多個(gè)實(shí)施例總體上涉及用于容納及電接觸待測器件的測量設(shè)備，用于測試待測器件的測試裝置，用于測量設(shè)備的接口組件，及使用方法。

背景技術(shù)：

在完成半導(dǎo)體芯片或這種半導(dǎo)體芯片的封裝的制造后，常常相關(guān)于其性能測試這種產(chǎn)品。為此，提供了一種測試裝置，由測量設(shè)備和測試器械組成，在其中作為待測器件(DUT)來測試這種產(chǎn)品。

但這種測試所需的技術(shù)工作量相當(dāng)大。而且，測試不同類型的DUT仍是麻煩的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

需要一種具有高度靈活性和合理工作量的用于測試待測器件的系統(tǒng)。

根據(jù)示例性實(shí)施例，提供了一種測量設(shè)備(具體而言是測量頭)，與測試器械(具體而言是測量底座)協(xié)同配合，用于容納并電接觸要測試的待測器件，其中，所述測量設(shè)備包括機(jī)殼，所述機(jī)殼包括第一接口構(gòu)件，當(dāng)被連接到機(jī)殼的測試插頭時(shí)可電耦合到測試器械，及可調(diào)換式連接器，被配置為與機(jī)殼可調(diào)換地裝配，包括第二接口構(gòu)件，當(dāng)測試器械位于連接器的待測器件容座時(shí)可電耦合到待測器件，其中，第一接口構(gòu)件和第二接口構(gòu)件被配置用于在將連接器與機(jī)殼裝配后，建立從待測器件容座到測試插頭的導(dǎo)電連接。

根據(jù)另一個(gè)示例性實(shí)施例，提供了一種測量設(shè)備，與測試器械協(xié)同配合，用于容納并電接觸要測試的待測器件，其中，所述測量設(shè)備包括機(jī)殼和多個(gè)可調(diào)換式連接器，每一個(gè)可調(diào)換式連接器都被配置為與機(jī)殼可調(diào)換地裝配，每一個(gè)可調(diào)換式連接器都被配置用于可電耦合到不同類型的待測器件。可任選地，機(jī)殼和多個(gè)可調(diào)換式連接器的每一個(gè)都被配置用于將多 個(gè)連接器的相應(yīng)一個(gè)與機(jī)殼裝配后，建立從相應(yīng)的待測器件容座到測試插頭的導(dǎo)電連接。

根據(jù)再另一個(gè)示例性實(shí)施例，提供了一種用于測試待測器件的測試裝置，其中，測試裝置包括測量設(shè)備，具有用于容納并電接觸要測試的待測器件的上述特征，及測試器械，測量設(shè)備與測試器械可裝配或裝配(具體而言，測量設(shè)備可安裝或安裝在其上)，被配置用于將待測器件提供(或饋送或輸送)到連接器，用于經(jīng)由機(jī)殼將測試信號(例如電測試信號)施加到待測器件，及用于經(jīng)由機(jī)殼從待測器件接收對測試信號的響應(yīng)信號(例如電響應(yīng)信號)。

根據(jù)再另一個(gè)示例性實(shí)施例，提供了一種接口組件，用于與測試器械協(xié)同配合以容納并電接觸要測試的待測器件的測量設(shè)備，其中，接口組件包括第一接口構(gòu)件，用于測量設(shè)備的機(jī)殼，并包括電絕緣第一承載器結(jié)構(gòu)和一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電第一插針，第一插針延伸通過第一承載器結(jié)構(gòu)的至少一部分，及第二接口構(gòu)件，用于要與機(jī)殼裝配的測量設(shè)備的連接器，并包括電絕緣第二承載器結(jié)構(gòu)和一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電第二插針，第二插針延伸通過第二承載器結(jié)構(gòu)的至少一部分，其中，第一接口構(gòu)件與第二接口構(gòu)件被配置用于在將連接器與機(jī)殼裝配后，在一個(gè)或多個(gè)第一插針與一個(gè)或多個(gè)第二插針之間建立導(dǎo)電連接，其中，第一接口構(gòu)件和第二接口構(gòu)件中的至少一個(gè)被配置為經(jīng)受住高溫條件下高電流電測試信號的施加。

根據(jù)再另一個(gè)示例性實(shí)施例，提供了一種使用具有上述特征的測量設(shè)備、具有上述特征的接口組件、或具有上述特征的測試裝置的、用于測試作為待測器件的功率封裝件的方法，具體而言，功率封裝件包括至少一個(gè)功率半導(dǎo)體芯片(例如具有一個(gè)或多個(gè)絕緣柵雙極型晶體管，IGBT)。

根據(jù)再另一個(gè)示例性實(shí)施例，提供了一種使用具有上述特征的測量設(shè)備、具有上述特征的接口組件、或具有上述特征的測試裝置的方法，其中，所述方法包括將高電流電測試信號，具體而言，至少4安培的電流，施加到待測器件，和/或?qū)⒋郎y器件加熱到高于環(huán)境溫度的溫度，具體而言，高于100℃的溫度。

示例性實(shí)施例的優(yōu)點(diǎn)在于連接器可以選擇性地與機(jī)殼裝配或拆卸，以使得可以靈活地將連接器與另一個(gè)連接器調(diào)換，從而使用同一個(gè)機(jī)殼與多 個(gè)不同類型的連接器。這允許在結(jié)合測試裝置使用測量設(shè)備時(shí)，減少了用于存儲(chǔ)測試不同類型待測器件和/或執(zhí)行待測器件的不同類型測試的設(shè)備所需的儲(chǔ)存空間方面的工作。而且，這個(gè)模塊化測試系統(tǒng)的提供允許更有效地將材料資源用于測試系統(tǒng)，因?yàn)椴槐貫槊恳活怐UT和每一類測試提供完全單獨(dú)的測量設(shè)備。有利地，在機(jī)殼和連接器使用協(xié)同配合的接口構(gòu)件，可以實(shí)現(xiàn)連接器的用戶友好地快速可調(diào)換性，其確保了從布置在連接器的待測器件容座的待測器件的一個(gè)或多個(gè)端子，經(jīng)由在待測器件容座的一個(gè)或多個(gè)端子，經(jīng)由在待測器件容座與第二接口構(gòu)件之間的導(dǎo)電連接，從第二接口構(gòu)件直接到第一接口構(gòu)件，及經(jīng)由在第一接口構(gòu)件與測試插頭之間的導(dǎo)電連接的可靠且連續(xù)的導(dǎo)電耦合路徑。

