片盒傳輸裝置及具有其的半導(dǎo)體設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種片盒傳輸裝置，包括：片盒，所述片盒內(nèi)用于放置承載有晶片的托盤(pán)，所述片盒的外底面上設(shè)有第一導(dǎo)引件；腔體，所述腔體內(nèi)具有用于容納所述片盒的腔室，所述腔室的底壁上設(shè)有用于與所述第一導(dǎo)引件配合的第二導(dǎo)引件；和移動(dòng)平臺(tái)，所述移動(dòng)平臺(tái)的上表面上設(shè)有第三導(dǎo)引件，所述第三導(dǎo)引件用于與所述第一導(dǎo)引件配合以將所述片盒支撐在所述移動(dòng)平臺(tái)上，所述移動(dòng)平臺(tái)可移動(dòng)到所述腔室的前開(kāi)口處以便所述第二導(dǎo)引件和所述第三導(dǎo)引件彼此鄰接且所述片盒沿所述第二和第三導(dǎo)引件可進(jìn)出所述腔室。根據(jù)本發(fā)明的片盒傳輸裝置，可方便、高效、快速的取放片盒。本發(fā)明還公開(kāi)了一種半導(dǎo)體設(shè)備。
【專利說(shuō)明】片盒傳輸裝置及具有其的半導(dǎo)體設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，尤其是涉及一種片盒傳輸裝置及具有其的半導(dǎo)體設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在LED行業(yè)中，一般將多個(gè)待加工的晶片放在托盤(pán)上，托盤(pán)放在片盒內(nèi)，然后將放置多個(gè)托盤(pán)的片盒放置到傳輸腔內(nèi)進(jìn)行傳片等后續(xù)工藝。由于片盒內(nèi)的托盤(pán)上放置了多個(gè)晶片，因此片盒會(huì)比較重，這樣在將片盒放在傳輸腔內(nèi)或從傳輸腔內(nèi)取出片盒都顯得尤為不便，而目前LED行業(yè)中，目前通常是用手提的方式把片盒放到傳輸腔里，但由于放置了晶片的片盒很重，對(duì)于手提運(yùn)輸及放置片盒都不方便，不便于操作，效率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。
[0004]為此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提出一種片盒傳輸裝置，所述片盒傳輸裝置在存放晶片和運(yùn)輸片盒時(shí)更加方便。
[0005]本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提出一種半導(dǎo)體設(shè)備。
[0006]根據(jù)本發(fā)明第一方面實(shí)施例的片盒傳輸裝置，包括:片盒，所述片盒內(nèi)用于放置承載有晶片的托盤(pán)，所述片盒的外底面上設(shè)有第一導(dǎo)引件；腔體，所述腔體內(nèi)具有用于容納所述片盒的腔室，所述腔室的底壁上設(shè)有用于與所述第一導(dǎo)引件配合的第二導(dǎo)引件；和移動(dòng)平臺(tái)，所述移動(dòng)平臺(tái)的上表面上設(shè)有第三導(dǎo)引件，所述第三導(dǎo)引件用于與所述第一導(dǎo)引件配合以將所述片盒支撐在所述移動(dòng)平臺(tái)上，所述移動(dòng)平臺(tái)可移動(dòng)到所述腔室的前開(kāi)口處以便所述第二導(dǎo)引件和所述第三導(dǎo)引件彼此鄰接且所述片盒沿所述第二和第三導(dǎo)引件可進(jìn)出所述腔室。
[0007]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的片盒傳輸裝置，通過(guò)設(shè)置移動(dòng)平臺(tái)，在移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)至腔體的前開(kāi)口處時(shí)，第二引導(dǎo)件與第三導(dǎo)引件彼此鄰接且分別與第一導(dǎo)引件配合，由此裝滿晶片的片盒可方便地在導(dǎo)引件的導(dǎo)引作用下進(jìn)入腔室，操作方便，省時(shí)省力，提高了傳輸效率，方便后續(xù)取片工藝的進(jìn)行。
[0008]另外，根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例的片盒傳輸裝置還具有如下附加技術(shù)特征:
[0009]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述第一導(dǎo)引件為沿前后方向延伸的直線導(dǎo)槽，所述第二和第三導(dǎo)引件為沿前后方向延伸的直線導(dǎo)軌，且在所述移動(dòng)平臺(tái)可移動(dòng)到所述腔室的前開(kāi)口處時(shí)所述第二和第三導(dǎo)引件在前后方向上在同一直線上。
