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一種激光回波傳輸特性的分析方法、驗(yàn)證系統(tǒng)及驗(yàn)證方法與流程

文檔序號(hào):12269028閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種激光回波傳輸特性的分析方法,其特征在于,包括:

將貓眼系統(tǒng)等效為一個(gè)薄透鏡和一個(gè)反射鏡,將高斯光束照射所述貓眼系統(tǒng)的傳輸過(guò)程等效為一個(gè)具有離焦量的4f系統(tǒng);

利用矩陣光學(xué)對(duì)所述4f系統(tǒng)進(jìn)行分析,得到高斯光束照射所述貓眼系統(tǒng)的傳輸矩陣;

根據(jù)所述傳輸矩陣、高斯光束的ABCD定律、q參數(shù)的變換規(guī)律以及高斯光束的輸入?yún)?shù)得到反射光束的光斑半徑;

根據(jù)反射光束發(fā)散角與反射光束的光斑半徑之間的關(guān)系得到反射光束發(fā)散角與離焦量之間的關(guān)系。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,利用矩陣光學(xué)對(duì)所述4f系統(tǒng)進(jìn)行分析,得到高斯光束照射所述貓眼系統(tǒng)的傳輸矩陣為:

<mrow> <mi>M</mi> <mo>=</mo> <mfenced open = "[" close = "]"> <mtable> <mtr> <mtd> <mn>1</mn> </mtd> <mtd> <mrow> <mi>f</mi> <mo>+</mo> <msub> <mi>l</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mn>0</mn> </mtd> <mtd> <mn>1</mn> </mtd> </mtr> </mtable> </mfenced> <mfenced open = "[" close = "]"> <mtable> <mtr> <mtd> <mn>1</mn> </mtd> <mtd> <mn>0</mn> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mrow> <mo>-</mo> <mfrac> <mn>1</mn> <mi>f</mi> </mfrac> </mrow> </mtd> <mtd> <mn>1</mn> </mtd> </mtr> </mtable> </mfenced> <mfenced open = "[" close = "]"> <mtable> <mtr> <mtd> <mn>1</mn> </mtd> <mtd> <mrow> <mn>2</mn> <mi>f</mi> <mo>+</mo> <mn>2</mn> <mi>&delta;</mi> </mrow> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mn>0</mn> </mtd> <mtd> <mn>1</mn> </mtd> </mtr> </mtable> </mfenced> <mfenced open = "[" close = "]"> <mtable> <mtr> <mtd> <mn>1</mn> </mtd> <mtd> <mn>0</mn> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mrow> <mo>-</mo> <mfrac> <mn>1</mn> <mi>f</mi> </mfrac> </mrow> </mtd> <mtd> <mn>1</mn> </mtd> </mtr> </mtable> </mfenced> <mfenced open = "[" close = "]"> <mtable> <mtr> <mtd> <mn>1</mn> </mtd> <mtd> <mrow> <mi>f</mi> <mo>+</mo> <msub> <mi>l</mi> <mn>1</mn> </msub> </mrow> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mn>0</mn> </mtd> <mtd> <mn>1</mn> </mtd> </mtr> </mtable> </mfenced> </mrow>

其中,M為傳輸矩陣,f為薄透鏡的焦距,l1為入射高斯光束的束腰位置到相應(yīng)的透鏡的距離,l2為反射光束的束腰位置到相應(yīng)的透鏡的距離,δ為離焦量。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,根據(jù)所述傳輸矩陣、高斯光束的ABCD定律、q參數(shù)的變換規(guī)律以及高斯光束的輸入?yún)?shù)得到反射光束的光斑半徑,包括:

根據(jù)所述傳輸矩陣、高斯光束的ABCD定律及q參數(shù)的變換規(guī)律得到:

