1.一種掃描電子顯微鏡原位檢測裝置，其特征在于，包括：
底座；
Y軸移動(dòng)平臺(tái)，所述Y軸移動(dòng)平臺(tái)設(shè)置在所述底座上；
X軸移動(dòng)平臺(tái)，所述X軸移動(dòng)平臺(tái)設(shè)置在所述Y軸移動(dòng)平臺(tái)上，并在Y軸移動(dòng)平臺(tái)上移動(dòng)；
樣品放置區(qū)，所述樣品放置區(qū)設(shè)置在X 軸移動(dòng)平臺(tái)的頂端；
Z軸移動(dòng)平臺(tái)，所述Z軸移動(dòng)平臺(tái)設(shè)置在底座上，并相對于所述底座作上升或下降運(yùn)動(dòng)；
懸臂，所述懸臂設(shè)置在Z軸移動(dòng)平臺(tái)的頂端的近樣品放置區(qū)端；
所述X軸移動(dòng)平臺(tái)、所述Y軸移動(dòng)平臺(tái)及Z所述軸移動(dòng)平臺(tái)中均設(shè)置有壓電素子控制部件；所述壓電素子控制部件中包括伸長量與電場強(qiáng)度平方成正比的壓電陶瓷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述掃描電子顯微鏡原位檢測裝置，其特征在于，所述X軸移動(dòng)平臺(tái)在粗模式下的X軸粗動(dòng)范圍為0-8 mm，X軸移動(dòng)速度為0.4 mm/s，X軸最小移動(dòng)距離分辨率為0.01 um。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述掃描電子顯微鏡原位檢測裝置，其特征在于，所述X軸移動(dòng)平臺(tái)在精細(xì)模式下的X軸移動(dòng)范圍為0-20 um，X軸最小移動(dòng)距離為0.1 nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述掃描電子顯微鏡原位檢測裝置，其特征在于，所述Y軸移動(dòng)平臺(tái)在粗模式下的Y軸粗動(dòng)范圍為0-8 mm，Y軸移動(dòng)速度為0.4 mm/s，Y軸最小移動(dòng)距離為0.01 um。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述掃描電子顯微鏡原位檢測裝置，其特征在于，所述Y軸移動(dòng)平臺(tái)在精細(xì)模式下的Y軸移動(dòng)范圍為0-20 um，Y軸最小移動(dòng)距離為0.1 nm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述掃描電子顯微鏡原位檢測裝置，其特征在于，所述Z軸移動(dòng)平臺(tái)在粗模式下的Z軸粗動(dòng)范圍為0-8 mm，Z軸移動(dòng)速度為0.4 mm/s，Z軸最小移動(dòng)距離為0.01 um。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述掃描電子顯微鏡原位檢測裝置，其特征在于，所述Z軸移動(dòng)平臺(tái)在精細(xì)模式下的Z軸移動(dòng)范圍為0-20 um，Z軸最小移動(dòng)距離為0.1 nm。
8.一種掃描電子顯微鏡系統(tǒng)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的掃描電子顯微鏡原位檢測裝置，還包括電子顯微鏡，所述掃描電子顯微鏡原位檢測裝置設(shè)置在所述電子顯微鏡的腔體中。