在機(jī)殼和連接器的兩個(gè)可插拔協(xié)同配合接口構(gòu)件的接口組件的概念允許快速且可靠地建立電連接。相應(yīng)的導(dǎo)電路徑即使在嚴(yán)酷條件下也可以魯棒地工作，尤其是即使在測試過程中出現(xiàn)的高溫和高電流值存在時(shí)，也可以可靠地維持。有利地，從DUT到測試插頭的這個(gè)電連接可以與連接器和機(jī)殼的裝配同時(shí)建立，無需額外的用戶活動(dòng)或過程。因而，可以協(xié)同地組合操作中的安全性和高用戶便利性。

進(jìn)一步示例性實(shí)施例的說明

在下文中，將解釋測量設(shè)備、測試裝置、接口組件和方法的進(jìn)一步的示例性實(shí)施例。

在本申請的環(huán)境中，術(shù)語“待測器件”(DUT)可以特別地表示電子組件，例如在制造后應(yīng)相關(guān)于其所希望的功能進(jìn)行測試的半導(dǎo)體封裝。具體而言，待測器件可以是被配置為功率半導(dǎo)體的電子部件，具體而言，用于汽車應(yīng)用。這種被側(cè)器件會(huì)需要在寬溫度范圍上的電氣測試，包括高溫和/或包括高電壓和/或高電流電測試信號的施加。

在本申請的環(huán)境中，術(shù)語“高電流電測試信號”可以特別地表示具有大于1安培電流值的電測試信號，具體而言至少4安培，更具體地，至少10安培。

在本申請的環(huán)境中，術(shù)語“高溫條件”可以特別地表示在測試過程中高于環(huán)境溫度的溫度的存在，其可以通過加熱來獲得。這個(gè)高溫可以是高 于80℃的溫度，具體而言，高于140℃。這種測試溫度需要用于特定測試，例如用以確保待測器件與例如汽車應(yīng)用的特定應(yīng)用的要求的兼容性。

在實(shí)施例中，機(jī)殼和連接器被配置用于通過將連接器連接到機(jī)殼并致動(dòng)機(jī)殼的致動(dòng)機(jī)構(gòu)來裝配，其在第一接口構(gòu)件與第二接口構(gòu)件之間同時(shí)建立了導(dǎo)電連接。這是非常簡單的過程，甚至可以由不具有專業(yè)技術(shù)的用戶來執(zhí)行。連接器與機(jī)殼的內(nèi)部結(jié)構(gòu)可以是使得僅僅是用戶的致動(dòng)機(jī)構(gòu)的致動(dòng)就完成在機(jī)殼與連接器之間的裝配過程。

在實(shí)施例中，致動(dòng)機(jī)構(gòu)包括杠桿機(jī)構(gòu)。用戶致動(dòng)杠桿的簡單且直觀的過程足以將連接器安裝到機(jī)殼。

在實(shí)施例中，杠桿機(jī)構(gòu)包括可由用戶繞軸旋轉(zhuǎn)的杠桿、傾斜元件和運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，用于將杠桿的繞軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為傾斜元件的縱向運(yùn)動(dòng)，其中，連接器包括沿傾斜元件運(yùn)動(dòng)的突起，從而在繞軸旋轉(zhuǎn)杠桿后將連接器鎖定到機(jī)殼(通過朝向機(jī)殼抬高連接器)。在這個(gè)結(jié)構(gòu)中，用戶僅需繞軸旋轉(zhuǎn)杠桿以裝配機(jī)殼和連接器。這會(huì)觸發(fā)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)(例如具有與副齒輪協(xié)同配合的齒輪的聯(lián)桿)，將(桿和剛性耦合到桿的齒輪的)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為(副齒輪)縱向運(yùn)動(dòng)。這個(gè)縱向運(yùn)動(dòng)又會(huì)縱向移動(dòng)傾斜元件(例如與副齒輪剛性耦合的斜楔)，從而迫使連接器的突起由傾斜元件推動(dòng)并沿傾斜元件向上運(yùn)動(dòng)。這又向上移動(dòng)連接器，從而在連接連接器與機(jī)殼的同時(shí)在協(xié)同配合的接口構(gòu)件之間建立接合。這個(gè)機(jī)構(gòu)是故障魯棒的且用戶易于操作。

在實(shí)施例中，致動(dòng)機(jī)構(gòu)被配置用于通過在致動(dòng)后朝向機(jī)殼抬高連接器而在第一接口構(gòu)件與第二接口構(gòu)件之間建立導(dǎo)電連接。因而，為了建立在協(xié)同配合的接口構(gòu)件之間的電連接和在機(jī)殼與連接器之間的機(jī)械連接僅需執(zhí)行一個(gè)過程。

在實(shí)施例中，致動(dòng)機(jī)構(gòu)被配置為使得在裝配了機(jī)殼與連接器之后的致動(dòng)機(jī)構(gòu)的位置，致動(dòng)禁止元件禁止致動(dòng)機(jī)構(gòu)的進(jìn)一步致動(dòng)，除非致動(dòng)禁止元件又被用戶禁用。這個(gè)致動(dòng)禁止元件充當(dāng)安全機(jī)構(gòu)，針對致動(dòng)機(jī)構(gòu)的無意反致動(dòng)導(dǎo)致的不希望出現(xiàn)的連接器與機(jī)殼的拆卸(具體而言，在測試執(zhí)行過程中)。在測量設(shè)備的裝配(優(yōu)選地不是拆卸)狀況下，致動(dòng)禁止元件可以禁止致動(dòng)機(jī)構(gòu)的進(jìn)一步致動(dòng)，以使得用戶在能夠從機(jī)殼拆卸連接器之前，必須有意地克服或停用致動(dòng)禁止元件的功能。這額外地改進(jìn)了測量設(shè) 備的操作安全性，因?yàn)樗乐沽嗽跍y試裝置的操作過程中不希望出現(xiàn)的拆卸。

