，其中，傳動(dòng)件1243與平衡桿121固定連接，頂緊件1241位于傳動(dòng)件1243朝向基板的一側(cè)，使得調(diào)節(jié)組件124可以保持一個(gè)穩(wěn)定的形狀。
[0046]頂緊件1241用于頂住待進(jìn)行點(diǎn)亮的基板，如果待進(jìn)行點(diǎn)亮的基板在放置的過(guò)程中出現(xiàn)了位移，為了使得頂緊件1241可以頂緊在基板的側(cè)邊上，就需要給頂緊件1241提供一個(gè)動(dòng)力，因?yàn)榛宓奈恢檬遣还潭ǖ?，因此提供?dòng)力的裝置也是需要具有彈性的，以使得頂緊件1241可以跟隨著基板的運(yùn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)，為了實(shí)現(xiàn)此目的，通過(guò)使用固定在板框11中的豎直側(cè)面111上的彈性施力件1242來(lái)實(shí)現(xiàn)，且彈性施力件1242與傳動(dòng)件1243相連，并能夠向傳動(dòng)件1243施加朝向基板側(cè)邊的作用力，使得頂緊件1241能夠始終頂緊基板側(cè)邊，實(shí)現(xiàn)了通過(guò)頂緊件1241來(lái)定位與推動(dòng)基板的效果。
[0047]其中，傳動(dòng)件1243可以采用兩部分組成，分別為受力連桿以及傳動(dòng)連桿，傳動(dòng)連桿為兩根，且兩根傳動(dòng)連桿對(duì)稱設(shè)置在彈性施力件1242的兩側(cè)，優(yōu)選采用兩根傳動(dòng)連桿與平衡桿121的連接端的之間的小于二者與受力連桿的連接端之間的間距，使得受力連桿以及傳動(dòng)連桿可以形成類似三角形的形狀，以增加穩(wěn)定性。頂緊件1241設(shè)置在受力連桿朝向基板側(cè)邊的一側(cè)，彈性施力件1242與受力連桿背離基板側(cè)邊的一側(cè)相連，傳動(dòng)連桿分別與受力連桿以及平衡桿121相連，當(dāng)頂緊件1241發(fā)生了位移，其帶動(dòng)受力連桿發(fā)生位移，受力連桿帶動(dòng)傳動(dòng)連桿發(fā)生位移，從而帶動(dòng)平衡桿121轉(zhuǎn)動(dòng)一定的角度。實(shí)現(xiàn)了將頂緊件1241產(chǎn)生的作用力傳遞至平衡桿121，從而使得平衡桿121可以發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)的效果。
[0048]在實(shí)際應(yīng)用過(guò)程中，頂緊件1241可以采用聚醚醚酮材料制成圓形或球形，并可以保證頂緊件1241朝向基板側(cè)邊的一側(cè)為圓弧面，且圓弧面的延伸方向與轉(zhuǎn)動(dòng)桿122的轉(zhuǎn)動(dòng)方向位于相互平行的平面內(nèi)，制成圓形的的形狀，因其與基板接觸的圓弧面是圓滑的，有利于保護(hù)基板，實(shí)現(xiàn)了提高安全性的效果。
[0049]彈性施力件1242包括氣缸以及彈簧，其中，氣缸固定設(shè)置在豎直側(cè)面111上，彈簧的一端與氣缸的活塞桿連接，另一端與受力連桿相連。使用彈簧可以實(shí)現(xiàn)減緩氣缸活塞在伸出氣缸的過(guò)程中產(chǎn)生的沖力，使得基板不易因?yàn)闆_力過(guò)大而產(chǎn)生損壞的效果。并且，彈簧的形變量還可以反饋基板的垂直度。
[0050]氣缸可以采用普通的小型氣缸。通過(guò)采用氣缸作為彈性施力件1242的一部分，不但可以實(shí)現(xiàn)保持平衡的效果，還可以實(shí)現(xiàn)持續(xù)提供動(dòng)力的效果。
[0051]在點(diǎn)亮操作的過(guò)程中，最重要的就是探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)13需要與待點(diǎn)亮的基板位置相對(duì)平行，探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)13包括探針組件131以及調(diào)節(jié)件132，其中，探針組件131與調(diào)節(jié)件132需要固定連接，可以采用使用黏性材料粘接，也可以使用螺釘螺紋連接，還可以焊接等等，并且調(diào)節(jié)件132上設(shè)置有與平衡桿121的延伸方向平行的滑槽，滑頭123置于滑槽內(nèi)，且能夠沿滑槽滑動(dòng)。當(dāng)待點(diǎn)亮的基板在放置后與標(biāo)準(zhǔn)位置產(chǎn)生了一定的偏差，頂緊件1241帶動(dòng)傳動(dòng)件1243運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)平衡桿121轉(zhuǎn)動(dòng)，平衡桿121在轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中帶動(dòng)位于轉(zhuǎn)動(dòng)桿122—端的滑頭123在滑槽內(nèi)滑動(dòng)。
[0052]在實(shí)際應(yīng)用中，探針組件131中包括探針，探針的數(shù)量需要與待點(diǎn)亮的基板的探針檢測(cè)點(diǎn)的數(shù)量相匹配，例如，待點(diǎn)亮的基板有255個(gè)探針檢測(cè)點(diǎn)，則需要設(shè)置255根探針，每根探針的直徑為0.8mm，下壓行程為0.5mm。
