本發(fā)明涉及電子對象的檢測，特別是一種探針模塊。

背景技術(shù)：

按，探針模塊設(shè)置于一檢測機(jī)與一待測電子對象之間，用以傳送檢測機(jī)的檢測信號至待測電子對象，以檢測待測電子對象的各電子元件間的電性連接是否確實。

圖1與圖2所示者為現(xiàn)有的探針模塊1，包含一基座10、一結(jié)合座12、一信號接頭14、一電信號傳導(dǎo)件16與復(fù)數(shù)個探針18。該基座10供固定于一檢測機(jī)(圖未示)上。該結(jié)合座12結(jié)合于該基座10，且向下傾斜，該結(jié)合座12具有一前端面122以及一前端角124，該前端面122面對一待測電子對象，且該前端面122的延伸參考面122a與該待測電子對象A的待測面A01之間夾一銳角，該前端角124位于遠(yuǎn)離該基座10的相對側(cè)的位置。該信號接頭14設(shè)置于該結(jié)合座12上。該電信號傳導(dǎo)件16設(shè)置于該結(jié)合座12中，該電信號傳導(dǎo)件16一端電性連接該信號接頭14，另一端穿出該前端面122且與該些探針18電性連接。由此，用戶即可由探針模塊1上方以顯微鏡或肉眼觀察到所述探針18的位置，方便將探針18點(diǎn)觸至該待測電子對象A的待測部位。

該探針模塊1于高頻測試時，其所附帶的微量電感將與信號傳輸路徑的長度成正比，信號傳輸路徑越長，因高頻信號而形成的電抗將越高，使得信號損耗增加。

為了減短信號傳輸?shù)穆窂剑钪苯拥淖鞣ㄊ菧p少電信號傳導(dǎo)件16的長度。然而，即使減少電信號傳導(dǎo)件16的長度，仍需讓用戶可由探針模塊1上方觀察到所述探針18的位置。礙于結(jié)構(gòu)的限制，現(xiàn)有的探針模塊1部分的電信號傳導(dǎo)件16將會被該前端角124所遮蔽，使得電信號傳導(dǎo)件16縮短的程度有限。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明的目的用于提供一種探針模塊，可以縮短信號傳輸路徑的長度。

緣以達(dá)成上述目的，本發(fā)明所提供探針模塊，設(shè)置于一檢測機(jī)與一待測電子對象之間，用以接抵該待測電子對象的一待測面；該探針模塊包含一基座、一結(jié)合座、一信號接頭、一電信號傳導(dǎo)件與至少二探針，其中，該基座供固定于該檢測機(jī)；該結(jié)合座結(jié)合于該基座，該結(jié)合座具有一結(jié)合孔及一第一端面，該結(jié)合孔貫穿該結(jié)合座，該第一端面的一第一延伸參考面垂直于該待測電子對象的該待測面；該信號接頭設(shè)置于該結(jié)合座且位于該結(jié)合孔中，該信號接頭供電性連接至該檢測機(jī)，該信號接頭具有一信號傳導(dǎo)部以及一接地傳導(dǎo)部；該電信號傳導(dǎo)件呈桿狀，包含有一以導(dǎo)體制成的信號線、一包覆該信號線且以絕緣材料制成的絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導(dǎo)體制成的接地層；該信號線電性連接該信號傳導(dǎo)部，該接地層電性連接該接地傳導(dǎo)部；該至少二探針以導(dǎo)體制成，且供與該待測物的該待測面接抵；該二探針分別與該電信號傳導(dǎo)件一端的該信號線及該接地層電性連接；各該探針至少一部分由該結(jié)合座正下方伸出該第一延伸參考面。