在實(shí)施例中，連接器包括突起，被配置用于可通過致動(dòng)致動(dòng)機(jī)構(gòu)而移動(dòng)，從而將連接器裝配到機(jī)殼。這個(gè)突起例如可以是在連接器的滾珠支承結(jié)構(gòu)(或者多個(gè)滾珠支承結(jié)構(gòu))，可以由機(jī)殼的致動(dòng)機(jī)構(gòu)借助以下機(jī)制來致動(dòng)。例如，一個(gè)或多個(gè)突起可以構(gòu)成連接器的安裝底座的部分，在其上安裝第二接口構(gòu)件。這個(gè)安裝底座可以垂直延伸超出連接器的安裝板。

在實(shí)施例中，測量設(shè)備包括成對相互作用的多個(gè)第一接口構(gòu)件和多個(gè)第二接口構(gòu)件，用于建立從容座到測試插頭的導(dǎo)電連接。例如，待測器件容座可以位于連接器的中央下部，可以由位于連接器的外圍上部的兩個(gè)或多個(gè)(具體而言，四個(gè))第一接口構(gòu)件圍繞。這允許有效地使用可用空間，同時(shí)施加多個(gè)電測試(或激勵(lì))信號，以及響應(yīng)于電測試信號的DUT中產(chǎn)生的多個(gè)響應(yīng)信號的處理。例如，四個(gè)第一接口構(gòu)件可以設(shè)置在連接器的矩形安裝板的四角。這個(gè)架構(gòu)允許緊湊的設(shè)計(jì)，同時(shí)允許將許多個(gè)測試信號施加到待測器件的多個(gè)端子。

在實(shí)施例中，測量設(shè)備包括至少一個(gè)另外的可調(diào)換式連接器，其中，多個(gè)連接器中的每一個(gè)都被配置為與機(jī)殼可調(diào)換地裝配(但一次僅一個(gè))，且每一個(gè)都被配置用于可電耦合到不同類型的待測器件。因此，對于要測試的每一類DUT，可以提供相應(yīng)配置的連接器，其可以與同一個(gè)機(jī)殼組合，以便執(zhí)行特定的測試。機(jī)殼和多個(gè)連接器中的每一個(gè)都可以被配置用于在將多個(gè)連接器的相應(yīng)的一個(gè)與機(jī)殼裝配后，建立從待測器件容座到機(jī)殼的導(dǎo)電連接。因此，可以提供單一機(jī)殼和多個(gè)不同連接器的構(gòu)成集合，其中，取決于相應(yīng)的DUT，可以選擇連接器中相應(yīng)的一個(gè)并與機(jī)殼連接。這減少了測量設(shè)備所需的儲(chǔ)存容量和材料資源方面所需的資源。

在實(shí)施例中，測量設(shè)備進(jìn)一步包括至少一個(gè)另外的機(jī)殼，其中，多個(gè)機(jī)殼中的每一個(gè)都被配置用于支持待測器件的相應(yīng)的一個(gè)(或多個(gè))不同類型的測試。另外，測量設(shè)備可以進(jìn)一步包括至少一個(gè)另外的可調(diào)換式連接器。多個(gè)連接器中的每一個(gè)可以被配置用于支持待測器件的相應(yīng)的一個(gè)(或多個(gè))不同類型的測試，可以被配置為可與相應(yīng)的一個(gè)機(jī)殼可調(diào)換地裝配，可以被配置用于當(dāng)待測器件位于相應(yīng)的連接器的待測器件容座時(shí)， 按照相應(yīng)的連接器和相應(yīng)的機(jī)殼所支持的相應(yīng)的一個(gè)不同類型的測試，電耦合到受測試的待測器件。因此，對于要測試的特定DUT的每一類測試，可以組合模塊化系統(tǒng)的相應(yīng)配置的機(jī)殼和相應(yīng)配置的連接器。這允許通過靈活組合(多個(gè))連接器與(多個(gè))機(jī)殼的匹配對，以有效的方式管理不同種類待測器件的多個(gè)不同種類的測試。

在實(shí)施例中，測量設(shè)備包括一個(gè)或多個(gè)電耦合元件，將第一接口構(gòu)件與測試插頭電耦合，并將第二接口構(gòu)件與容座電耦合。這個(gè)電耦合元件可以包括一條或多條電纜，具體而言，一個(gè)電纜連接將第一接口構(gòu)件與測試插頭電耦合，另一個(gè)電纜連接將第二接口構(gòu)件與容座電耦合。由此可以完成從待測器件到測試裝置的不間斷的電耦合。

在實(shí)施例中，高溫條件與至少100℃的溫度相關(guān)，具體而言，至少140℃。例如，接口組件可以適于高達(dá)150℃的測試溫度，因此可以滿足大功率汽車應(yīng)用的特定要求。

在實(shí)施例中，高電流電測試信號與至少4安培的測試電流相關(guān)，具體而言，至少10安培。例如，接口組件可以適于使用高達(dá)20安培的信號電流的測試，因此可以滿足大功率汽車應(yīng)用的特定要求。

在實(shí)施例中，第一承載器結(jié)構(gòu)和第二承載器結(jié)構(gòu)至少一個(gè)包括基于織物(fabric-based)的塑料或?qū)訅豪w維，具體而言，包括嵌入到樹脂基質(zhì)中的纖維。纖維與樹脂的這個(gè)組合可以滿足上述高溫和高電流要求。

在實(shí)施例中，第一接口構(gòu)件與第二接口構(gòu)件中的至少一個(gè)配備了蠕變電流路徑延長部件。具體而言，在高電壓和/或高電流測試信號的情況下，在不希望出現(xiàn)的情況下會(huì)發(fā)生蠕變電流在需要保持彼此電隔離的接口構(gòu)件的端子之間流動(dòng)。這可以導(dǎo)致接口組件或整個(gè)測量設(shè)備的故障。但在采取特定預(yù)防措施(例如在幾何適應(yīng)性和/或材料選擇方面)以增大在這種不同端子之間的蠕變電流流動(dòng)路徑的長度時(shí)，可以顯著減小由于蠕變電流的故障風(fēng)險(xiǎn)。

