1.一種缺陷檢查方法，對(duì)于在表面形成有線狀圖案的工件，檢查所述線狀圖案的缺陷，其特征在于，包括：
拍攝工序，沿著所述線狀圖案依次拍攝檢查圖像；以及
檢查工序，對(duì)于所述檢查圖像，依次進(jìn)行缺陷檢查，
在所述檢查工序中，基于所述檢查圖像中包含的所述線狀圖案的連續(xù)性及圖像面積的至少某個(gè)來(lái)對(duì)缺陷進(jìn)行判定。
2.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查方法，其特征在于，
在所述檢查工序中，基于光學(xué)特性的差異，將所述檢查圖像劃分為表示所述線狀圖案的圖案區(qū)域、以及所述圖案區(qū)域的外側(cè)的圖案外區(qū)域，
計(jì)算所述圖案區(qū)域及所述圖案外區(qū)域的面積，并與其他所述檢查圖像進(jìn)行比較，如果面積沒(méi)有變動(dòng)，則判定為沒(méi)有缺陷。
3.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查方法，其特征在于，
在所述檢查工序中，基于光學(xué)特性的差異，將所述檢查圖像劃分為表示所述線狀圖案的圖案區(qū)域、以及所述圖案區(qū)域的外側(cè)的圖案外區(qū)域，
檢測(cè)所述圖案區(qū)域與所述圖案外區(qū)域的邊界線來(lái)作為所述線狀圖案的輪廓，
如果所述輪廓是連續(xù)的，則判定為沒(méi)有缺陷。
4.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查方法，其特征在于，
所述檢查圖像通過(guò)規(guī)定形狀的檢查框來(lái)指定，
在所述拍攝工序中，對(duì)所述線狀圖案的任意部位分配了最初的所述檢查框之后，對(duì)所述線狀圖案的相鄰部位依次分配下一所述檢查框，由此拍攝沿著所述線狀圖案的多個(gè)所述檢查圖像。
5.如權(quán)利要求4所述的缺陷檢查方法，其特征在于，
所述工件為，通過(guò)根據(jù)加工程序來(lái)動(dòng)作的加工裝置在表面形成有線狀 圖案，
在所述拍攝工序中，基于所述加工程序中包含的所述線狀圖案的形狀數(shù)據(jù)，使依次拍攝所述檢查圖像的部位移動(dòng)。
6.如權(quán)利要求5所述的缺陷檢查方法，其特征在于，
在加工所述工件的所述加工裝置上裝配攝像機(jī)，通過(guò)所述攝像機(jī)來(lái)拍攝所述檢查圖像。
7.如權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的缺陷檢查方法，其特征在于，
在所述拍攝工序中，沿著所述線狀圖案使攝像機(jī)移動(dòng)的同時(shí)，通過(guò)閃光燈對(duì)所述線狀圖案間歇地進(jìn)行照明，在由所述閃光燈進(jìn)行照明的期間通過(guò)所述攝像機(jī)拍攝所述檢查圖像。
8.一種缺陷檢查裝置，對(duì)于在表面形成有線狀圖案的工件，檢查所述線狀圖案的缺陷，其特征在于，具備：
拍攝部，沿著所述線狀圖案依次拍攝檢查圖像；以及
檢查部，對(duì)于所述檢查圖像，依次進(jìn)行缺陷檢查，
所述檢查部基于所述檢查圖像中包含的所述線狀圖案的連續(xù)性及圖像面積的至少某個(gè)來(lái)對(duì)缺陷進(jìn)行判定。