[0010]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述直線導(dǎo)槽為兩個(gè)且沿左右方向間隔開(kāi)，所述直線導(dǎo)軌為兩個(gè)且沿左右方向間隔開(kāi)。
[0011]在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，所述第一導(dǎo)引件為設(shè)在所述片盒的外底面上沿前后方向延伸的直線導(dǎo)軌，所述第二和第三導(dǎo)引件為沿前后方向延伸的直線導(dǎo)槽，在所述移動(dòng)平臺(tái)可移動(dòng)到所述腔室的前開(kāi)口處時(shí)所述第二和第三導(dǎo)引件在前后方向上在同一直線上。[0012]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述片盒傳輸裝置還包括定位部件，所述定位部件用于連接和定位彼此鄰接的第二和第三導(dǎo)引件。由此，通過(guò)定位部件的連接、定位作用，從而實(shí)現(xiàn)第二導(dǎo)引件和第三導(dǎo)引件的鄰接配合，即第二導(dǎo)引件的前端和第三導(dǎo)引件的后端接觸且第二導(dǎo)引件和第三導(dǎo)引件處在同一直線上，由此大大提高了傳輸效率，更加方便片盒進(jìn)入腔室內(nèi)。
[0013]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述定位部件為定位銷。
[0014]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述腔室內(nèi)還設(shè)有用于將所述片盒固定在所述腔室內(nèi)的限位部件。由此，在片盒進(jìn)入腔室后可實(shí)現(xiàn)對(duì)片盒的止擋、限位作用，放置片盒過(guò)分向后移動(dòng)碰觸腔體的后壁,損壞腔體。
[0015]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述限位部件為擋塊。
[0016]在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，所述片盒傳輸裝置還包括片盒提升件，所述片盒提升件用于在腔室內(nèi)部升降放置在其上的片盒。
[0017]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述片盒提升件的上表面上設(shè)有用于與所述第一導(dǎo)引件配合的第四導(dǎo)引件，所述第四導(dǎo)引件和所述第二導(dǎo)引件在所述片盒進(jìn)入所述腔室時(shí)位于同一水平直線上。
[0018]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的片盒傳輸裝置，片盒可一直放置在移動(dòng)平臺(tái)上，移動(dòng)平臺(tái)可方便的移動(dòng)至腔室的前方且通過(guò)引導(dǎo)件的引導(dǎo)作用方便地將片盒推入腔室內(nèi)，由此避免了手動(dòng)提升、搬送裝滿晶片的片盒帶來(lái)的不便，不僅操作省時(shí)省力，有效降低勞動(dòng)強(qiáng)度，同時(shí)還提高了傳輸效率，方便后續(xù)工藝的進(jìn)行，從而實(shí)現(xiàn)高效、快速、省力的取放片盒。
[0019]根據(jù)本發(fā)明第二方面實(shí)施例的半導(dǎo)體設(shè)備，包括根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例的片盒傳輸裝置。
[0020]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述半導(dǎo)體設(shè)備為L(zhǎng)ED刻蝕機(jī)。
[0021]本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐了解到。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
[0023]圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的片盒傳輸裝置的俯視圖；
[0024]圖2是圖1中所示的片盒傳輸裝置的片盒向腔體移動(dòng)過(guò)程的示意圖；
[0025]圖3是圖1中所示的片盒傳輸裝置的片盒移動(dòng)至腔室內(nèi)的示意圖；和
[0026]圖4是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的片盒傳輸裝置的俯視圖；
[0027]圖5是圖4中所示的片盒傳輸裝置的片盒向腔體移動(dòng)過(guò)程的示意圖；
[0028]圖6是圖4中所示的片盒傳輸裝置的片盒移動(dòng)至腔室內(nèi)的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。[0030]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“長(zhǎng)度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“順時(shí)針”、“逆