在實(shí)施例中，將蠕變電流路徑延長部件構(gòu)成為在第一承載器結(jié)構(gòu)與第二承載器結(jié)構(gòu)中的至少一個(gè)的至少一個(gè)主表面部分中的至少一個(gè)杯狀凹槽，以使得當(dāng)一個(gè)或多個(gè)第一插針和一個(gè)或多個(gè)第二插針中相應(yīng)的一個(gè)嵌入第一承載器結(jié)構(gòu)與第二承載器結(jié)構(gòu)中相應(yīng)的一個(gè)中時(shí)，相應(yīng)的杯狀凹槽 周向隔開與相應(yīng)的承載器結(jié)構(gòu)的相應(yīng)的表面部分中的相應(yīng)插針相關(guān)的相應(yīng)的承載器結(jié)構(gòu)。具體而言，協(xié)同配合的接口構(gòu)件的每一個(gè)承載器結(jié)構(gòu)可以具有杯狀凹槽，其中可以設(shè)置相應(yīng)的插針，但在承載器結(jié)構(gòu)的外部主表面部分中保留(例如中空圓柱形)間隙。這顯著增大了(要防止的)蠕變電流為了短路不同插針而必須沿著流動(dòng)的路徑長度。

在實(shí)施例中，一個(gè)或多個(gè)第二插針包括彈性支承結(jié)構(gòu)，具體而言，基于彈簧的支承結(jié)構(gòu)，被配置用于實(shí)現(xiàn)軸向平衡運(yùn)動(dòng)。這允許在連接器和機(jī)殼的接口構(gòu)件彼此連接時(shí)插針的軸向平衡運(yùn)動(dòng)。因此可以可靠地抑制接口構(gòu)件的連接上的由于輕微的位置失配的不希望出現(xiàn)的機(jī)械載荷。此外，由于彈性支承結(jié)構(gòu)，至少一個(gè)第二插針可以相對于相應(yīng)的至少一個(gè)第一插針偏斜，從而進(jìn)一步促使在第一插針與第二插針之間的可靠彈性連接。具體而言，第二插針可以被配置為彈簧插針。

在實(shí)施例中，第一承載器結(jié)構(gòu)中的第一插針包括浮動(dòng)支承結(jié)構(gòu)，被配置用于實(shí)現(xiàn)徑向平衡運(yùn)動(dòng)。因而，同樣在垂直于連接接口構(gòu)件所沿著的嵌入方向的平面中，可以實(shí)現(xiàn)插針的特定間隙或空間平衡運(yùn)動(dòng)。通過采取這個(gè)措施，可以減小作用在接口組件上的機(jī)械載荷，從而防止即使與多個(gè)不同連接器的機(jī)殼重復(fù)使用情況下的損壞。

在實(shí)施例中，一個(gè)或多個(gè)插針包括漸縮端部，例如箭頭形漸縮端部。具體而言，漸縮端部可以具有多個(gè)單獨(dú)的接觸面，被配置用于可逆地接合到一個(gè)或多個(gè)第一插針中相應(yīng)的一個(gè)的筒狀端部中。通過以(例如圓錐形)漸縮端部配置一個(gè)或多個(gè)第二插針的頭部，可以增大電接觸面，從而改進(jìn)在協(xié)同配合的插針之間的電連接的可靠性。更優(yōu)選的是具有多個(gè)分離接觸面(例如皇冠形狀的)的第二插針的頭部的結(jié)構(gòu)，優(yōu)選地具有在相鄰接觸面之間的邊緣，因?yàn)檫@進(jìn)一步增大了面積并確保了非常可靠的電耦合。

在實(shí)施例中，第一接口構(gòu)件和第二接口構(gòu)件被配置為在將連接器與機(jī)殼裝配后(及在至少一個(gè)第一插針與至少一個(gè)第二插針之間建立導(dǎo)電連接后)由在第一承載器結(jié)構(gòu)與第二承載器結(jié)構(gòu)之間的預(yù)定距離保持隔開。這個(gè)間隔有助于抑制蠕變電流，它即使在機(jī)殼與連接器處于第一插針與第二插針之間的鎖定條件下也可以保持。

在實(shí)施例中，接口組件包括定位螺栓，被配置用于接合到第一接口構(gòu) 件與第二接口構(gòu)件的每一個(gè)的相應(yīng)定位凹槽中，以使得第一接口構(gòu)件與第二接口構(gòu)件的裝配僅在定位螺栓延伸到兩個(gè)接口構(gòu)件的定位凹槽中的位置中時(shí)才能夠?qū)崿F(xiàn)。有利地，定位凹槽僅于在連接器與機(jī)殼之間的鎖定條件下彼此并置的接口構(gòu)件的表面部分中形成。當(dāng)正確安裝兩個(gè)接口構(gòu)件時(shí)，定位螺栓接合兩個(gè)定位凹槽，允許在接口構(gòu)件之間的耦合。但如果一個(gè)接口構(gòu)件的安裝位置不正確，定位螺栓就緊靠著一個(gè)接口構(gòu)件的外表面，禁止在接口構(gòu)件之間的耦合。

依據(jù)結(jié)合附圖的以下說明和所附權(quán)利要求書，以上及其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)會(huì)變得顯而易見，在附圖中相似的部分或元件由相似的參考標(biāo)記來表示。

附圖說明

包括附圖以便提供示例性實(shí)施例的進(jìn)一步的理解，其構(gòu)成說明書的一部分，例示了示例性實(shí)施例。

在附圖中：

圖1顯示了根據(jù)示例性實(shí)施例的測量設(shè)備的三維視圖。

圖2顯示了可用于圖1的測量設(shè)備的可調(diào)換式連接器的三維視圖。

圖3A和3B顯示了圖1的測量設(shè)備的機(jī)殼的三維視圖。

圖4顯示了處于連接器與機(jī)殼的鎖定狀態(tài)中的圖1的測量設(shè)備與圖2的連接器的三維底視圖。

圖5顯示了處于連接器與機(jī)殼的未鎖定狀態(tài)中的圖1的測量設(shè)備與圖2的連接器的三維底視圖。

圖6到圖8顯示了根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的相應(yīng)的接口構(gòu)件的三維視圖和橫截面視圖。

圖9顯示了根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的處于裝配狀態(tài)中的兩個(gè)接口構(gòu)件的接口組件。

圖10顯示了處于未裝配狀態(tài)中的圖9的接口組件。

圖11A和圖11B顯示了根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的測試裝置的圖示說明。

具體實(shí)施方式

附圖中的圖示說明是示意性的，沒有按照比例。

在參考附圖更詳細(xì)說明示例性實(shí)施例之前，將基于已經(jīng)揭示的示例性實(shí)施例概括一些總則。

根據(jù)示例性實(shí)施例，提供了具有協(xié)同配合的接口構(gòu)件(其也可以僅表示為接口塊)的接口組件，其能夠以高電壓(具體而言高達(dá)6kV或更高)和/或高電流(具體而言高達(dá)24安培或更高)和/或高溫(具體而言高達(dá)150℃或更高)操作。這個(gè)接口組件能夠在測量設(shè)備(例如測量頭)中的高溫下與可調(diào)換式連接器傳送高電壓和高電流信號。