本發(fā)明另提供一種探針模塊，設(shè)置于一檢測機(jī)與一待測電子對象之間，用以接抵該待測電子對象的一待測面；該探針模塊包含：一基座、一結(jié)合座、一信號接頭、一電信號傳導(dǎo)件、至少二探針與一反射鏡，其中，該基座供固定于該檢測機(jī)；該結(jié)合座結(jié)合于該基座，該結(jié)合座具有一結(jié)合孔，該結(jié)合孔貫穿該結(jié)合座；該信號接頭設(shè)置于該結(jié)合座且位于該結(jié)合孔中，該信號接頭供電性連接至該檢測機(jī)，該信號接頭具有一信號傳導(dǎo)部以及一接地傳導(dǎo)部；該電信號傳導(dǎo)件呈桿狀且位于該結(jié)合座的正投影范圍內(nèi)，該電信號傳導(dǎo)件包含有一以導(dǎo)體制成的信號線、一包覆該信號線且以絕緣材料制成的絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導(dǎo)體制成的接地層；該信號線電性連接該信號傳導(dǎo)部，該接地層電性連接該接地傳導(dǎo)部；該至少二探針以導(dǎo)體制成，且供與該待測物的該待測面接抵；該二探針分別與該電信號傳導(dǎo)件一端的該信號線及該接地層電性連接；該二探針位于該結(jié)合座下方且位于該結(jié)合座的正投影范圍內(nèi)；該反射鏡設(shè)置于該結(jié)合座的一側(cè)，該反射鏡具有一呈傾斜設(shè)置的反射面對應(yīng)該二探針，該反射面將該二探針的影像向上反射。

本發(fā)明另提供一種探針模塊，設(shè)置于一檢測機(jī)與一待測電子對象的間，用以接抵該待測電子對象的一待測面；該探針模塊包含一基座、一結(jié)合座、一信號接頭、一電信號傳導(dǎo)件與至少二探針，其中該基座供固定于該檢測機(jī)；該結(jié)合座結(jié)合于該基座，該結(jié)合座具有一鏤空部及一第一端面；該信號接頭，設(shè)置于該結(jié)合座且位于該鏤空部中，該信號接頭供電性連接至該檢測機(jī)，該信號接頭具有一信號傳導(dǎo)部以及一接地傳導(dǎo)部；該電信號傳導(dǎo)件呈桿狀，包含有一以導(dǎo)體制成的信號線、一包覆該信號線且以絕緣材料制成的絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導(dǎo)體制成的接地層；該信號線電性連接該信號傳導(dǎo)部，該接地層電性連接該接地傳導(dǎo)部；該至少二探針以導(dǎo)體制成，結(jié)合于該電信號傳導(dǎo)件上且供與該待測物的該待測面接抵；該二探針分別與該電信號傳導(dǎo)件一端的該信號線及該接地層電性連接；各該探針至少一部分由該結(jié)合座正下方伸出該結(jié)合座的正投影范圍之外。

本發(fā)明的效果在于，將結(jié)合座的第一端面設(shè)計成與待測電子對象的待面垂直，有效改善現(xiàn)有的探針模塊的電信號傳導(dǎo)件被結(jié)合座前端角遮蔽而無法縮短長度的缺失，使電信號傳導(dǎo)件的長度可以盡可能地縮短，以減短信號傳輸路徑的長度，減少高頻信號造成的信號損耗。此外，利用在結(jié)合座旁設(shè)置反射鏡來反射探針的影像、結(jié)合座的第一端面自下而上往基座的方向傾斜、以及結(jié)合座位于鏤空部中，亦可改善現(xiàn)有的探針模塊的電信號傳導(dǎo)件被前端角遮蔽的缺失，使電信號傳導(dǎo)件的長度可以更縮短。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有的探針模塊的立體圖；