<mrow> <msub> <mi>q</mi> <mi>r</mi> </msub> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>q</mi> <mi>i</mi> </msub> <mrow> <mo>(</mo> <mrow> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <msub> <mi>&delta;l</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> </mfrac> <mo>-</mo> <mn>1</mn> </mrow> <mo>)</mo> </mrow> <mo>+</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mrow> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <msub> <mi>&delta;l</mi> <mn>1</mn> </msub> <msub> <mi>l</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> </mfrac> <mo>-</mo> <mn>2</mn> <mrow> <mo>(</mo> <mrow> <msub> <mi>l</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>+</mo> <msub> <mi>l</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <mo>)</mo> </mrow> </mrow> <mo>)</mo> </mrow> </mrow> <mrow> <msub> <mi>q</mi> <mi>i</mi> </msub> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mi>&delta;</mi> </mrow> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> </mfrac> <mo>+</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mrow> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <msub> <mi>&delta;l</mi> <mn>1</mn> </msub> </mrow> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> </mfrac> <mo>-</mo> <mn>1</mn> </mrow> <mo>)</mo> </mrow> </mrow> </mfrac> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <mo>(</mo> <mn>2</mn> <msub> <mi>&delta;l</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>-</mo> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> <mo>)</mo> <msub> <mi>q</mi> <mi>i</mi> </msub> <mo>+</mo> <mn>2</mn> <msub> <mi>&delta;l</mi> <mn>1</mn> </msub> <msub> <mi>l</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>-</mo> <mo>(</mo> <msub> <mi>l</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>+</mo> <msub> <mi>l</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>)</mo> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> </mrow> <mrow> <mn>2</mn> <msub> <mi>&delta;q</mi> <mi>i</mi> </msub> <mo>+</mo> <mn>2</mn> <msub> <mi>&delta;l</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>-</mo> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> </mrow> </mfrac> </mrow>

其中,qr為q參數(shù),qi為入射高斯光束的輸入?yún)?shù),f為薄透鏡的焦距,l1為入射高斯光束的束腰位置到相應(yīng)的透鏡的距離,l2為反射光束的束腰位置到相應(yīng)的透鏡的距離,δ為離焦量;

代入上式,得到反射光束的光斑半徑:

<mrow> <msubsup> <mi>w</mi> <mi>r</mi> <mn>2</mn> </msubsup> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <msup> <mi>&lambda;</mi> <mn>2</mn> </msup> <msubsup> <mi>w</mi> <mi>i</mi> <mn>2</mn> </msubsup> <mo>&lsqb;</mo> <msup> <mi>&pi;</mi> <mn>2</mn> </msup> <msubsup> <mi>w</mi> <mi>i</mi> <mn>4</mn> </msubsup> <mrow> <mo>(</mo> <mn>2</mn> <mi>&delta;</mi> <mi>l</mi> <mo>-</mo> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> <mo>)</mo> </mrow> <mo>+</mo> <mn>4</mn> <msup> <mi>&lambda;</mi> <mn>2</mn> </msup> <msup> <mi>l</mi> <mn>2</mn> </msup> <msup> <mrow> <mo>(</mo> <mi>&delta;</mi> <mi>l</mi> <mo>-</mo> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> <mo>)</mo> </mrow> <mn>2</mn> </msup> <mo>&rsqb;</mo> </mrow> <mrow> <msup> <mi>&pi;</mi> <mn>2</mn> </msup> <msubsup> <mi>w</mi> <mi>i</mi> <mn>4</mn> </msubsup> <msup> <mi>f</mi> <mn>8</mn> </msup> <msup> <mi>&lambda;</mi> <mn>2</mn> </msup> <mo>+</mo> <mn>4</mn> <msup> <mrow> <mo>(</mo> <mn>2</mn> <mi>&delta;</mi> <mi>l</mi> <mo>-</mo> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> <mo>)</mo> </mrow> <mn>2</mn> </msup> <msup> <mrow> <mo>&lsqb;</mo> <msup> <mi>&lambda;</mi> <mn>2</mn> </msup> <mi>l</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mi>&delta;</mi> <mi>l</mi> <mo>-</mo> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> <mo>)</mo> </mrow> <mo>+</mo> <msup> <mi>&delta;&pi;</mi> <mn>2</mn> </msup> <msubsup> <mi>w</mi> <mi>i</mi> <mn>4</mn> </msubsup> <mo>&rsqb;</mo> </mrow> <mn>2</mn> </msup> </mrow> </mfrac> </mrow>