根據(jù)示例性實(shí)施例的相應(yīng)測量設(shè)備可以由機(jī)殼與具有快速變化功能的連接器組成。因而，一個(gè)連接器被另一類的另一個(gè)連接器調(diào)換是可能的(例如允許僅提供一個(gè)機(jī)殼，具有不同連接器，用于支持不同類型待測器件的測試，例如不同尺寸、不同端子數(shù)量、不同功能的DUT等)。一個(gè)機(jī)殼與多個(gè)連接器的這個(gè)構(gòu)成集合是緊湊型解決方案，其減小了提供與組成多個(gè)測量設(shè)備所需的儲(chǔ)存容量和費(fèi)用。

還可以提供多個(gè)機(jī)殼與多個(gè)連接器的模塊化系統(tǒng)，它們可以按照在考慮到要測試的相應(yīng)DUT時(shí)要執(zhí)行的特定類型的測試來配對。例如這允許選擇性地組合機(jī)殼與連接器，以支持靜態(tài)測試(及隨后起到靜態(tài)測試測量設(shè)備的作用)或者Iso測試(及隨后起到Iso測量設(shè)備的作用)。

圖1顯示了根據(jù)示例性實(shí)施例的測量設(shè)備100的三維視圖。圖2顯示了可用于圖1的測量設(shè)備100的可調(diào)換式連接器108的三維視圖。圖3A和3B顯示了圖1的測量設(shè)備100的機(jī)殼102的三維視圖。圖4顯示了處于連接器108與機(jī)殼102的連接狀態(tài)中的圖1的測量設(shè)備100與圖2的連接器108的三維底視圖。圖5顯示了處于連接器108與機(jī)殼102的未連接狀態(tài)中的圖1的測量設(shè)備100與圖2的連接器108的三維底視圖。

測量設(shè)備100由兩個(gè)模塊組成，即，機(jī)殼102和可調(diào)換式連接器108(其可以由另一個(gè)可調(diào)換式連接器108(未示出)調(diào)換)。測量設(shè)備100被配置用于與以下進(jìn)一步詳細(xì)說明的圖11A和圖11B所示的測試器械1150協(xié)同配合，容納且電接觸要測試的待測器件150(例如混合封裝模塊，例如用于汽車應(yīng)用)。在這個(gè)測試過程中，待測器件150可以由測試器械1150 饋送到測量設(shè)備100的開放底部，在此，待測器件150的一個(gè)或多個(gè)電氣端子可以由在連接器108的待測器件容座112的相應(yīng)端子接觸。

測量設(shè)備100可以由單一機(jī)殼102和具有不同結(jié)構(gòu)的多個(gè)可調(diào)換式連接器108組成，例如每一個(gè)可調(diào)換式連接器108都被配置用于測試不同類型的待測器件150，其中，一次將一個(gè)連接器108安裝在機(jī)殼102上。還可以將多個(gè)機(jī)殼102之一與多個(gè)連接器108之一組合以使得模塊化系統(tǒng)與不同測試方案或協(xié)議兼容，例如，根據(jù)不同電測試信號和/或諸如溫度的不同測試條件。

機(jī)殼102包括第一接口構(gòu)件104，當(dāng)測試器械1150連接到(在所示的實(shí)施例三中)機(jī)殼102的測試插頭106時(shí)第一接口構(gòu)件104可以電耦合到測試器械1150。第一接口構(gòu)件104以浮動(dòng)方式容納在機(jī)殼102的框架188。對于特定測試(例如Iso測試)，單一測試插頭106就足夠了。但對于其他測試(例如具有高電流或低電流的靜態(tài)測試)，可以提供兩個(gè)、三個(gè)或更多個(gè)測試插頭106。

可調(diào)換連接到108被配置為與機(jī)殼102可調(diào)換地裝配，包括多個(gè)第二接口構(gòu)件110(對應(yīng)于第一接口構(gòu)件104的數(shù)量，在所示的實(shí)施例四中)，當(dāng)位于連接器108的待測器件容座112時(shí)，第二接口構(gòu)件110可電耦合到待測器件150。第一接口構(gòu)件104的數(shù)量與第二接口構(gòu)件110的數(shù)量通常與相應(yīng)的第一接口構(gòu)件104和相應(yīng)第二接口構(gòu)件110的一對一分配相同。

第一接口構(gòu)件104和第二接口構(gòu)件110被配置用于在將連接器108與機(jī)殼102裝配后，建立從待測器件容座112到測試插頭106的導(dǎo)電連接。換句話說，借助在機(jī)殼102與連接器108之間的機(jī)械裝配過程，在單一過程中同時(shí)建立在接口構(gòu)件104、110之間的適應(yīng)高電流的電連接。

機(jī)殼102與連接器108被配置用于通過將連接器108從底側(cè)連接到機(jī)殼102，隨后致動(dòng)機(jī)殼102的基于杠桿的致動(dòng)機(jī)構(gòu)114，從而將連接器108鎖定到機(jī)殼102來裝配(參見圖4和圖5)。借助這個(gè)過程，同時(shí)建立在第一接口構(gòu)件104與第二接口構(gòu)件110之間的導(dǎo)電連接，即，這個(gè)過程還使得第一接口構(gòu)件104進(jìn)入導(dǎo)電接合狀態(tài)。