[0053]為了保證探針可以與基板保持一個(gè)相對(duì)平行的狀態(tài)，將調(diào)節(jié)件132的底部設(shè)為底部弧形面，且將調(diào)節(jié)件132放置在板框11的地面上，通過(guò)底部弧形面與底面112接觸，從而可以產(chǎn)生有摩擦力，并且在摩擦力的作用下調(diào)節(jié)件132可以發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，并且還需要保證底部弧形面的延伸方向與轉(zhuǎn)動(dòng)桿122的轉(zhuǎn)動(dòng)方向位于相互平行的平面內(nèi)。以使得探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)13可以很精準(zhǔn)的發(fā)生位移，其實(shí)現(xiàn)了探針機(jī)構(gòu)可以與基板保持一個(gè)相對(duì)平行狀態(tài)的效果。
[0054]為了可以更進(jìn)一步的保證探針與基板可以保持一個(gè)相對(duì)平行的狀態(tài)，將調(diào)節(jié)件132的頂部也設(shè)置有頂部弧形面。單獨(dú)設(shè)置有頂部弧形面還不能夠起到相應(yīng)的作用，因此還可以在上述板框11結(jié)構(gòu)中增加頂面，并且保證頂面與豎直側(cè)面111的頂部連接，與底面112相對(duì)設(shè)置。因此，頂部弧形面就可以與頂面相接觸，產(chǎn)生一個(gè)摩擦力，實(shí)現(xiàn)了增加調(diào)節(jié)件132的轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中穩(wěn)定性、不易產(chǎn)生晃動(dòng)的效果。
[0055]本實(shí)施例的探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，包括板框11、基板位移反饋機(jī)構(gòu)12以及探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)13，其中基板位移反饋機(jī)構(gòu)12包括平衡桿121、轉(zhuǎn)動(dòng)桿122、滑頭123以及兩組調(diào)節(jié)組件124，探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)13包括探針組件131以及調(diào)節(jié)件132，調(diào)節(jié)組件124包括頂緊件1241、彈性施力件1242以及傳動(dòng)件1243，通過(guò)頂緊件1241頂緊待點(diǎn)亮的基板，當(dāng)待點(diǎn)亮的基板位置與標(biāo)準(zhǔn)位置發(fā)生偏差，頂緊件1241可帶動(dòng)平衡桿121以及轉(zhuǎn)動(dòng)桿122轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)調(diào)節(jié)件132轉(zhuǎn)動(dòng)，使得探針組件131可以與基板達(dá)到相對(duì)平行的狀態(tài)，解決了人工操作容易造成基板放置的位置出現(xiàn)偏差或不平整，從而使得探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置中的探針與基板不平行而無(wú)法點(diǎn)亮基板，容易造成誤判，工作效率低的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了提高良品率的效果。
[0056]最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上各實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制;盡管參照前述各實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括:板框、基板位移反饋機(jī)構(gòu)以及探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)； 所述板框包括豎直側(cè)面以及底面，所述底面與所述豎直側(cè)面的底部連接，且所述豎直側(cè)面與所述底面相互垂直， 所述基板位移機(jī)構(gòu)包括平衡桿、轉(zhuǎn)動(dòng)桿、滑頭以及兩組調(diào)節(jié)組件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿與所述平衡桿垂直固定連接，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿與所述平衡桿的連接處與所述豎直側(cè)面鉸接，所述滑頭固定在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿遠(yuǎn)離所述平衡桿的一端，兩組所述調(diào)節(jié)組件對(duì)稱設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩側(cè)，所述調(diào)節(jié)組件包括頂緊件、彈性施力件以及傳動(dòng)件，所述頂緊件位于所述傳動(dòng)件朝向基板的一側(cè)，所述傳動(dòng)件與所述平衡桿固定連接，所述彈性施力件固定在所述豎直側(cè)面上，且與所述傳動(dòng)件相連，并向所述傳動(dòng)件施加朝向基板側(cè)邊的作用力，使所述頂緊件能夠始終頂緊基板側(cè)邊， 