技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種光學(xué)位置測(cè)量裝置。該光學(xué)位置測(cè)量裝置一方面包括整體量具，其沿著測(cè)量方向延伸并且具有增量分度以及絕對(duì)編碼。另一方面設(shè)有掃描單元，其相對(duì)于整體量具沿著測(cè)量方向可相對(duì)移動(dòng)地設(shè)置并且具有光源、用于光學(xué)掃描增量分度的掃描網(wǎng)格以及檢測(cè)器裝置。檢測(cè)器裝置包括用于從增量分度的光學(xué)掃描中產(chǎn)生增量信號(hào)的增量檢測(cè)器以及用于從絕對(duì)編碼的光學(xué)掃描中產(chǎn)生絕對(duì)信號(hào)的絕對(duì)檢測(cè)器；增量檢測(cè)器和絕對(duì)檢測(cè)器設(shè)置在共同的檢測(cè)平面中。檢測(cè)平面具有距掃描網(wǎng)格的限定的標(biāo)準(zhǔn)間距和/或?qū)⒃隽繖z測(cè)器上的條形圖案的周期性選擇成，使得在整體量具和/或掃描網(wǎng)格的區(qū)域中進(jìn)行散射的污染物中增量信號(hào)和絕對(duì)信號(hào)的幅度均勻地衰減。

技術(shù)研發(fā)人員：沃爾夫?qū)せ魻栐召M(fèi)爾;克里斯托夫·林克;約翰內(nèi)斯·特勞特納
受保護(hù)的技術(shù)使用者：約翰內(nèi)斯﹒海德漢博士有限公司
文檔號(hào)碼：201610548647
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.13
技術(shù)公布日：2017.03.08