在圖3A、圖3B、圖4和圖5中最清楚見到的基于杠桿的致動(dòng)機(jī)構(gòu)114包括杠桿116，可以由用戶手動(dòng)繞軸旋轉(zhuǎn)，以便將測量設(shè)備100在機(jī)殼102 與連接器108之間的鎖定或裝配狀態(tài)(參見圖4)和機(jī)殼102與連接器108之間的分離或拆卸狀態(tài)(參見圖5)之間轉(zhuǎn)換。致動(dòng)機(jī)構(gòu)114的其他組件是傾斜元件118，例如楔形體，和運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)120，用于將杠桿116的繞軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為傾斜元件118的縱向運(yùn)動(dòng)。運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)120包括聯(lián)桿160，剛性連接到杠桿116，具有周向鋸齒端162。當(dāng)杠桿116繞軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，聯(lián)桿160與其鋸齒端162一起旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)的鋸齒端162的齒又接合副齒輪164的齒。因而，副齒輪164與傾斜元件118一起縱向運(yùn)動(dòng)。結(jié)果，圖2中最清楚見到的連接器108的各突起122(例如滾球支承結(jié)構(gòu))沿傾斜元件118運(yùn)動(dòng)，從而按照從動(dòng)原理使連接器108在空間上接近機(jī)殼102。這同樣在圖3中可以見到，在此，以參考標(biāo)記122’示意性指示了突起122的大致位置，且在此，以雙箭頭300指示了連接傾斜元件118與副齒輪164的聯(lián)結(jié)體302的縱向運(yùn)動(dòng)。因而，各突起122被配置用于可以通過致動(dòng)致動(dòng)機(jī)構(gòu)114而運(yùn)動(dòng)，從而將連接器108裝配到機(jī)殼102。簡言之，繞軸旋轉(zhuǎn)杠桿116導(dǎo)致連接器108朝向機(jī)殼102的抬升，從而迫使接口構(gòu)件104、110進(jìn)入與彼此接合狀態(tài)，以便建立電連接。

另外，致動(dòng)機(jī)構(gòu)114被配置為在將機(jī)殼102與連接器108裝配后的致動(dòng)機(jī)構(gòu)114的位置中，使得致動(dòng)禁止元件176禁止致動(dòng)機(jī)構(gòu)114進(jìn)一步的致動(dòng)，除非致動(dòng)禁止元件176由用戶主動(dòng)禁用。因而，當(dāng)測量設(shè)備100處于如圖5所示的機(jī)殼102與連接器108之間的未連接狀況中時(shí)，用戶可以自由地致動(dòng)杠桿116，以將測量設(shè)備100轉(zhuǎn)換為如圖4所示的機(jī)殼102與連接器108之間的連接狀況，無需克服致動(dòng)禁止元件176。因而，裝配過程對于用戶非常直觀。但當(dāng)測量設(shè)備100處于如圖4所示的連接或鎖定狀況中時(shí)，致動(dòng)禁止元件176充當(dāng)針對不希望出現(xiàn)的測量設(shè)備100的拆卸的安全機(jī)構(gòu)，其例如在測試過程中會(huì)是危險(xiǎn)的。因此，為了將測量設(shè)備100從圖4所示的狀態(tài)轉(zhuǎn)換為圖5所示的狀態(tài)，用戶在能夠?qū)C(jī)殼102與連接器108彼此分離(例如以另一個(gè)連接器108替換連接器108以重新調(diào)整測量設(shè)備100用于隨后的其他測試)之前，首先必須克服由致動(dòng)禁止元件176提供的保護(hù)機(jī)構(gòu)。

因而，連接器108處于圖4中的鎖定到機(jī)殼102的位置中和處于圖5中的與機(jī)殼102未鎖定的位置中。為了將連接器108安裝到機(jī)殼102，將機(jī) 殼102顛倒放置或旋轉(zhuǎn)180℃，如圖4和圖5中所示的。隨后，將希望的連接器108嵌入機(jī)殼102的嵌入凹槽中。在這個(gè)條件下，彈簧插針處于松散、無偏斜狀態(tài)中。隨后，將杠桿116繞軸旋轉(zhuǎn)180℃，以使得突起122沿傾斜元件118移動(dòng)，從而通過將連接器108鎖定到機(jī)殼102而完成聯(lián)結(jié)過程。

借助上述用于機(jī)殼102和連接器108的裝配過程，從布置在連接器108的待測器件容座112的待測器件150的一個(gè)或多個(gè)端子，經(jīng)由在待測器件容座112的一個(gè)或多個(gè)端子，經(jīng)由在待測器件容座112與第二接口構(gòu)件110之間的一個(gè)或多個(gè)電耦合元件126(例如通過焊接連接的電纜)，從第二接口構(gòu)件110到第一接口構(gòu)件104，及經(jīng)由在第一接口構(gòu)件104與一個(gè)或多個(gè)測試插頭106之間的一個(gè)或多個(gè)另外的電耦合元件166(例如通過焊接連接的電纜)的不間斷導(dǎo)電連接路徑。因而，可以提供可以體現(xiàn)為電連接電纜的電耦合元件126、166，用于將第一接口構(gòu)件104與測試插頭106電耦合，并將第二接口構(gòu)件110與容座112電耦合。

如圖2中最清楚見到的，連接器108可以基于平面支撐板170上，平面支撐板170例如可以由基于織物的塑料制成(例如樹脂和玻璃纖維的混合物)，能夠經(jīng)受例如高達(dá)150℃的高溫和/或例如高達(dá)10安培的高電流值。多個(gè)通孔172可以形成于支撐板170中。此外，多個(gè)安裝結(jié)構(gòu)174可以形成于支撐板170上，并垂直延伸超出支撐板170，其中，每一個(gè)安裝結(jié)構(gòu)174可以被配置用于在露出位置承載相應(yīng)的一個(gè)第二接口構(gòu)件110，從而增進(jìn)與相應(yīng)第一接口構(gòu)件104的連接性。

再次參考圖2，可以將銘牌190擰緊到支撐板170。而且，參考標(biāo)記192指示存在具有高電流連接能力的20個(gè)端子，參考標(biāo)記196指示存在具有高電流連接能力的85個(gè)端子。參考標(biāo)記194顯示各第二接口構(gòu)件110到在測試過程中接觸待測器件150的彈簧插針的單獨(dú)布線。參考標(biāo)記122顯示四個(gè)突起(圖2中僅可以見到2個(gè))，體現(xiàn)為滾珠支承結(jié)構(gòu)，用于如杠桿機(jī)構(gòu)114完成的將連接器108抬高并鎖定到機(jī)殼102。

再次參考圖3A，杠桿116顯示為處于對應(yīng)于圖4的關(guān)閉位置。它可以借助繞軸旋轉(zhuǎn)180℃轉(zhuǎn)換為打開位置。

再次參考圖3B，參考標(biāo)記302指示存在具有高電流連接能力的2x 20個(gè)端子，參考標(biāo)記304指示存在具有高電流連接能力的2x 85個(gè)端子。如 參考標(biāo)記306所指示的，提供連接器標(biāo)識(shí)單元，其能夠在耦合到機(jī)殼102時(shí)自動(dòng)識(shí)別各連接器108。

