1.一種脈沖激光單粒子效應背輻照定位方法,其特征在于:包括以下步驟:
一、預處理
1.1)去除待測芯片的正面和背面封裝,并對管芯背面的硅襯底進行機械拋光;
1.2)鏤空輻照電路板焊接待測芯片的區(qū)域,將待測芯片焊接到輻照電路板上,并將所述輻照電路板固定在脈沖激光裝置的三維移動平臺上;
二、利用繪圖軟件繪制管芯平面圖
2.1)確定管芯的四個頂點A、B、C、D的坐標和待測區(qū)域頂點E、F、G、H的坐標,并用繪圖軟件畫出管芯正面平面圖,同時計算管芯與坐標軸的夾角θ1,然后根據θ1將平面圖旋轉至與坐標軸正交的位置;
2.2)對步驟2.1)得到的平面圖鏡像操作得到與管芯正面平面圖對應的背部平面圖;
三、確定管芯背部實際坐標
將輻照電路板翻轉180°,使管芯背部朝上,重新確定管芯的頂點A、C或B、D坐標,并計算管芯與坐標軸的夾角θ2;
四、得到待測區(qū)域的實際坐標
旋轉步驟2.2)得到的管芯背部平面圖,使得管芯背部平面圖與坐標軸的夾角為θ2,并將平面圖以管芯的某一頂點為基點平移至步驟三中得到的該點實際坐標處;此時繪圖軟件中E、F、G、H的坐標即為三維平臺上待測區(qū)域四個頂點的實際坐標。
2.根據權利要求1所述的脈沖激光單粒子效應背輻照定位方法,其特征在于:通過三維移動平臺的控制軟件確定管芯的四個頂點A、B、C、D的坐標和待測區(qū)域頂點E、F、G、H的坐標。
3.根據權利要求1所述的脈沖激光單粒子效應背輻照定位方法,其特征在于:所述繪圖軟件為AutoCAD。