圖2是現(xiàn)有的探針模塊的側(cè)視圖；

圖3是本發(fā)明第一優(yōu)選實施例探針模塊的立體圖；

圖4是第一優(yōu)選實施例探針模塊的側(cè)視圖；

圖5是第一優(yōu)選實施例電信號傳導(dǎo)件的局部剖視圖；

圖6是本發(fā)明第二優(yōu)選實施例探針模塊的立體圖；

圖7是第二優(yōu)選實施例探針模塊的側(cè)視圖；

圖8是本發(fā)明第三優(yōu)選實施例探針模塊的立體圖；

圖9是第三優(yōu)選實施例探針模塊的側(cè)視圖；

圖10是本發(fā)明第四優(yōu)選實施例探針模塊的立體圖；

圖11是第四優(yōu)選實施例探針模塊另一方向的分解立體圖；

圖12是第四優(yōu)選實施例探針模塊的局部俯視圖；

圖13是本發(fā)明第五優(yōu)選實施例探針模塊的立體圖；

圖14是第五優(yōu)選實施例探針模塊的側(cè)視圖；

圖15是第五優(yōu)選實施例探針模塊的局部俯視圖；

圖16是本發(fā)明第六優(yōu)選實施例探針模塊的立體圖；

圖17是第六優(yōu)選實施例探針模塊的側(cè)視圖；

圖18是本發(fā)明第七優(yōu)選實施例探針模塊的立體圖；

圖19是本發(fā)明第七優(yōu)選實施例探針模塊的局部分解立體圖；

圖20是第七優(yōu)選實施例探針模塊的側(cè)視圖；

圖21是本發(fā)明第八優(yōu)選實施例探針模塊的立體圖；

圖22是第八優(yōu)選實施例探針模塊的側(cè)視圖；

圖23是本發(fā)明第九優(yōu)選實施例探針模塊的立體圖；

圖24是第九優(yōu)選實施例探針模塊的側(cè)視圖；

圖25是本發(fā)明第十優(yōu)選實施例探針模塊的立體圖；

圖26是第十優(yōu)選實施例探針模塊的側(cè)視圖；

圖27是本發(fā)明第十一優(yōu)選實施例探針模塊的立體圖；

圖28是第十一優(yōu)選實施例探針模塊的側(cè)視圖。

【符號說明】

[現(xiàn)有]

1探針模塊

10基座 12結(jié)合座 122前端面

122a延伸參考面 124前端角 14信號接頭

16電信號傳導(dǎo)件 18探針

A測電子對象 A01待測面

[本發(fā)明]

2探針模塊

20基座 202固定孔 204前側(cè)面

22結(jié)合座 222結(jié)合孔 224側(cè)螺孔

226第一端面226a第一延伸參考面

228第二端面 228a第二延伸參考面

24信號接頭 242接地傳導(dǎo)部 244信號傳導(dǎo)部

26止付螺絲 28電信號傳導(dǎo)件 28a信號線

28b絕緣層 28c接地層 282第一段

284第二段 284a切削面 30吸波套管

32～34探針 32a～34a針尖

3探針模塊

36電信號傳導(dǎo)件 362第一段 364第二段

38吸波套管

40結(jié)合座

402a第一延伸參考面 404a第二延伸參考面

42探針

4探針模塊

44基座 442第一座體 442a固定孔

444第二座體 46結(jié)合座 462第二端面

464a第一延伸參考面 48電信號傳導(dǎo)件

482第二段 50探針 52信號接頭

5探針模塊

54基座 542前側(cè)面 56結(jié)合座

562結(jié)合孔 564側(cè)螺孔 566第一端面

566a第一延伸參考面 58信號接頭

60電信號傳導(dǎo)件 62～64探針

66印刷電路板 662導(dǎo)電線路 664導(dǎo)電線路

6探針模塊

68基座 682前側(cè)面 70結(jié)合座

72信號接頭 74電信號傳導(dǎo)件 742第一段

744第二段 76探針 78吸波套管

80反射鏡 802反射面 82連接肋

822開口

7探針模塊

84基座 842第一座體 842a固定孔

842b前側(cè)面 844第二座體 844a傾斜段

844b平直段 85結(jié)合座 852第一端面

852a下緣 852b上緣 852c第一延伸參考面

854第二端面 854a第二延伸參考面

86信號接頭 862接地傳導(dǎo)部 862a端緣

87電信號傳導(dǎo)件 872第一段 874第二段

88吸波套管 89探針

8探針模塊

90結(jié)合座 902第一端面 904缺口

904a壁面 91信號接頭 912接地傳導(dǎo)部

912a平面 912b肩部 92基座

93探針

9探針模塊

94結(jié)合座 942第一端面 95基座

952前側(cè)面 96信號接頭 97電信號傳導(dǎo)件

A1探針模塊

98基座 982座體 984延伸臂

984a底端 99結(jié)合座 992第二端面

100鏤空區(qū)

A2探針模塊

102基座 104結(jié)合座 1042第一端面

1042a第一延伸參考面 1044第二端面

1044a第二延伸參考面

A3探針模塊

106基座 1062第一座體 1062a固定孔

1064第二座體 108結(jié)合座 1082第一端面

1082a第一延伸參考面 1082b缺口

110信號接頭 112接地傳導(dǎo)部

θ1夾角 θ2夾角 θ3夾角

A待測電子對象 A01待測面

具體實施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實施例，并參照附圖，對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