圖6到圖8每一個(gè)都顯示了各接口組件600的三維視圖和橫截面視圖，每一個(gè)都由根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的相互協(xié)同配合的可逆連接或拆卸的接口構(gòu)件104、110組成。

根據(jù)圖6的接口組件600包括第一接口構(gòu)件104(其可以構(gòu)成機(jī)殼102的部分)，它又由電絕緣的第一承載器結(jié)構(gòu)602和多個(gè)導(dǎo)電第一插針604構(gòu)成，第一插針604延伸通過第一承載器結(jié)構(gòu)602的部分，并以矩陣樣式排列，即行和列。此外，接口組件600包括第二接口構(gòu)件110(其可以構(gòu)成與機(jī)殼102裝配的連接器108的部分)，它又包括電絕緣第二承載器結(jié)構(gòu)606和一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電第二插針608，第二插針608延伸通過整個(gè)第二承載器結(jié)構(gòu)606。第一接口構(gòu)件104和第二接口構(gòu)件110被配置用于在將連接器108與機(jī)殼102裝配后，在第一插針604之一與第二插針608之間建立導(dǎo)電連接。圖6顯示了建立這個(gè)電耦合的結(jié)構(gòu)，參見圖6下部的右側(cè)。

第一接口構(gòu)件104和第二接口構(gòu)件110被配置為經(jīng)受高溫條件(例如高達(dá)150℃)下高電流電測試信號(例如在幾千伏電壓的幾安培電流)的施加。第一承載器結(jié)構(gòu)602和第二承載器結(jié)構(gòu)606都由基于織物的塑料構(gòu)成，包括嵌入到樹脂基質(zhì)中的纖維，能夠經(jīng)受150℃和幾安培的電流，而不會(huì)退化。

如可以從圖6了解到的，第一接口構(gòu)件104和第二接口構(gòu)件110配備了蠕變電流路徑延長部件610，體現(xiàn)為在第一承載器結(jié)構(gòu)602和第二承載器結(jié)構(gòu)606二者的兩個(gè)相對主表面部分中的多個(gè)杯狀凹槽612。因此，當(dāng)?shù)谝徊遽?04和第二插針608分別嵌入第一承載器結(jié)構(gòu)602和第二承載器結(jié)構(gòu)606中時(shí)，杯狀凹槽612相關(guān)于相應(yīng)的插針604、608周向間隔相應(yīng)的承載器結(jié)構(gòu)602、606。這可以在圖6的下方圖像中最清楚地見到。當(dāng)不希望出現(xiàn)的蠕變電流趨向于例如從一個(gè)插針604沿第一電介質(zhì)承載器602的表面流到另一個(gè)插針604時(shí)，杯狀凹槽612的存在顯著增大了蠕變電流為了非有意地短路第一插針604的不同的一個(gè)而必須沿著流動(dòng)的流徑的長度。

圖6中的上方圖像示意性地顯示了定位螺栓614，其被配置用于接合到第一接口構(gòu)件104和第二接口構(gòu)件110的每一個(gè)的對應(yīng)的定位凹槽616中， 以使得第一接口構(gòu)件104和第二接口構(gòu)件110的裝配僅在定位螺栓614延伸到兩個(gè)定位凹槽616中的位置中才能夠?qū)崿F(xiàn)。因而，定位螺栓614的存在使得在機(jī)械上不可能錯(cuò)誤地裝配接口構(gòu)件104、110。在用戶將第二接口構(gòu)件610錯(cuò)誤地安裝到安裝底座174上的情形中(例如與正確安裝位置相比，旋轉(zhuǎn)了180℃)，定位螺栓614阻止了接口構(gòu)件104、110在不正確位置中的裝配。僅在相互的位置正確時(shí)，參見圖6，且定位凹槽616彼此對準(zhǔn)或平齊時(shí)，定位螺栓614才能夠延伸通過這兩個(gè)定位凹槽616。

此外，提供了支承結(jié)構(gòu)螺栓620，其起作用用于以特定間隙固定接口構(gòu)件104、110。盡管允許接口構(gòu)件104、110在垂直于支承結(jié)構(gòu)螺栓620的平面中實(shí)現(xiàn)特定的平衡運(yùn)動(dòng)，但支承結(jié)構(gòu)螺栓620限制了這個(gè)平衡運(yùn)動(dòng)，從而使得接口構(gòu)件104、110居中。

而且，第一安裝元件630允許將第一接口構(gòu)件104安裝(例如借助擰緊)到機(jī)殼102，第二安裝元件640允許將第二接口構(gòu)件110安裝(例如借助擰緊)到連接器108。

圖6顯示了接口構(gòu)件104、110，被配置用于實(shí)現(xiàn)靜態(tài)高電流測試?？赡艿倪B接數(shù)量是18，最大電壓是2.5kV，最大電流是24安培，最大溫度是150℃，筆劃寬度(用于建立連接)是4mm，在這個(gè)筆劃寬度的接觸力是2.25牛頓每插針。機(jī)殼側(cè)(即第一接口構(gòu)件104的第一承載器結(jié)構(gòu)602中的第一插針604)具有浮動(dòng)支承結(jié)構(gòu)，而連接器側(cè)(即第二接口構(gòu)件110的第二承載器結(jié)構(gòu)606)具有固定支承結(jié)構(gòu)。

圖7的實(shí)施例與根據(jù)圖6的實(shí)施例不同，具體在于，根據(jù)圖7，接口構(gòu)件104、110被配置用于實(shí)現(xiàn)靜態(tài)低電流測試。根據(jù)圖7，可能的連接數(shù)量是85，最大電壓是2.5kV，最大電流是4安培，最大溫度是150℃，筆劃寬度(用于建立連接)是4mm，在這個(gè)筆劃寬度的接觸力是2.25牛頓每插針。機(jī)殼或適配器側(cè)具有浮動(dòng)支承結(jié)構(gòu)，而連接器側(cè)具有固定支承結(jié)構(gòu)。

圖8的實(shí)施例與根據(jù)圖6的實(shí)施例不同，具體在于，根據(jù)圖8，接口構(gòu)件104、110被配置用于實(shí)現(xiàn)高電流Iso測試(絕緣測試)。根據(jù)圖8，可能的連接數(shù)量是5或4，最大電壓是6kV或0.5kV，最大電流是24安培或4安培，最大溫度是150℃，筆劃寬度(用于建立連接)是4mm，在這個(gè)筆劃寬度的接觸力是2.25牛頓每插針。機(jī)殼或適配器側(cè)具有浮動(dòng)支承結(jié)構(gòu)， 而連接器側(cè)具有固定支承結(jié)構(gòu)。

