技術(shù)編號(hào):12173270
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光學(xué)位置測(cè)量裝置。所述光學(xué)位置測(cè)量裝置適合于高精度的絕對(duì)位置確定。背景技術(shù)這種類型的光學(xué)絕對(duì)位置測(cè)量裝置例如從US5,235,181中已知。所述光學(xué)位置測(cè)量裝置包括整體量具,所述整體量具沿著測(cè)量方向延伸并且具有增量分度以及絕對(duì)編碼。掃描單元相對(duì)于整體量具沿著測(cè)量測(cè)量方向可相對(duì)移動(dòng)地設(shè)置。掃描單元具有光源、用于光學(xué)掃描增量分度的掃描網(wǎng)格以及檢測(cè)器裝置。檢測(cè)器裝置包括用于從增量分度的光學(xué)掃描中產(chǎn)生增量信號(hào)的增量檢測(cè)器以及用于從絕對(duì)編碼的光學(xué)掃描中產(chǎn)生絕對(duì)信號(hào)的絕對(duì)檢測(cè)器。從絕對(duì)和增量信...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。