技術(shù)特征：

1.一種泰曼型點源陣列異位同步移相干涉儀，其特征在于，包括：點光源(1)及其分光組件(2)、主干涉儀和分光成像組件(11)，由點光源(1)發(fā)出的球面波經(jīng)分光組件(2)分成四束后進入主干涉儀，最后通過分光成像組件(11)在一個CCD上同時獲取四幅相移干涉圖，其中：

所述點光源(1)及其分光組件(2)用于產(chǎn)生四個復(fù)振幅相同但空間位置不同的發(fā)散球面波；

所述主干涉儀為泰曼型干涉儀，使從參考面反射回的參考光和測試面反射回的測試光形成干涉場；

所述分光成像組件(11)用于將四個光源分別經(jīng)參考面與測試面反射產(chǎn)生的干涉場在CCD靶面上分開，并且使得CCD靶面與測試面共軛。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泰曼型點源陣列異位同步移相干涉儀，其特征在于，所述分光組件(2)包括順次共光軸設(shè)置的第一準直物鏡(3)、棋盤光柵(4)、第一會聚物鏡(5)和孔徑光闌(6)，所述孔徑光闌(6)濾出棋盤光柵(4)的(±1，±1)級四束衍射光，并且濾除其它級次衍射光，所得的四束衍射光復(fù)振幅相同，并且分別位于正方形的四個頂點，該正方形位于第一會聚物鏡(5)的焦面，但中心不在主干涉儀的光軸上，該正方形的邊長d即相鄰發(fā)散球面波的橫向錯位距離，d由棋盤光柵(4)與第一會聚物鏡(5)確定：

d＝2f₁λ/Λ

其中，f₁為第一會聚物鏡(5)的焦距，λ為入射光波長，Λ為棋盤光柵(4)的光柵周期。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泰曼型點源陣列異位同步移相干涉儀，其特征在于，所述主干涉儀包括共光軸設(shè)置的第二準直物鏡(7)、分光棱鏡(8)、參考面(9)和測試面(10)，由點光源(1)發(fā)出的球面波經(jīng)分光組件(2)分成四束后進入主干涉儀，進入主干涉儀的四束光分別由第二準直物鏡(7)擴束，經(jīng)分光棱鏡(8)后，分別通過參考面(9)和測試面(10)，其中每束光分別被參考面(9)和測試面(10)反射形成參考光和測試光，參考光和測試光沿原路返回并分別經(jīng)分光棱鏡(8)透射和反射，進入分光成像組件(11)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泰曼型點源陣列異位同步移相干涉儀，其特征在于，所述分光成像組件(11)包括順次共光軸設(shè)置的第二會聚物鏡(12)、透鏡陣列(13)、成像物鏡(14)、CCD(15)，所述透鏡陣列(13)位于第二會聚物鏡(12)的焦面；

經(jīng)參考面與測試面反射回來的四組參考光與測試光，分別經(jīng)過透鏡陣列(13)中各個透鏡的物方主點，成像物鏡(14)將經(jīng)過透鏡陣列(13)的四組參考光與測試光準直成平行光，該平行光在CCD(15)的靶面上形成四個分開的光斑。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的泰曼型點源陣列異位同步移相干涉儀，其特征在于，所述透鏡陣列(13)為2×2負透鏡陣列，每個負透鏡的焦距f₂滿足f₂＝-dF_#，其中d為相鄰發(fā)散球面波的橫向錯位距離，F(xiàn)_#為主干涉儀中第二準直物鏡(7)的F數(shù)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的泰曼型點源陣列異位同步移相干涉儀，其特征在于，所述成像物鏡(14)的前焦面與透鏡陣列(13)的像方主面重合，成像物鏡(14)的焦距f₃滿足f₃≤LF_#/2，其中L為CCD(15)靶面的寬度。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的泰曼型點源陣列異位同步移相干涉儀，其特征在于，所述CCD(15)的靶面與主干涉儀中測試面(10)共軛，CCD(15)的靶面與成像物鏡(14)像方主面之間的距離l為

8.一種基于權(quán)利要求1所述泰曼型點源陣列異位同步移相干涉儀的測量方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1，點光源通過分光組件產(chǎn)生四個復(fù)振幅相同但空間位置不同的發(fā)散球面波，該四個發(fā)散球面波分別位于正方形的四個頂點，該正方形的中心不在主干涉儀的光軸上，將被測件置于主干涉儀中作為測試面，調(diào)整測試面使測試光與參考光的光程，使得CCD上同時獲取四幅相移干涉圖；

步驟2，令x、y分別為所述正方形中心與主干涉儀光軸之間距離在水平、豎直方向上的投影長度，且滿足或者調(diào)節(jié)測試臂與參考臂長的差值D為或者得到相移量依次遞增π/2的四幅干涉圖，其中f₄為主干涉儀中準直物鏡的焦距，k＝2π/λ為波矢，λ為入射光波長；

步驟3，從一幀CCD圖像上提取出四幅干涉圖，通過移相算法對四幅干涉圖進行處理，恢復(fù)出測試面的面形或波像差。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的泰曼型點源陣列異位同步移相干涉儀的測量方法，其特征在于，步驟1所述CCD上同時獲取四幅相移干涉圖，忽略常數(shù)相移因子-2Dk，每幅干涉圖的相移量δ(r)滿足：

δ(r)＝Dk(r/f₄)²

其中，D為參考臂和測試臂長的差值，k＝2π/λ為波矢，為發(fā)散球面波到主干涉儀光軸之間的錯位距離，f₄為主干涉儀中準直物鏡的焦距。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的泰曼型點源陣列異位同步移相干涉儀的測量方法，其特征在于，步驟3所述移相算法為隨機移相算法或者四步移相算法。