技術(shù)編號(hào):11099435
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光干涉測(cè)量儀器技術(shù)領(lǐng)域,特別是一種泰曼型點(diǎn)源陣列異位同步移相干涉儀及其測(cè)量方法。背景技術(shù)泰曼型干涉儀采用被測(cè)光束與參考光束的分光路設(shè)計(jì),與斐索型共光路干涉儀相比,泰曼型干涉儀的結(jié)構(gòu)簡單。目前,泰曼型同步移相干涉儀的主要是采用偏振干涉技術(shù),相比于時(shí)間移相干涉測(cè)試技術(shù),它能夠在同一時(shí)間、不同空間位置獲得多幅移相干涉圖,有效地抑制了振動(dòng)、空氣擾動(dòng)等時(shí)變因素的影響。泰曼型同步移相干涉儀的基本結(jié)構(gòu)是通過前置輔助組件產(chǎn)生兩束偏振態(tài)正交的光,經(jīng)偏振分光棱鏡分別引入到參考臂和測(cè)試臂,在參考臂和測(cè)試臂放...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。