其中,wr為反射光束的光斑半徑,wi為入射高斯光束的束腰半徑,λ為激光波長(zhǎng),l=l1=l2。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,反射光束發(fā)散角與反射光束的光斑半徑之間的關(guān)系由如下公式表示:

<mrow> <msub> <mi>&theta;</mi> <mi>r</mi> </msub> <mo>=</mo> <mfrac> <mi>&lambda;</mi> <mrow> <msub> <mi>&pi;w</mi> <mi>r</mi> </msub> </mrow> </mfrac> </mrow>

其中,θr為反射光束發(fā)散角,λ為激光波長(zhǎng),wr為反射光束的光斑半徑。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,根據(jù)反射光束發(fā)散角與反射光束的光斑半徑之間的關(guān)系得到反射光束發(fā)散角與離焦量之間的關(guān)系由如下公式表示:

<mrow> <msub> <mi>&theta;</mi> <mi>r</mi> </msub> <mo>=</mo> <mfrac> <mi>&lambda;</mi> <mrow> <msub> <mi>&pi;w</mi> <mi>r</mi> </msub> </mrow> </mfrac> <mo>=</mo> <msqrt> <mfrac> <mrow> <msup> <mi>&pi;</mi> <mn>2</mn> </msup> <msubsup> <mi>w</mi> <mi>i</mi> <mn>4</mn> </msubsup> <msup> <mi>f</mi> <mn>8</mn> </msup> <msup> <mi>&lambda;</mi> <mn>2</mn> </msup> <mn>4</mn> <msup> <mrow> <mo>(</mo> <mi>&delta;</mi> <mi>l</mi> <mo>-</mo> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> <mo>)</mo> </mrow> <mn>2</mn> </msup> <msup> <mrow> <mo>&lsqb;</mo> <msup> <mi>&lambda;</mi> <mn>2</mn> </msup> <mi>l</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mi>&delta;</mi> <mi>l</mi> <mo>-</mo> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> <mo>)</mo> </mrow> <mo>+</mo> <msup> <mi>&delta;&pi;</mi> <mn>2</mn> </msup> <msubsup> <mi>w</mi> <mi>j</mi> <mn>4</mn> </msubsup> <mo>&rsqb;</mo> </mrow> <mn>2</mn> </msup> </mrow> <mrow> <msup> <mi>&pi;</mi> <mn>2</mn> </msup> <msubsup> <mi>w</mi> <mi>i</mi> <mn>2</mn> </msubsup> <msup> <mi>f</mi> <mn>4</mn> </msup> <mo>&lsqb;</mo> <msup> <mi>&pi;</mi> <mn>2</mn> </msup> <msubsup> <mi>w</mi> <mi>i</mi> <mn>4</mn> </msubsup> <mrow> <mo>(</mo> <mn>2</mn> <mi>&delta;</mi> <mi>l</mi> <mo>-</mo> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> <mo>)</mo> </mrow> <mo>+</mo> <mn>4</mn> <msup> <mi>&lambda;</mi> <mn>2</mn> </msup> <msup> <mi>l</mi> <mn>2</mn> </msup> <msup> <mrow> <mo>(</mo> <mi>&delta;</mi> <mi>l</mi> <mo>-</mo> <msup> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msup> <mo>)</mo> </mrow> <mn>2</mn> </msup> <mo>&rsqb;</mo> </mrow> </mfrac> </msqrt> </mrow>

6.一種激光回波傳輸特性的驗(yàn)證系統(tǒng),用于對(duì)如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的激光回波傳輸特性的分析方法中得到的反射光束發(fā)散角與離焦量之間的關(guān)系進(jìn)行驗(yàn)證,其特征在于,所述驗(yàn)證系統(tǒng)包括:激光器、第一衰減片、分光鏡、薄透鏡、包含第一圖像傳感器的微動(dòng)工作臺(tái)、第二衰減片和第二圖像傳感器;

所述激光器用于發(fā)射高斯光束,高斯光束依次經(jīng)過(guò)所述第一衰減片、所述分光鏡后及所述薄透鏡會(huì)聚至所述第一圖像傳感器;