時(shí)針”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0031]此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中，除非另有說(shuō)明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。
[0032]在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語(yǔ)應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。
[0033]在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通過(guò)它們之間的另外的特征接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0034]下面首先參考圖1-圖3描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的片盒傳輸裝置100。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的片盒傳輸裝置100可用于存放片盒I以及完成片盒I的傳片工藝。
[0035]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的片盒傳輸裝置100，包括片盒1、腔體2和移動(dòng)平臺(tái)3。
[0036]如圖1所示，片盒I內(nèi)包括用于放置承載有晶片的托盤(pán)，具體地說(shuō)，片盒I內(nèi)可放置有至少一個(gè)托盤(pán)，托盤(pán)上可存放有多個(gè)晶片。片盒I的外底面上設(shè)有第一導(dǎo)引件11。腔體2內(nèi)具有腔室22，腔室22用于容納片盒1，腔室22的底壁上設(shè)有用于與第一導(dǎo)引件11配合的第二導(dǎo)引件21，其中腔體2的前側(cè)敞開(kāi)以形成前開(kāi)口。這里，配合可以理解為第一導(dǎo)引件11和第二導(dǎo)引件21可配合產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，也就是說(shuō)，片盒I可通過(guò)第一導(dǎo)引件11與第二導(dǎo)引件21的配合作用在腔室22內(nèi)沿第二導(dǎo)引件21水平移動(dòng)。
[0037]移動(dòng)平臺(tái)3的上表面上設(shè)有第三導(dǎo)引件31，第三導(dǎo)引件31用于與第一導(dǎo)引件11配合以將片盒I支撐在移動(dòng)平臺(tái)3上并能夠通過(guò)第一導(dǎo)引件11與第三導(dǎo)引件31的配合作用使片盒I沿第三導(dǎo)引件31水平移動(dòng)，移動(dòng)平臺(tái)3本身可移動(dòng)到腔室22的前開(kāi)口處以便第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31彼此鄰接且片盒I沿第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31可進(jìn)出腔室22。具體而言，移動(dòng)平臺(tái)3可移動(dòng)到腔室22的前開(kāi)口處，此時(shí)第二導(dǎo)引件21的前端和第三導(dǎo)引件31的后端接觸，從而形成一個(gè)導(dǎo)引件并與第一導(dǎo)引件11配合，由此片盒I即可方便地在移動(dòng)平臺(tái)3上以及腔室22內(nèi)移動(dòng)。
[0038]由于片盒I內(nèi)可放置多個(gè)托盤(pán)，托盤(pán)內(nèi)存放晶片，因此片盒I在裝滿晶片后會(huì)變得笨重，不方便移動(dòng)，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的片盒傳輸裝置100，通過(guò)設(shè)置移動(dòng)平臺(tái)3，在移動(dòng)平臺(tái)3移動(dòng)至腔體I的前開(kāi)口處時(shí)，第二引導(dǎo)件21與第三導(dǎo)引件31彼此鄰接且分別與第一導(dǎo)引件11配合，由此裝滿晶片的片盒I可方便地在導(dǎo)引件的導(dǎo)引作用下進(jìn)入腔室22，操作方便，省時(shí)省力，提高了傳輸效率，方便后續(xù)取片工藝的進(jìn)行。
[0039]需要說(shuō)明的是，優(yōu)選地，上述移動(dòng)平臺(tái)3也可以是片盒I的工作平臺(tái)，也就是說(shuō)，移動(dòng)平臺(tái)3同時(shí)具有片盒I工作平臺(tái)的作用，因此片盒I可事先放置在移動(dòng)平臺(tái)3上，然后將托盤(pán)放在片盒I里，放好托盤(pán)后可進(jìn)行下步工序。
