1.一種平整度檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1：從待測平面中選取若干測量點，通過探測頭探測所選測量點的三維坐標，包括X、Y、Z向，其中Z向代表高度；
S2：針對測量點的三維坐標分別擬合出關于測量點高度的平面和曲面；
S3：將擬合得到的曲面進行網(wǎng)格化，獲得網(wǎng)格的交點及其坐標；
S4：計算上述交點與步驟S2中擬合得到的平面之間沿Z向的距離，將其中最大的值作為所述待測平面的平整度值。
2.根據(jù)權利要求1所述的平整度檢測方法，其特征在于，所述步驟S1中，還包括根據(jù)待測平面建立三維坐標系，其中X、Y向平行所述待測平面，Z向垂直所述待測平面，且正向朝上。
3.根據(jù)權利要求1所述的平整度檢測方法，其特征在于，所述步驟S1中，所述測量點均勻分布于所述待測平面上。
4.根據(jù)權利要求1所述的平整度檢測方法，其特征在于，所述步驟S1中，所述探測頭采用激光測距的方式探測所選測量點的三維坐標。
5.根據(jù)權利要求4所述的平整度檢測方法，其特征在于，所述步驟S1中，所述三維坐標的精度為um。
6.根據(jù)權利要求1所述的平整度檢測方法，其特征在于，所述步驟S2中，采用最小二乘法擬合所述平面。
7.根據(jù)權利要求1所述的平整度檢測方法，其特征在于，所述步驟S2中，采用MATLAB軟件擬合所述曲面。
8.根據(jù)權利要求1所述的平整度檢測方法，其特征在于，所述步驟S3中，所述網(wǎng)格中的單格為矩形。