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探針模塊的制作方法

文檔序號:12714617閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種探針模塊,設(shè)置于一檢測機與一待測電子對象之間,用以接抵該待測電子對象的一待測面;該探針模塊包含:

一基座,供固定于該檢測機;

一結(jié)合座,結(jié)合于該基座,該結(jié)合座具有一結(jié)合孔及一第一端面,該結(jié)合孔貫穿該結(jié)合座,該第一端面的一第一延伸參考面垂直于該待測電子對象的該待測面;

一信號接頭,設(shè)置于該結(jié)合座且位于該結(jié)合孔中,該信號接頭供電性連接至該檢測機,該信號接頭具有一信號傳導(dǎo)部以及一接地傳導(dǎo)部;

一電信號傳導(dǎo)件,呈桿狀,包含有一以導(dǎo)體制成的信號線、一包覆該信號線且以絕緣材料制成的絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導(dǎo)體制成的接地層;該信號線電性連接該信號傳導(dǎo)部,該接地層電性連接該接地傳導(dǎo)部;以及

至少二探針,以導(dǎo)體制成,且供與該待測物的該待測面接抵;該二探針分別與該電信號傳導(dǎo)件一端的該信號線及該接地層電性連接;各該探針至少一部分由該結(jié)合座正下方伸出該第一延伸參考面。

2.如權(quán)利要求1所述的探針模塊,其特征在于,包含一吸波套管,其以吸波材料制成;該電信號傳導(dǎo)件包括有相連接且位于該結(jié)合座下方的一第一段與一第二段;該吸波套管套設(shè)于該第一段上,且該吸波套管一部分裸露于該結(jié)合座外;該二探針結(jié)合于該第二段的一端。

3.如權(quán)利要求2所述的探針模塊,其特征在于,該電信號傳導(dǎo)件的該第一段的一部分及該第二段由該結(jié)合座正下方伸出該第一延伸參考面,使各該探針的整體伸出該第一延伸參考面。

4.如權(quán)利要求2所述的探針模塊,其特征在于,該第一段及該吸波套管位于該結(jié)合座的正投影范圍內(nèi)。

5.如權(quán)利要求4所述的探針模塊,其特征在于,各該探針僅一部分伸出該第一延伸參考面。

6.如權(quán)利要求1所述的探針模塊,其特征在于,該結(jié)合座具有位于最底部的一第二端面,該第二端面的一第二延伸參考面平行于該待測電子對象的該待測面,該二探針具有一針尖,該針尖的位置低于該第二延伸參考面。

7.如權(quán)利要求6所述的探針模塊,其特征在于,該基座包括相連接的一第一座體與一第二座體,該第一座體供固定于該檢測機,該第二座體與該結(jié)合座結(jié)合,其中,該第二座體的位置低于該第一座體,且該第二座體的底端與該結(jié)合座的該第二端面齊平。

8.如權(quán)利要求6所述的探針模塊,其特征在于,該基座包括相連接的一座體與二延伸臂,該二延伸臂彼此相隔一距離,各該延伸臂一端結(jié)合于該座體,另一端結(jié)合于該結(jié)合座上;該座體、該二延伸臂及該結(jié)合座之間形成一鏤空區(qū);該二延伸臂的底端與該結(jié)合座的該第二端面齊平。

9.如權(quán)利要求1所述的探針模塊,其特征在于,包括有一印刷電路板,該印刷電路板上布設(shè)有至少二導(dǎo)電線路;該印刷電路板與該電信號傳導(dǎo)件位于該結(jié)合座的正投影范圍內(nèi);該些探針分別焊接于該二導(dǎo)電線路,且該二探針分別通過該二導(dǎo)電線路電性連接該電信號傳導(dǎo)件的該信號線與該接地層。

10.一種探針模塊,設(shè)置于一檢測機與一待測電子對象之間,用以接抵該待測電子對象的一待測面;該探針模塊包含:

一基座,供固定于該檢測機;

一結(jié)合座,結(jié)合于該基座,該結(jié)合座具有一結(jié)合孔,該結(jié)合孔貫穿該結(jié)合座;

一信號接頭,設(shè)置于該結(jié)合座且位于該結(jié)合孔中,該信號接頭供電性連接至該檢測機,該信號接頭具有一信號傳導(dǎo)部以及一接地傳導(dǎo)部;

一電信號傳導(dǎo)件,呈桿狀且位于該結(jié)合座的正投影范圍內(nèi),該電信號傳導(dǎo)件包含有一以導(dǎo)體制成的信號線、一包覆該信號線且以絕緣材料制成的絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導(dǎo)體制成的接地層;該信號線電性連接該信號傳導(dǎo)部,該接地層電性連接該接地傳導(dǎo)部;

至少二探針,以導(dǎo)體制成,且供與該待測物的該待測面接抵;該二探針分別與該電信號傳導(dǎo)件一端的該信號線及該接地層電性連接;該二探針位于該結(jié)合座下方且位于該結(jié)合座的正投影范圍內(nèi);以及