為能更清楚地說明本發(fā)明，茲舉優(yōu)選實施例并配合圖式詳細(xì)說明如后，請參圖3與圖5所示，為本發(fā)明第一優(yōu)選實施例的探針模塊2，其設(shè)置于一檢測機(jī)(圖未示)與一待測電子對象A之間，且該待測電子對象A具有一待測面A01。該探針模塊2包含一基座20、一結(jié)合座22、一信號接頭24、一電信號傳導(dǎo)件28與三探針32～34。

該基座20具有二固定孔202，該二固定孔202供二螺栓(圖未示)穿過，以將該基座20固定于該檢測機(jī)上。

該結(jié)合座22結(jié)合于該基座20的一前側(cè)面204上，該結(jié)合座22由該基座20的前側(cè)面204往外傾斜。該結(jié)合座22具有一以結(jié)合孔222為例的鏤空部以及一側(cè)螺孔224，該結(jié)合孔222傾斜地貫穿該結(jié)合座22，且該結(jié)合孔222的底部較頂部遠(yuǎn)離該基座20。該側(cè)螺孔224與該結(jié)合孔222相通。此外，該結(jié)合座22具有一第一端面226與一第二端面228，該第一端面226位于遠(yuǎn)離該基座20的前側(cè)面204的相對側(cè)，該第二端面228位于該結(jié)合座22的最底部。該第一端面226的一第一延伸參考面226a與該第二端面228的一第二延伸參考面228a相垂直，且該第一延伸參考面226a垂直于該待測電子對象A的該待測面A01，該第二延伸參考面228a平行于該待測電子對象A的該待測面A01。

該信號接頭24設(shè)置于該結(jié)合座22且位于該結(jié)合孔222中，通過一止付螺絲26鎖入該側(cè)螺孔224并緊抵于該信號接頭24的外周面以固定該信號接頭24。該信號接頭24具有一接地傳導(dǎo)部242與一信號傳導(dǎo)部244，于本實施例中，該接地傳導(dǎo)部242為一金屬外殼，該信號傳導(dǎo)部244為位于該接地傳導(dǎo)部242中的一金屬凸柱。該信號傳導(dǎo)部244及該接地傳導(dǎo)部242供一信號端子(圖未示)電性連接至該檢測機(jī)。

請參閱圖5，該電信號傳導(dǎo)件28呈桿狀，包含有一以導(dǎo)體制成的信號線28a、一包覆該信號線28a且以絕緣材料制成的絕緣層28b、一包覆該絕緣層28b且以導(dǎo)體制成的接地層28c。該電信號傳導(dǎo)件28具有相連接且位于該結(jié)合座22下方的一第一段282與一第二段284，該第一段282的一端位于該信號接頭24內(nèi)，且位于該第一段282的信號線28a及接地層28c分別電性連接該信號傳導(dǎo)部244及該接地傳導(dǎo)部242。該第一段282套設(shè)有一吸波套管30，且該第一段282及該吸波套管30的一部分裸露于該結(jié)合座22下方。該吸波套管30以吸波材料所制成，用以吸收噪聲，以避免噪聲干擾電信號的傳輸。于本實施例中，該第一段282的一部分、吸波套管30的一部分及該第二段284伸出該第一延伸參考面226a。該電信號傳導(dǎo)件28的第二段284的一端具有一切削面284a，使該信號線28a、該絕緣層28b及該接地層28c裸露于外。本實施例的該電信號傳導(dǎo)件28的長軸向與該第二延伸參考面228a之間的夾角θ1為32～52度。

所述探針32～34以導(dǎo)體制成，各該探針32～34的一端具有一針尖32a～34a，該針尖32a～34a供接抵于該待測電子對象A的待測面A01的待測部位。各該探針32～34的一面則焊設(shè)于該第一段282的切削面284a上，其中一該探針32與該信號線28a電性連接，而另外二探針33，34則與該接地層28c電性連接。由此，使各該探針32～34的整體由該結(jié)合座22正下方伸出該第一延伸參考面226a而位于該結(jié)合座22的正投影范圍之外，且各該針尖32a～34a的位置低于該第二延伸參考面228a。實務(wù)上，亦可視待測部位的不同而僅使用二個探針，使該二探針分別與該信號線及該接地層電性連接。