所述微動(dòng)工作臺(tái)用于調(diào)整所述驗(yàn)證系統(tǒng)的離焦量;

所述第一圖像傳感器用于將接收到的高斯光束反射至所述薄透鏡,反射的高斯光束依次經(jīng)過(guò)所述薄透鏡、所述分光鏡和所述第二衰減片后照射到所述第二圖像傳感器上;

所述第二圖像傳感器用于接收經(jīng)過(guò)所述第二衰減片的高斯光束,并采集光斑圖像。

7.一種激光回波傳輸特性的驗(yàn)證方法,用于應(yīng)用如權(quán)利要求6所述的激光回波傳輸特性的驗(yàn)證系統(tǒng)對(duì)如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的激光回波傳輸特性的分析方法中得到的反射光束發(fā)散角與離焦量之間的關(guān)系進(jìn)行驗(yàn)證,其特征在于,包括:

開啟激光器;

通過(guò)移動(dòng)微動(dòng)工作臺(tái)來(lái)調(diào)整激光回波傳輸特性的驗(yàn)證系統(tǒng)的離焦量;

對(duì)于每個(gè)設(shè)定離焦量,根據(jù)第二圖像傳感器采集到的光斑圖像計(jì)算光斑半徑,根據(jù)所述光斑半徑計(jì)算當(dāng)前設(shè)定離焦量下對(duì)應(yīng)的反射光束發(fā)散角實(shí)驗(yàn)值;

對(duì)于每個(gè)設(shè)定離焦量,根據(jù)如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的激光回波傳輸特性的分析方法中得到的反射光束發(fā)散角與離焦量之間的關(guān)系以及激光回波傳輸特性的驗(yàn)證系統(tǒng)的系統(tǒng)參數(shù)計(jì)算當(dāng)前設(shè)定離焦量下對(duì)應(yīng)的反射光束發(fā)散角理論值;

將反射光束發(fā)散角實(shí)驗(yàn)值與反射光束發(fā)散角理論值進(jìn)行比較,得到驗(yàn)證結(jié)果。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,根據(jù)所述光斑半徑計(jì)算當(dāng)前設(shè)定離焦量下對(duì)應(yīng)的反射光束發(fā)散角實(shí)驗(yàn)值,包括:

利用如下公式根據(jù)所述光斑半徑計(jì)算當(dāng)前設(shè)定離焦量下對(duì)應(yīng)的反射光束發(fā)散角實(shí)驗(yàn)值:

<mrow> <mi>&theta;</mi> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <mi>&lambda;</mi> <msqrt> <mrow> <msup> <mi>K</mi> <mn>2</mn> </msup> <mo>+</mo> <mn>4</mn> </mrow> </msqrt> </mrow> <mrow> <mi>&pi;</mi> <mrow> <mo>(</mo> <msub> <mi>&omega;</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>+</mo> <msub> <mi>&omega;</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>)</mo> </mrow> </mrow> </mfrac> </mrow>

其中,θ為反射光束發(fā)散角實(shí)驗(yàn)值,K為第一近場(chǎng)位置與第二近場(chǎng)位置的距離差,ω1為第一近場(chǎng)位置的光斑半徑,ω2為第二近場(chǎng)位置的光斑半徑。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,激光回波傳輸特性的驗(yàn)證系統(tǒng)的系統(tǒng)參數(shù)包括:

激光器發(fā)射的激光波長(zhǎng)、高斯光束的束腰半徑、薄透鏡的焦距和高斯光束的束腰位置到薄透鏡的距離。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,將反射光束發(fā)散角實(shí)驗(yàn)值與反射光束發(fā)散角理論值進(jìn)行比較,得到驗(yàn)證結(jié)果,包括:

繪制設(shè)定離焦量與反射光束發(fā)散角實(shí)驗(yàn)值的第一對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線;

繪制設(shè)定離焦量與反射光束發(fā)散角理論值的第二對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線;

在同一坐標(biāo)系內(nèi)比較所述第一對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線和所述第二對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線,得到驗(yàn)證結(jié)果。

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