所述探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括探針組件以及調(diào)節(jié)件，所述探針組件與所述調(diào)節(jié)件固定連接，所述調(diào)節(jié)件上設(shè)置有與所述平衡桿的延伸方向平行的滑槽，所述滑頭置于所述滑槽內(nèi)，且能夠沿所述滑槽滑動(dòng)，所述調(diào)節(jié)件的底部設(shè)有底部弧形面，所述調(diào)節(jié)件放置在所述底面上，且通過(guò)所述底部弧形面與所述底面接觸，所述底部弧形面的延伸方向與所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的轉(zhuǎn)動(dòng)方向位于相互平行的平面內(nèi)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)件包括受力連桿以及傳動(dòng)連桿，所述頂緊件設(shè)置在所述受力連桿朝向基板側(cè)邊的一側(cè)，所述彈性施力件與所述受力連桿背離基板側(cè)邊的一側(cè)相連，所述傳動(dòng)連桿分別與所述受力連桿以及所述平衡桿相連。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)連桿為兩根，兩根所述傳動(dòng)連桿對(duì)稱設(shè)置在所述彈性施力件的兩側(cè)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，兩根所述傳動(dòng)連桿與所述平衡桿的連接端之間的間距小于二者與所述受力連桿的連接端之間的間距。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述彈性施力件包括氣缸以及彈簧，所述氣缸固定設(shè)置在所述豎直側(cè)面上，所述彈簧的一端與所述氣缸的活塞桿連接，另一端與所述受力連桿相連。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述頂緊件朝向基板側(cè)邊的一側(cè)為圓弧面，且所述圓弧面的延伸方向與所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的轉(zhuǎn)動(dòng)方向位于相互平行的平面內(nèi)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述頂緊件為圓形。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述板框還包括頂面，所述頂面與所述豎直側(cè)面的頂部連接，且與所述底面相對(duì)設(shè)置， 所述調(diào)節(jié)件的頂部設(shè)置有頂部弧形面，所述頂面與所述頂部弧形面相接觸。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述滑頭為培林，所述培林的軸向與所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的轉(zhuǎn)動(dòng)軸平行。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述培林與所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿通過(guò)螺絲固定。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種探針位置自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置。本實(shí)用新型包括：板框、基板位移反饋機(jī)構(gòu)以及探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；板框包括豎直側(cè)面以及底面，基板位移機(jī)構(gòu)包括平衡桿、轉(zhuǎn)動(dòng)桿、滑頭以及兩組調(diào)節(jié)組件，轉(zhuǎn)動(dòng)桿與平衡桿垂直固定連接，且轉(zhuǎn)動(dòng)桿與平衡桿的連接處與豎直側(cè)面鉸接，滑頭固定在轉(zhuǎn)動(dòng)桿遠(yuǎn)離平衡桿的一端，調(diào)節(jié)組件包括頂緊件、彈性施力件以及傳動(dòng)件，頂緊件位于傳動(dòng)件朝向基板的一側(cè)，傳動(dòng)件與平衡桿固定連接，彈性施力件固定在豎直側(cè)面上，探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括探針組件以及調(diào)節(jié)件，探針組件與調(diào)節(jié)件固定連接，調(diào)節(jié)件上設(shè)置有與平衡桿的延伸方向平行的滑槽。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了提高良品率的效果。
【IPC分類】G01R31/26
【公開(kāi)號(hào)】CN205384350
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201620065919
【發(fā)明人】姜虎, 饒振華
【申請(qǐng)人】昆山國(guó)顯光電有限公司
【公開(kāi)日】2016年7月13日
【申請(qǐng)日】2016年1月22日