通過上述的設(shè)計，在使用該探針模塊2點(diǎn)測該待測電子對象A時，即可由該探針模塊2上方以顯微鏡或肉眼觀察到所述探針32～34的位置，而可將所述探針32～34移至該待測電子對象A的待測部位上進(jìn)行點(diǎn)測。值得一提的是，由于該第一端面226垂直于該待測電子對象A的待測面A01，因此，相較于現(xiàn)有的探針模塊，該電信號傳導(dǎo)件28的長度可以再縮短，而不會如同現(xiàn)有的探針模塊其電信號傳導(dǎo)件被結(jié)合座的前端角所遮蔽的部分成為多余的長度。因此，本實施例的電信號傳導(dǎo)件28可以省去多余的長度，減短信號傳輸?shù)穆窂剑行У販p少高頻信號造成的信號損耗，而使得高頻檢測能更加地準(zhǔn)確。

此外，由于該第二端面228平行于該待測面A01，因此，該結(jié)合座22可較接近該待測電子對象A，而可更減短電信號傳導(dǎo)件28的長度。

圖6與圖7所示為本發(fā)明第二優(yōu)選實施例的探針模塊3，其具有大致相同于前述第一優(yōu)選實施例的結(jié)構(gòu)，不同的是，本實施例的電信號傳導(dǎo)件36的長軸向與第二延伸參考面404a之間的夾角θ2為45～65度，且該電信號傳導(dǎo)件36的第一段362及吸波套管38位于結(jié)合座40的正投影范圍內(nèi)。而第二段364的一部分及探針42的一部分亦位于結(jié)合座40的正投影范圍內(nèi)，意即各該探針42僅一部分伸出第一延伸參考面402a。由此，該電信號傳導(dǎo)件36的長度相較于第一實施例的電信號傳導(dǎo)件28的長度可更為縮短。

圖8與圖9所示為本發(fā)明第三優(yōu)選實施例的探針模塊4，其具有大致相同于前述第一優(yōu)選實施例的結(jié)構(gòu)，不同的是，本實施例的基座44包括相連接的一第一座體442與一第二座體444，該第一座體442上具有復(fù)數(shù)個固定孔442a供固定于該檢測機(jī)，該第二座體444與該第一座體442之間具有一段差，使該第二座體444的位置低于該第一座體442。本實施例的結(jié)合座46結(jié)合于該第二座體444，且該結(jié)合座46位于最底部的第二端面462與該第二座體444的最底端齊平。電信號傳導(dǎo)件48的第二段482一部分及探針50的一部分亦位于結(jié)合座46的正投影范圍內(nèi)，僅各該探針50的一部分伸出第一延伸參考面464a。由于該第二座體444的低于第一座體442，使得信號接頭52周圍具有較多的空間方便使用者將檢測機(jī)的信號端子安裝至該信號接頭52上。

圖10與圖11所示為本發(fā)明第四優(yōu)選實施例的探針模塊5，其具有大致相同于第一實施例的一基座54、一結(jié)合座56、一信號接頭58、一電信號傳導(dǎo)件60與三探針62～64，不同的是，本實施例的結(jié)合座56的結(jié)合孔562垂直地貫穿該結(jié)合座56，側(cè)螺孔564位于遠(yuǎn)離該基座54前側(cè)面542的相對側(cè)的位置。該結(jié)合座56的第一端面566則位于鄰近該基座54的前側(cè)面542的位置。該電信號傳導(dǎo)件60垂直地設(shè)置于該信號接頭58中且位于該結(jié)合座56的正投影范圍內(nèi)。此外，該探針模塊5更包括一印刷電路板66位于該結(jié)合座56的正投影范圍內(nèi)，該印刷電路板66的底面以電路布局的方式布置有至少二導(dǎo)電線路662，664，其中一該導(dǎo)電線路662電性連接至該電信號傳導(dǎo)件60的信號線，另一該導(dǎo)電線路664電連接至該電信號傳導(dǎo)件60的接地層。實施上，該電信號傳導(dǎo)件60與該二導(dǎo)電線路662，664可通過貫穿該印刷電路板66的導(dǎo)電貫孔電性連接。

各該探針62～64設(shè)置于該印刷電路板66鄰近于該第一端面566的邊緣部位，各該探針62～64的一部分伸出該第一端面566的第一延伸參考面566a。其中一該探針62焊接于該導(dǎo)電線路662，且通過該導(dǎo)電線路662電性連接該電信號傳導(dǎo)件60的信號線，另外二該探針63，64焊接于與該導(dǎo)電線路664且通過該導(dǎo)電線路664電性連接至該電信號傳導(dǎo)件60的接地層。

