技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種脈沖激光單粒子效應(yīng)背輻照定位方法，通過(guò)測(cè)量管芯和待測(cè)區(qū)域頂點(diǎn)坐標(biāo)，利用繪圖軟件做出管芯正面平面圖，經(jīng)過(guò)對(duì)正面平面圖兩次旋轉(zhuǎn)操作、一次鏡像操作和一次平移操作得到背面輻照時(shí)待測(cè)區(qū)域的位置坐標(biāo)。本發(fā)明可以在沒(méi)有紅外成像系統(tǒng)的情況下，從芯片背面對(duì)從正面指定的待測(cè)區(qū)域定位并進(jìn)行輻照實(shí)驗(yàn)；節(jié)省了脈沖激光裝置背輻照光路系統(tǒng)的購(gòu)置和改造費(fèi)用，降低了實(shí)驗(yàn)成本。

技術(shù)研發(fā)人員：郭紅霞;魏佳男;張鳳祁;羅尹虹;丁李利;張陽(yáng);潘霄宇;劉玉輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西北核技術(shù)研究所
文檔號(hào)碼：201611245767
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.29
技術(shù)公布日：2017.06.09