1.一種能實(shí)時(shí)檢測(cè)真空度的紅外探測(cè)器微型杜瓦，包括其內(nèi)帶真空腔、真空腔內(nèi)設(shè)內(nèi)管及吸氣劑的管殼，設(shè)于管殼上方的其頂部帶紅外窗片的窗框座，設(shè)于管殼與窗框座之間的引線環(huán)，引線環(huán)上的管腳延伸至管殼外部，窗框座內(nèi)并位于內(nèi)管的頂部設(shè)有裝載基板，裝載基板上設(shè)有紅外探測(cè)器，該紅外探測(cè)器的信號(hào)線與引線環(huán)及管腳相連，其特征在于真空腔內(nèi)設(shè)有靜電驅(qū)動(dòng)-電容檢測(cè)的諧振子芯片或微機(jī)械陀螺芯片，該芯片的信號(hào)線引出后與管殼外部的檢測(cè)器相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能實(shí)時(shí)檢測(cè)真空度的紅外探測(cè)器微型杜瓦，其特征在于所述靜電驅(qū)動(dòng)-電容檢測(cè)的諧振子芯片或微機(jī)械陀螺芯片為常規(guī)芯片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能實(shí)時(shí)檢測(cè)真空度的紅外探測(cè)器微型杜瓦，其特征在于所述靜電驅(qū)動(dòng)-電容檢測(cè)的諧振子芯片或微機(jī)械陀螺芯片設(shè)置在窗框座內(nèi)的裝載基板上，其信號(hào)線經(jīng)引線環(huán)及管腳向外延伸與管殼外部的檢測(cè)器相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能實(shí)時(shí)檢測(cè)真空度的紅外探測(cè)器微型杜瓦，其特征在于所述靜電驅(qū)動(dòng)-電容檢測(cè)的諧振子芯片或微機(jī)械陀螺芯片設(shè)置在管殼壁上，其信號(hào)線經(jīng)管殼壁上的管腳向外延伸與管殼外部的檢測(cè)器相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能實(shí)時(shí)檢測(cè)真空度的紅外探測(cè)器微型杜瓦，其特征在于所述靜電驅(qū)動(dòng)-電容檢測(cè)的諧振子芯片或微機(jī)械陀螺芯片設(shè)置在管殼壁的外凸座或內(nèi)凹座上，其信號(hào)線經(jīng)安裝在管殼壁上的管腳向外延伸與管殼外部的檢測(cè)器相連。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能實(shí)時(shí)檢測(cè)真空度的紅外探測(cè)器微型杜瓦，其特征在于所述靜電驅(qū)動(dòng)-電容檢測(cè)的諧振子芯片或微機(jī)械陀螺芯片在真空腔內(nèi)或者管殼壁上設(shè)置一個(gè)，或者在真空腔內(nèi)和管殼壁的多個(gè)方向上設(shè)置多個(gè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能實(shí)時(shí)檢測(cè)真空度的紅外探測(cè)器微型杜瓦，其特征在于所述引線環(huán)的管腳數(shù)為25針～50針；所述靜電驅(qū)動(dòng)-電容檢測(cè)的諧振子芯片或微機(jī)械陀螺芯片的安裝在管殼壁上的管腳數(shù)為3針～12針。
8.一種基于權(quán)利要求1所述紅外探測(cè)器微型杜瓦實(shí)時(shí)檢測(cè)該紅外探測(cè)器微型杜瓦真空度的方法，其特征在于包括下列步驟：
a. 根據(jù)需要測(cè)量紅外探測(cè)器組件中的紅外探測(cè)器微型杜瓦的靜電驅(qū)動(dòng)-電容檢測(cè)的諧振子芯片或微機(jī)械陀螺芯片輸出電壓或電荷值；
b. 根據(jù)預(yù)先設(shè)定的真空度-靜電驅(qū)動(dòng)-電容檢測(cè)和諧振子芯片或微機(jī)械陀螺芯片的輸出電荷或電壓值對(duì)照表或曲線，將步驟a得到的測(cè)量值，在對(duì)照表中查找出對(duì)應(yīng)的真空度值；
c. 當(dāng)紅外探測(cè)器組件微型杜瓦的真空度值在合格范圍時(shí)，判定組件真空度合格，不需要激活吸氣劑；當(dāng)真空度值在需要激活吸氣劑的真空度值范圍和不合格真空度值范圍時(shí)，激活吸氣劑；
d.再次測(cè)量紅外探測(cè)器組件微型杜瓦的真空值，當(dāng)紅外探測(cè)器組件微型杜瓦的真空值在合格真空值范圍時(shí)，判定組件真空度合格，當(dāng)真空度值在需要激活吸氣劑的真空度值范圍和不合格真空度值范圍時(shí)，判定杜瓦真空失效，進(jìn)行另行處理。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于所述預(yù)先設(shè)定真空度-靜電驅(qū)動(dòng)-電容檢測(cè)和諧振子芯片或微機(jī)械陀螺芯片的輸出電荷或電壓值對(duì)照表或曲線的方法，包括下列步驟：
A1.將微型杜瓦中相同型號(hào)的靜電驅(qū)動(dòng)-電容檢測(cè)的諧振子芯片或微機(jī)械陀螺芯片安裝于一個(gè)處于靜止?fàn)顟B(tài)的真空容器中，這個(gè)真空容器具有能通過(guò)真空規(guī)或真空儀檢測(cè)其內(nèi)部真空度的功能；
B1.聯(lián)結(jié)靜電驅(qū)動(dòng)-電容檢測(cè)的諧振子芯片或微機(jī)械陀螺芯片與驅(qū)動(dòng)和檢測(cè)電路，測(cè)量芯片輸出電壓或電荷值，同時(shí)記錄真空容器的真空值和芯片輸出電壓或電荷值；
C1.逐點(diǎn)調(diào)整真空容器的真空度值，每調(diào)整一次真空容器的真空度值，重復(fù)B1步驟的操作；真空容器的真空度值的調(diào)整范圍可根據(jù)需要具體確定，包括從合格真空度值范圍、需要激活吸氣劑的真空度值范圍和不合格真空度值范圍三個(gè)主要的判據(jù)區(qū)間，真空度測(cè)量點(diǎn)之間的調(diào)整間隔越小，形成的記錄表參數(shù)越可靠，曲線精度越高，同樣根據(jù)精度需要和工作量，確定測(cè)量間隔；
D1.整理測(cè)量數(shù)據(jù)，形成真空度-靜電驅(qū)動(dòng)-電容檢測(cè)的諧振子芯片或微機(jī)械陀螺芯片輸出電荷或電壓值對(duì)照表，同時(shí)，根據(jù)需要，通過(guò)數(shù)值分析的方法，形成真空度-靜電驅(qū)動(dòng)-電容檢測(cè)的諧振子芯片或微機(jī)械陀螺芯片輸出電荷或電壓值曲線。