借助上述的設(shè)計，同樣可以達(dá)到僅使探針62～64的一部分露出該第一延伸參考面566a，以減短信號傳輸路徑的長度。

圖13與圖14為本發(fā)明第五優(yōu)選實施例的探針模塊6，其具有類似于前述第四實施例的結(jié)構(gòu)，同樣包含一基座68、一結(jié)合座70、一信號接頭72、一電信號傳導(dǎo)件74與三探針76，不同的是，該電信號傳導(dǎo)件74具有相連的一第一段742與一第二段744，該第一段742套設(shè)有一吸波套管78，該第一段742的一端位于該信號接頭72內(nèi)，且位于該第一段742的信號線及接地層分別電性連接該信號接頭的信號傳導(dǎo)部及接地傳導(dǎo)部。該第一段742向下延伸且該第一段742及該吸波套管78的一部分裸露于該結(jié)合座70下方。該電信號傳導(dǎo)件74的長軸向垂直于該待測電子對象A的該待測面A01。所述探針76位于結(jié)合座70下方且位于該結(jié)合座70的正投影范圍內(nèi)。所述探針76分別電性連接于該電信號傳導(dǎo)件74第二段744底端的信號線及接地層。

此外，該探針模塊6更包含一反射鏡80，該反射鏡80設(shè)置于該結(jié)合座70相對于該基座68前側(cè)面682的一側(cè)。本實施例中，該反射鏡80通過二連接肋82而設(shè)置于該結(jié)合座70，各該連接肋82一端鎖固于該結(jié)合座70，另一端連接該反射鏡80。該二連接肋82的彼此相隔一間距而形成一開口822。該反射鏡80具有一反射面802位于該開口822下方，該反射面802呈傾斜設(shè)置且對應(yīng)該二探針76，該反射面802將該二探針76及該待測電子對象A的影像向上反射。該反面鏡80的最底端的位置高于該二探針76的針尖。

請配合圖15，用戶由該探針模塊6上方以顯微鏡或肉眼觀察時，即可由該開口822觀察到所述探針76相對于該待測電子對象A的位置。值得一提的是，由于該電信號傳導(dǎo)件74垂直于該待測電子對象A的待測面A01，因此，該電信號傳導(dǎo)件74具有最短的信號傳輸路徑，有效地縮短檢測機(jī)與該待測電子對象A之間信號傳輸路徑的長度。

圖16與圖17為本發(fā)明第六優(yōu)選實施例的探針模塊7，其具有大致相同于前述第一優(yōu)選實施例的結(jié)構(gòu)，不同的是，本實施例的基座84包括一第一座體842與一第二座體844，該第一座體842上具有復(fù)數(shù)個固定孔842a供固定于該檢測機(jī)。該第二座體844的寬度小于該第一座體842的寬度，該第二座體844具有一傾斜段844a與一平直段844b，該傾斜段844a的上端連接于該第一座體842的前側(cè)面842b且呈向下傾斜，該平直段844b的一端連接于該傾斜段844a的下端。

本實施例的結(jié)合座85一體連接于該平直段844b的另一端。此外，該結(jié)合座85同樣具有第一端面852與第二端面854，不同的是，第一端面852自其下緣852a往上緣852b的方向往該基座的方向傾斜，第一端面852的第一延伸參考面852c與待測電子對象A的待測面A01之間的夾角θ3小于90度。而信號接頭86的接地傳導(dǎo)部862的端緣862a與該第一端面852的下緣852a齊平。第二端面854同樣為結(jié)合座85的最底部的端面且與該第二座體844的平直段844b的底端齊平，第二端面854其第二延伸參考面854a同樣平行于該待測電子對象A的該待測面A01。

本實施例的電信號傳導(dǎo)件87與第一實施例相同，吸波套管88、電信號傳導(dǎo)件的第二段874伸出該結(jié)合座85的正投影范圍之外。由此，由該探針模塊7上方即可容易地觀察到探針89的位置。

實務(wù)上，亦可如同第二實施例，使電信號傳導(dǎo)件的第一段872及吸波套管88位于結(jié)合座85的正投影范圍內(nèi)，僅第二段874的一部分及探針89的一部分位于結(jié)合座85的正投影范圍外。