[0040]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，第一導(dǎo)引件11為沿前后方向延伸的直線導(dǎo)槽，第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31為沿前后方向延伸的直線導(dǎo)軌，且在移動(dòng)平臺(tái)3移動(dòng)到腔室22的前開(kāi)口處時(shí)第二引導(dǎo)件21和第三引導(dǎo)件31在前后方向上在同一水平直線上。由此，在移動(dòng)片盒I時(shí)，只需先將移動(dòng)平臺(tái)3移動(dòng)至腔體I的前開(kāi)口處，此時(shí)第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31前后配合，沿第三引導(dǎo)件31朝向第二引導(dǎo)件21推動(dòng)片盒1，片盒I即可進(jìn)入腔室22內(nèi)，操作省力、方便，有效解決了傳統(tǒng)手動(dòng)運(yùn)輸片盒I操作不便的問(wèn)題。
[0041]進(jìn)一步地，為提高片盒I從移動(dòng)平臺(tái)3向腔室22內(nèi)移動(dòng)過(guò)程中的平衡性，直線導(dǎo)槽可為兩個(gè)且沿左右方向間隔開(kāi)，對(duì)應(yīng)地，直線導(dǎo)軌也為兩個(gè)且沿左右方向間隔開(kāi)，也就是說(shuō)，第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31分別為兩個(gè)沿左右方向間隔開(kāi)地直線導(dǎo)軌。由此，片盒I在直線導(dǎo)軌上移動(dòng)時(shí)，一方面可以更好地保持平衡，另一方面可更加順暢地進(jìn)、出腔室22內(nèi)，實(shí)用性好。
[0042]其中，在上述實(shí)施例中，需要說(shuō)明的是，第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31可以是兩根單獨(dú)的直線導(dǎo)軌。當(dāng)然，第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31也可以是一根直線導(dǎo)軌，具體而言，第二導(dǎo)引件21可被驅(qū)動(dòng)向前伸縮預(yù)定長(zhǎng)度以形成第三導(dǎo)引件31。例如，在移動(dòng)平臺(tái)3移動(dòng)至腔室22的前開(kāi)口處時(shí)，第二導(dǎo)引件21可向前伸縮預(yù)定長(zhǎng)度，即伸縮至片盒I的底部(片盒I可預(yù)先架在移動(dòng)平臺(tái)3的上方)以代替第三導(dǎo)軌件31，可選地，第二導(dǎo)引件21可由微型電機(jī)驅(qū)動(dòng)伸縮，從而也可方便地將片盒I放置在腔體2內(nèi)。
[0043]在移動(dòng)平臺(tái)3移動(dòng)至腔室22的前開(kāi)口處時(shí)，可通過(guò)定位部件(圖未示出)對(duì)移動(dòng)平臺(tái)3進(jìn)行固定定位，也就是說(shuō)，定位部件可用于連接和定位彼此鄰接的第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31。具體地，定位部件為定位銷，定位銷可設(shè)在移動(dòng)平臺(tái)上，例如從移動(dòng)平臺(tái)3后部的下表面向下延伸或從移動(dòng)平臺(tái)3后端面向后延伸，定位銷可以是多個(gè)，這樣可以提高定位精度，從而使第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31配合的更加緊密，方便片盒I在其上滑動(dòng)。當(dāng)然，本發(fā)明并不限于此，在本發(fā)明的另一些實(shí)施例中，定位銷也可設(shè)在腔體2上，由此同樣可實(shí)現(xiàn)定位固定功能。可以理解，當(dāng)定位銷設(shè)在移動(dòng)平臺(tái)3上時(shí)，腔體2會(huì)對(duì)應(yīng)地形成定位銷孔。
[0044]在移動(dòng)平臺(tái)3移動(dòng)至腔室22的前開(kāi)口處時(shí)，通過(guò)定位部件的連接、定位作用，從而實(shí)現(xiàn)第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31的鄰接配合，即第二導(dǎo)引件21的前端和第三導(dǎo)引件31的后端接觸且第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31處在同一直線上，由此大大提高了傳輸效率，更加方便片盒I進(jìn)入腔室22內(nèi)。