圖9顯示了處于裝配狀態(tài)中的根據(jù)圖6到圖8任意一個(gè)的兩個(gè)接口構(gòu)件104、110的接口組件600的詳細(xì)視圖。圖10顯示了處于未裝配狀態(tài)中的圖9的接口組件600，即在承載器結(jié)構(gòu)602、606之間具有較大距離?？梢允菑椈刹遽樀牡诙遽?08包括彈性支承結(jié)構(gòu)，體現(xiàn)為基于彈簧的支承結(jié)構(gòu)，因此被配置用于實(shí)現(xiàn)軸向平衡運(yùn)動(dòng)。這允許接口組件600在插針604、608的軸向(對應(yīng)于根據(jù)圖9的水平方向)上的平衡運(yùn)動(dòng)。此外，嵌入第一承載器結(jié)構(gòu)602中的第一插針604包括浮動(dòng)支承結(jié)構(gòu)，被配置用于實(shí)現(xiàn)徑向平衡運(yùn)動(dòng)。這允許接口組件600在插針604、608的徑向平面(垂直于根據(jù)圖9的水平方向)中的平衡運(yùn)動(dòng)。在每一個(gè)方向上的有限平衡的實(shí)現(xiàn)防止了高機(jī)械載荷，因此防止了在裝配過程中小空間失配情況下的接口組件600破損的危險(xiǎn)。與第二承載器結(jié)構(gòu)606中的第二插針608相反，第一承載器結(jié)構(gòu)602中的第一插針604在軸向上固定支撐，在軸向上不能實(shí)現(xiàn)平衡運(yùn)動(dòng)。與第一承載器結(jié)構(gòu)602中的第一插針604相反，第二承載器結(jié)構(gòu)606中的第二插針608在徑向平面中固定支撐，在徑向平面中不能實(shí)現(xiàn)平衡運(yùn)動(dòng)。

如從圖9可以了解到的及具體在細(xì)節(jié)910處顯示的，第二插針608包括漸縮端部900，具有多個(gè)單獨(dú)的接觸面902，被配置用于可逆地接合到第一插針604中相應(yīng)的一個(gè)的筒狀端部904中。因而，使得在陽型第二插針608與陰型第一插針604(具有筒狀連接部分)之間的接觸面積較大，從而確保了適當(dāng)?shù)碾娊佑|。

如從圖9可以了解到的，第一接口構(gòu)件104和第二接口構(gòu)件110被配置用于在將連接器108與機(jī)殼102裝配后，由在第一承載器結(jié)構(gòu)602和第二承載器結(jié)構(gòu)606之間的預(yù)定距離d保持間隔開。這增進(jìn)了在相應(yīng)的插針604、608之間的電隔離，并抑制了蠕變電流。在圖10的拆卸狀態(tài)中，在第一承載器結(jié)構(gòu)602和第二承載器結(jié)構(gòu)606之間距離大于d。

圖11A和圖11B顯示了根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的測試裝置1180的圖示說明。

測試裝置1180被配置用于測試待測器件150。測試裝置1180包括用于容納并電接觸待測器件150的測量設(shè)備100和在其上安裝了測量設(shè)備100 的測試器械1150。測試器械1150充當(dāng)用于測量設(shè)備100的安裝底座，測量設(shè)備100連接在測試器械1150的頂上。適當(dāng)?shù)目烧{(diào)換式連接器108(根據(jù)要執(zhí)行的測試的類型和/或要測試的DUT的類型而選擇的)預(yù)先按照以上參考圖1到圖5所述的方式已經(jīng)安裝在機(jī)殼102的底部。在開始測試后，測試器械1150將要測試的待測器件150提供或饋送到連接器108的待測器件容座112，并電接觸其端子。例如，待測器件150可以從DUT容器(未示出)經(jīng)由可移動(dòng)承載臺(tái)1160(使用抽吸工藝)輸送到待測器件容座112。換句話說，承載待測器件150的可移動(dòng)承載器1160可以移動(dòng)到測量設(shè)備100的底部，以便使得待測器件150處于與待測器件容座112功能性相互作用的狀態(tài)。隨后，測試器械1150將根據(jù)預(yù)定測試協(xié)議的測試信號施加到相應(yīng)的測試插頭106，由此將電信號傳導(dǎo)到待測器件150的接觸端子。響應(yīng)于這些測試信號的施加，待測器件150產(chǎn)生相應(yīng)的響應(yīng)信號，其又從待測器件150經(jīng)由測量設(shè)備100向測試插頭106傳導(dǎo)，并從測試插頭106傳導(dǎo)到測試器械1150用于信號處理?？梢苿?dòng)承載器1160隨后可以移回，以便將待測器件150從與測量設(shè)備100的功能性相互作用移除。取決于響應(yīng)信號，測試器械1150隨后可以決定待測器件150是通過測試還是未通過測試。測試的結(jié)構(gòu)還可以是測試器械1150將待測器件150傳送回到生產(chǎn)線用于后處理，或者決定必須執(zhí)行與待測器件150的進(jìn)一步測試。

盡管圖11A和圖11B中未示出，但測試器械1150和/或測量設(shè)備100可以被配置用于在測試過程中將待測器件150加熱到相比于環(huán)境溫度(例如20℃)的高溫(例如至少高達(dá)80℃，具體而言高達(dá)150℃)。為此，可以提供相應(yīng)可控的溫度調(diào)整單元(未示出，例如包括加熱器)。

應(yīng)注意，術(shù)語“包括”不排除其他元件或特征，“一”不排除多個(gè)。此外，相關(guān)于不同實(shí)施例所述的元件可以組合。還應(yīng)注意，參考標(biāo)記不應(yīng)解釋為限制權(quán)利要求的范圍。此外，本申請的范圍并非旨在局限于說明書中所述的過程、機(jī)器、制造、物質(zhì)的組成、手段、方法和步驟的具體實(shí)施例。因此，所附權(quán)利要求書旨在將這種過程、機(jī)器、制造、物質(zhì)的組成、手段、方法或步驟包括在其范圍內(nèi)。