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實(shí)時(shí)檢測(cè)真空度的紅外探測(cè)器微型杜瓦的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12446142

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實(shí)時(shí)檢測(cè)真空度的紅外探測(cè)器微型杜瓦背景技術(shù)現(xiàn)有紅外探測(cè)器微型杜瓦主要由其頂部帶紅外窗片的窗框座,其內(nèi)設(shè)真空腔及內(nèi)管的管殼,設(shè)于窗框座與管殼之間的引線(xiàn)環(huán),設(shè)置在引線(xiàn)環(huán)上并位于窗框座內(nèi)的裝載基板及紅外探測(cè)器組成,紅外探測(cè)器的信號(hào)通過(guò)裝載基板和引線(xiàn)環(huán)上的導(dǎo)線(xiàn)引出微型杜瓦外部。因微型杜瓦泄漏或/和真空腔體內(nèi)零件表面的放氣現(xiàn)象,致使微型杜瓦的真空度具有一定的壽命。在紅外探測(cè)器組件使用和貯存過(guò)程中,為了提高微型杜瓦的真空壽命,通常在微型杜瓦真空腔內(nèi)設(shè)置吸氣劑,以便在微型杜瓦真空度下降到設(shè)定數(shù)值后,通電激活吸...
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