[0045]在片盒I移動(dòng)到腔室22內(nèi)時(shí)，為了限制片盒I在腔室22內(nèi)過(guò)分向后移動(dòng)，片盒傳輸裝置100還可包括限位部件(圖未示出)，限位部件設(shè)在腔室22內(nèi)用于將片盒I固定在腔室22內(nèi)，例如在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，限位部件為擋塊，擋塊可為多個(gè)且分別從腔室22的底壁向上延伸，多個(gè)擋塊可鄰近第二導(dǎo)引件21的后端設(shè)置且沿左右方向彼此間隔開(kāi)。由此，在片盒I進(jìn)入腔室22 —定距離后，擋塊可止擋片盒I繼續(xù)向后移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)限位、止擋功能，防止片盒I碰觸腔體2的后壁，損壞腔體2，影響傳片工序的進(jìn)行。
[0046]在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，第一導(dǎo)引件11為設(shè)在片盒I的外底面上沿前后方向延伸的直線導(dǎo)軌，第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31為沿前后方向延伸的直線導(dǎo)槽，在移動(dòng)平臺(tái)3移動(dòng)到腔室22的前開(kāi)口處時(shí)第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31在前后方向上在同一直線上。對(duì)于本實(shí)施例，可以理解的是，第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31可以是單獨(dú)的兩個(gè)直線導(dǎo)槽，當(dāng)然也可以是一個(gè)具有伸縮功能的直線導(dǎo)槽，其中為方便移動(dòng)平臺(tái)3的定位，也可在移動(dòng)平臺(tái)3或腔體2上設(shè)置定位銷，同時(shí)在腔室22內(nèi)還可設(shè)置多個(gè)擋塊止擋片盒I過(guò)分向后移動(dòng)，也就是說(shuō)，這些特征均可按照上述實(shí)施例中描述的方式來(lái)設(shè)置。
[0047]下面參考圖1-圖3簡(jiǎn)單描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的片盒傳輸裝置100中的片盒I移動(dòng)至腔室22內(nèi)的過(guò)程。
[0048]I)把裝好晶片的托盤(pán)放到片盒I內(nèi)，然后將片盒I放在移動(dòng)平臺(tái)3上，片盒I底部的第一導(dǎo)引件11與移動(dòng)平臺(tái)3上的第三導(dǎo)引件31配合，如圖1所示；
[0049]2)移動(dòng)平臺(tái)3移動(dòng)至腔室22的前部開(kāi)口處，通過(guò)定位部件將移動(dòng)平臺(tái)3定位在腔室22的正前方，此時(shí)第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31前后配合；
[0050]3)片盒I通過(guò)第一導(dǎo)引件11分別與第三導(dǎo)引件31和第二導(dǎo)引件21的配合作用，在第三導(dǎo)引件31和第二導(dǎo)引件21上移動(dòng)最終進(jìn)入腔室22內(nèi)，如圖2所示；
[0051]4)在片盒I向后移動(dòng)進(jìn)入腔室22 —定距離后，腔室22內(nèi)限位部件與片盒I接觸，從而止擋片盒I繼續(xù)向后移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)片盒I的限位、止擋作用，如圖3所示；
[0052]5)移動(dòng)平臺(tái)3挪開(kāi)，片盒傳輸裝置100的門(mén)體關(guān)閉，進(jìn)行后續(xù)工藝。
[0053]其中，在后續(xù)工藝結(jié)束后需要取出片盒I時(shí)，其取出片盒I的過(guò)程與上述進(jìn)入過(guò)程相反，這里不再詳細(xì)描述。
[0054]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的片盒傳輸裝置100，片盒I可一直放置在移動(dòng)平臺(tái)3上，移動(dòng)平臺(tái)3可方便的移動(dòng)至腔室22的前方且通過(guò)引導(dǎo)件的引導(dǎo)作用方便地將片盒I推入腔室22內(nèi)，由此避免了手動(dòng)提升、搬送裝滿晶片的片盒I帶來(lái)的不便，不僅操作省時(shí)省力，有效降低勞動(dòng)強(qiáng)度，同時(shí)還提高了傳輸效率，方便后續(xù)工藝的進(jìn)行，從而實(shí)現(xiàn)高效、快速、省力的取放片盒I。
[0055]較佳地，作為另一種可實(shí)施方式，如圖4-圖6所示，本發(fā)明的片盒傳輸裝置100，包括:片盒1、腔體2、移動(dòng)平臺(tái)3以及片盒提升件23。