一反射鏡,設(shè)置于該結(jié)合座的一側(cè),該反射鏡具有一呈傾斜設(shè)置的反射面對應(yīng)該二探針,該反射面將該二探針的影像向上反射。

11.如權(quán)利要求10所述的探針模塊,其特征在于,包含二連接肋,各該連接肋一端連接結(jié)合座,另一端連接該反射鏡,該二連接肋之間形成一開口,且該反射面位于該開口下方。

12.如權(quán)利要求11所述的探針模塊,其特征在于,該反面鏡的最底端的位置高于該二探針的針尖。

13.如權(quán)利要求10所述的探針模塊,其特征在于,該電信號傳導(dǎo)件的長軸向垂直于該待測面。

14.如權(quán)利要求10所述的探針模塊,其特征在于,包含一吸波套管,其以吸波材料制成;該電信號傳導(dǎo)件包括有相連接且位于該結(jié)合座下方的一第一段與一第二段;該吸波套管套設(shè)于該第一段上,且該吸波套管一部分裸露于該結(jié)合座外;該二探針結(jié)合于該第二段的一端。

15.一種探針模塊,設(shè)置于一檢測機與一待測電子對象之間,用以接抵該待測電子對象的一待測面;該探針模塊包含:

一基座,供固定于該檢測機;

一結(jié)合座,結(jié)合于該基座,該結(jié)合座具有一鏤空部及一第一端面;

一信號接頭,設(shè)置于該結(jié)合座且位于該鏤空部中,該信號接頭供電性連接至該檢測機,該信號接頭具有一信號傳導(dǎo)部以及一接地傳導(dǎo)部;

一電信號傳導(dǎo)件,呈桿狀,包含有一以導(dǎo)體制成的信號線、一包覆該信號線且以絕緣材料制成的絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導(dǎo)體制成的接地層;該信號線電性連接該信號傳導(dǎo)部,該接地層電性連接該接地傳導(dǎo)部;以及

至少二探針,以導(dǎo)體制成,結(jié)合于該電信號傳導(dǎo)件上且供與該待測物的該待測面接抵;該二探針分別與該電信號傳導(dǎo)件一端的該信號線及該接地層電性連接;各該探針至少一部分由該結(jié)合座正下方伸出該結(jié)合座的正投影范圍之外。

16.如權(quán)利要求15所述的探針模塊,其特征在于,該結(jié)合座具有一結(jié)合孔構(gòu)成該鏤空部,該結(jié)合孔貫穿該結(jié)合座,該第一端面自下而上往該基座的方向傾斜;該信號接頭設(shè)置于該結(jié)合座且位于該結(jié)合孔中,該接地傳導(dǎo)部具有一端緣與該第一端面的一下緣齊平。

17.如權(quán)利要求15所述的探針模塊,其特征在于,該第一端面凹入形成有一缺口,該缺口構(gòu)成該鏤空部;該接地傳導(dǎo)部設(shè)置于該結(jié)合座且位于該缺口中。

18.如權(quán)利要求15、16或17所述的探針模塊,其特征在于,包含一吸波套管,其以吸波材料制成;該電信號傳導(dǎo)件包括有相連接且位于該結(jié)合座下方的一第一段與一第二段;該吸波套管套設(shè)于該第一段上,且該吸波套管一部分裸露于該結(jié)合座外;該二探針結(jié)合于該第二段的一端。

19.如權(quán)利要求18所述的探針模塊,其特征在于,該電信號傳導(dǎo)件的該第一段的一部分及該第二段由該結(jié)合座正下方伸出該結(jié)合座的正投影范圍之外,使各該探針的整體伸出該第一延伸參考面。

20.如權(quán)利要求18所述的探針模塊,其特征在于,該第一段及該吸波套管位于該結(jié)合座的正投影范圍內(nèi)。

21.如權(quán)利要求20所述的探針模塊,其特征在于,各該探針僅一部分伸出該結(jié)合座的正投影范圍外。

22.如權(quán)利要求15、16或17所述的探針模塊,其特征在于,該結(jié)合座具有位于最底部的一端面,該端面的一延伸參考面平行于該待測電子對象的該待測面,該二探針具有一針尖,該針尖的位置低于該第二延伸參考面。

23.如權(quán)利要求22所述的探針模塊,其特征在于,該基座包括相連接的一第一座體與一第二座體,該第一座體供固定于該檢測機,該第二座體與該結(jié)合座結(jié)合,其中,該第二座體的位置低于該第一座體,且該第二座體的底端與該結(jié)合座的該第二端面齊平。

24.如權(quán)利要求17所述的探針模塊,其特征在于,該信號接頭的接地傳導(dǎo)部的一部分自該缺口突出該第一端面。

25.如權(quán)利要求17所述的探針模塊,其特征在于,該信號接頭的接地傳導(dǎo)部具有一平面及一肩部,該平面抵于該缺口的壁面,該肩部抵于該缺口周圍。

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