圖18至圖20為本發(fā)明第七優(yōu)選實施例的探針模塊8，其具有大致相同于第六實施例的結(jié)構(gòu)，不同的是，本實施例結(jié)合座90的第一端面902凹入形成有一以缺口904為例的鏤空部，而信號接頭91的接地傳導(dǎo)部912設(shè)置于該結(jié)合座90且位于該缺口904中。該信號接頭91的接地傳導(dǎo)部912的一部分自該缺口904突出該第一端面902，意即使該接地傳導(dǎo)部912遠(yuǎn)離該基座92的一側(cè)未被結(jié)合座90所包覆而裸露于外。此外，該信號接頭91的接地傳導(dǎo)部912的外周面具有一平面912a及一肩部912b，該平面912a抵于該缺口904的壁面904a，該肩部912b抵于該缺口904周圍，以固定該信號接頭91的位置。由此，同樣可以由該探針模塊8上方很容易地觀察到探針93的位置。

圖21與圖22為本發(fā)明第八優(yōu)選實施例的探針模塊9，其具有大致相同于第二實施例的結(jié)構(gòu)，不同的是，本實施例結(jié)合座94的第一端面942與基座95的前側(cè)面952相鄰，且實質(zhì)上與該前側(cè)面952垂直。信號接頭96的軸向及電信號傳導(dǎo)件97的長軸向則是實質(zhì)上與該前側(cè)面952平行。

圖23與圖24為本發(fā)明第九優(yōu)選實施例的探針模塊A1，其具有大致相同于第三實施例的結(jié)構(gòu)，不同的是，本實施例的基座98包括一座體982與二延伸臂984，該二延伸臂984與該座體982之間具有一段差，使該延伸臂984的位置低于該座體982。該二延伸臂984彼此相隔一距離，各該延伸臂984一端結(jié)合于該座體982，另一端結(jié)合于結(jié)合座99上。該座體982、該二延伸臂984及該結(jié)合座99之間形成一鏤空區(qū)100。該二延伸臂984的底端984a與該結(jié)合座99的第二端面992齊平。

圖25與圖26為本發(fā)明第十優(yōu)選實施例的探針模塊A2，其具有大致相同于第一實施例的結(jié)構(gòu)，不同的是，本實施例的基座102及結(jié)合座104為一體延伸形成，該基座102與該結(jié)合座104二者的寬度相同且二者的厚度相同。該結(jié)合座104的第一端面1042的第一延伸參考面1042a同樣與待測電子對象A的待測面A01實質(zhì)上垂直。該結(jié)合座104第二端面1044的第二延伸參考面1044a同樣平行于該待測電子對象A的該待測面A01。實務(wù)上，亦可如第六實施例，使第一端面的第一延伸參考面與待測電子對象A的待測面A01之間的夾角小于90度。

圖27與圖28為本發(fā)明第十一優(yōu)選實施例的探針模塊A3，其具有大致相同于第十實施例的結(jié)構(gòu)，不同的是，本實施例的基座106包括有相連的第一座體1062與第二座體1064，第一座體1062具有固定孔1062a，第二座體1064的寬度與第一座體1062寬度相同，而第二座體1064的厚度大于第一座體1062的厚度。結(jié)合座108連接于第二座體1064，且二者的寬度相同，二者的厚度亦相同。此外，結(jié)合座108的第一端面1082的第一延伸參考面1082a與待測電子對象A的待測面A01之間的夾角小于90度。該第一端面1082凹入形成有一以缺口1082b為例的鏤空部，而信號接頭110的接地傳導(dǎo)部112設(shè)置于該結(jié)合座108且位于該缺口1082b中。

據(jù)上所述，本發(fā)明巧妙地將結(jié)合座的第一端面設(shè)計成與待測電子對象的待測面垂直，改善現(xiàn)有的探針模塊的電信號傳導(dǎo)件被結(jié)合座前端角遮蔽而無法縮短長度的缺失，使電信號傳導(dǎo)件的長度可以盡可能地縮短，以減短信號傳輸路徑的長度，有效地減少高頻信號造成的信號損耗，而使得高頻檢測能更加地準(zhǔn)確。此外，第五～第七實施例利用在結(jié)合座旁設(shè)置反射鏡來反射探針的影像、結(jié)合座的第一端面自下而上往基座的方向傾斜、以及結(jié)合座位于缺口中，亦可改善現(xiàn)有的探針模塊的電信號傳導(dǎo)件被結(jié)合座前端角遮蔽而無法縮短長度的缺失，使電信號傳導(dǎo)件的長度可以縮短。

以上所述的具體實施例，對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。