[0056]片盒I內(nèi)可放置有多個(gè)托盤(pán)，托盤(pán)上存放有晶片。片盒I的外底面上設(shè)有第一導(dǎo)引件11。腔體2內(nèi)具有腔室22，腔室22用于容納片盒1，腔室22的底壁上設(shè)有與第一導(dǎo)引件11配合的第二導(dǎo)引件21。片盒提升件23用于在腔室22內(nèi)部升降其上放置的片盒I以配合機(jī)械手(圖未示出)拿取托盤(pán)，且片盒提升件23的上表面上設(shè)有用于與第一導(dǎo)引件11配合的第四導(dǎo)引件41，并且所述第四導(dǎo)引件41和第二導(dǎo)引件21在所述片盒I進(jìn)入腔室22時(shí)位于同一水平直線上。其中腔體2的前側(cè)敞開(kāi)以形成前開(kāi)口。這里，配合可以理解為第一導(dǎo)引件11和第二導(dǎo)引件21可配合產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，第一導(dǎo)引件11和第四導(dǎo)引件41可配合產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，也就是說(shuō)，片盒I底部的第一導(dǎo)引件11可沿第二導(dǎo)引件21和第四導(dǎo)引件41在腔室22內(nèi)水平移動(dòng)至片盒提升件23的上表面。
[0057]移動(dòng)平臺(tái)3的上表面上設(shè)有第三導(dǎo)引件31，第三導(dǎo)引件31用于與第一導(dǎo)引件11配合以將片盒I支撐在移動(dòng)平臺(tái)3上并能夠通過(guò)第一導(dǎo)引件11與第三導(dǎo)引件31的配合作用使片盒I沿第三導(dǎo)引件31水平移動(dòng)，移動(dòng)平臺(tái)3本身可移動(dòng)到腔室22的前開(kāi)口處以便第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31彼此鄰接且片盒I沿第二導(dǎo)引件21和第三導(dǎo)引件31可進(jìn)出腔室22。具體而言，移動(dòng)平臺(tái)3可移動(dòng)到腔室22的前開(kāi)口處，此時(shí)第二導(dǎo)引件21、第三導(dǎo)引件31和第四導(dǎo)引件41共同形成一個(gè)導(dǎo)引件并與第一導(dǎo)引件11配合，由此片盒I即可方便地通過(guò)移動(dòng)平臺(tái)3進(jìn)入腔室22內(nèi)并直接到達(dá)片盒提升件23的上表面，進(jìn)而通過(guò)片盒提升件23在腔室22內(nèi)部升降其上放置的片盒I來(lái)配合機(jī)械手拿取托盤(pán)。
[0058]由于片盒I內(nèi)可放置多個(gè)托盤(pán)，托盤(pán)內(nèi)存放晶片，因此片盒在裝滿晶片后會(huì)變得笨重，不方便移動(dòng)，采用本發(fā)明實(shí)施例的片盒傳輸裝置100，通過(guò)設(shè)置移動(dòng)平臺(tái)3和片盒提升件23，在移動(dòng)平臺(tái)3移動(dòng)至腔體I的前開(kāi)口處時(shí)，第二引導(dǎo)件21、第三導(dǎo)引件31和第四導(dǎo)引件41彼此鄰接且分別與第一導(dǎo)引件11配合，由此裝滿晶片的片盒I可方便地在導(dǎo)引件的導(dǎo)引作用下進(jìn)入腔室22并進(jìn)行升降，即同時(shí)實(shí)現(xiàn)了片盒由移動(dòng)平臺(tái)進(jìn)入腔室的水平傳輸以及在片盒提升件的承托下的升降傳輸，操作方便，省時(shí)省力，提高了傳輸效率，方便后續(xù)取片工藝的進(jìn)行。
[0059]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體設(shè)備，包括根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例中描述的片盒傳輸裝置100。其中半導(dǎo)體設(shè)備為L(zhǎng)ED (Light Emitting Diode,發(fā)光二級(jí)管)刻蝕機(jī)。
[0060]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體設(shè)備的其它構(gòu)成以及操作等已為現(xiàn)有技術(shù)并為本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員所熟知，這里不再詳細(xì)描述。
[0061]在本說(shuō)明書(shū)的描述中，參考術(shù)語(yǔ)“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示意性實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說(shuō)明書(shū)中，對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。
[0062]盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解:在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
【權(quán)利要求】
1.一種片盒傳輸裝置，其特征在于，包括: 片盒，用于放置承載有晶片的托盤(pán)，所述片盒的外底面上設(shè)有第一導(dǎo)引件； 腔體，所述腔體內(nèi)具有用于容納所述片盒的腔室，所述腔室的底壁上設(shè)有與所述第一導(dǎo)引件配合的第二導(dǎo)引件；和 移動(dòng)平臺(tái)，所述移動(dòng)平臺(tái)的上表面上設(shè)有第三導(dǎo)引件，所述第三導(dǎo)引件用于與所述第一導(dǎo)引件配合以將所述片盒支撐在所述移動(dòng)平臺(tái)上，所述移動(dòng)平臺(tái)能夠移動(dòng)到所述腔室的前開(kāi)口處以便所述第二導(dǎo)引件和所述第三導(dǎo)引件彼此鄰接且所述片盒沿所述第二導(dǎo)引件和第三導(dǎo)引件進(jìn)出所述腔室。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的片盒傳輸裝置，其特征在于，所述第一導(dǎo)引件為沿前后方向延伸的直線導(dǎo)槽，所述第二導(dǎo)引件和第三導(dǎo)引件為沿前后方向延伸的直線導(dǎo)軌，且在所述移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)到所述腔室的前開(kāi)口處時(shí)所述第二導(dǎo)引件和第三導(dǎo)引件在前后方向上在同一直線上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的片盒傳輸裝置，其特征在于，所述直線導(dǎo)槽為兩個(gè)且沿左右方向間隔開(kāi)，所述直線導(dǎo)軌為兩個(gè)且沿左右方向間隔開(kāi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的片盒傳輸裝置，其特征在于，所述第一導(dǎo)引件為設(shè)在所述片盒的外底面上沿前后方向延伸的直線導(dǎo)軌，所述第二導(dǎo)引件和第三導(dǎo)引件為沿前后方向延伸的直線導(dǎo)槽，在所述移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)到所述腔室的前開(kāi)口處時(shí)所述第二導(dǎo)引件和第三導(dǎo)引件在前后方向上在同一直線上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的片盒傳輸裝置，其特征在于，還包括定位部件，所述定位部件用于連接和定位彼此鄰接的第二和第三導(dǎo)引件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的片盒傳輸裝置，其特征在于，所述定位部件為定位銷。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的片盒傳輸裝置，其特征在于，所述腔室內(nèi)還設(shè)有用于將所述片盒固定在所述腔室內(nèi)的限位部件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的片盒傳輸裝置，其特征在于，所述限位部件為擋塊。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的片盒傳輸裝置，其特征在于，還包括片盒提升件，所述片盒提升件用于在腔室內(nèi)部升降放置在其上的片盒。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的片盒傳輸裝置，其特征在于，所述片盒提升件的上表面上設(shè)有用于與所述第一導(dǎo)引件配合的第四導(dǎo)引件，所述第四導(dǎo)引件和所述第二導(dǎo)引件在所述片盒進(jìn)入所述腔室時(shí)位于同一水平直線上。
11.一種半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-10中任一項(xiàng)所述的片盒傳輸裝置。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備為L(zhǎng)ED刻蝕機(jī)。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK103594403SQ201210290300
【公開(kāi)日】2014年2月19日 申請(qǐng)日期:2012年8月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月15日
【發(fā)明者】郭峰 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司