本發(fā)明涉及測試的技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種自動測試機(jī)及其對位搬入機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

一般的用于測試面板的測試機(jī)包括自動對位機(jī)構(gòu)和機(jī)械手搬入機(jī)構(gòu)，使面板的自動對位和搬入的動作一起完成。其中，自動對位機(jī)構(gòu)用于對面板進(jìn)行x、y和θ三個自由度的補(bǔ)償以完成ccd對位，機(jī)械手搬入機(jī)構(gòu)用于將已對位的面板由x方向或y方向或z方向搬入測試臺進(jìn)行測試。

上述的自動對位機(jī)構(gòu)設(shè)有y方向運(yùn)動的運(yùn)動副組件以進(jìn)行y自由度的ccd對位調(diào)節(jié)補(bǔ)償動作；機(jī)械手搬入機(jī)構(gòu)也設(shè)有y方向運(yùn)動的運(yùn)動副組件以完成搬入動作，由于自動對位機(jī)構(gòu)和機(jī)械手搬入機(jī)構(gòu)的y方向運(yùn)動的運(yùn)動副組件是各自獨(dú)立的，從而使測試機(jī)的結(jié)構(gòu)復(fù)雜且成本較高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

基于此，有必要針對測試機(jī)的結(jié)構(gòu)復(fù)雜且成本較高的問題，提供一種自動測試機(jī)及其對位搬入機(jī)構(gòu)。

一種對位搬入機(jī)構(gòu)，用于將面板進(jìn)行對位并搬運(yùn)至測試臺，包括：

第一導(dǎo)軌；

機(jī)架，包括機(jī)架本體、第一連接板和第二連接板，所述機(jī)架本體滑動設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上，所述第一連接板滑動連接于所述機(jī)架本體上，所述第二連接板滑動連接于所述第一連接板；

機(jī)械手，用于抓取所述面板；

第一驅(qū)動組件，固定于所述第二連接板上，所述機(jī)械手固定于所述第一驅(qū)動組件的動力輸出端，所述第一驅(qū)動組件驅(qū)動所述機(jī)械手轉(zhuǎn)動；

第二驅(qū)動組件，驅(qū)動所述機(jī)架本體相對于所述第一導(dǎo)軌滑動、驅(qū)動所述第 一連接板相對于所述機(jī)架本體滑動和驅(qū)動所述第二連接板相對于所述第一連接板滑動；以及

ccd組件，對所述機(jī)械手上的面板進(jìn)行數(shù)據(jù)采集；所述第一驅(qū)動組件和/或所述第二驅(qū)動組件根據(jù)所述ccd組件采集的數(shù)據(jù)動作。上述的對位搬入機(jī)構(gòu)，當(dāng)對位搬入機(jī)構(gòu)進(jìn)行ccd對位時，ccd組件對機(jī)械手上的面板進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，根據(jù)ccd組件采集的數(shù)據(jù)，第一驅(qū)動組件驅(qū)動機(jī)械手轉(zhuǎn)動，和/或第二驅(qū)動組件驅(qū)動機(jī)架本體相對于第一導(dǎo)軌滑動和驅(qū)動第二連接板相對于第一連接板滑動，使機(jī)械手抓取的面板的中心移動到與ccd組件相對的位置，最終完成ccd對位；當(dāng)對位搬入機(jī)構(gòu)進(jìn)行搬入的動作時，通過第二驅(qū)動組件的動作將對位好的面板搬運(yùn)至測試臺進(jìn)行檢測，從而實(shí)現(xiàn)面板的ccd對位和高精度的搬入；另外，由于對位搬入機(jī)構(gòu)能夠完成面板的ccd對位和搬入的動作，且對位搬入機(jī)構(gòu)的自動對位機(jī)構(gòu)和機(jī)械手搬入機(jī)構(gòu)集成為一體，使對位搬入機(jī)構(gòu)的整體結(jié)構(gòu)較為緊湊且簡單，同時也降低了測試機(jī)的成本。

在其中一個實(shí)施例中，所述第二驅(qū)動組件包括直線電機(jī)，所述直線電機(jī)包括電機(jī)定子和電機(jī)動子，所述電機(jī)定子平行于所述第一導(dǎo)軌，所述電機(jī)動子滑動連接于所述電機(jī)定子上，且所述機(jī)架本體固定于所述電機(jī)動子上，通過直線電機(jī)驅(qū)動機(jī)架本體移動，可以提高機(jī)架本體的移動精度，從而可以實(shí)現(xiàn)機(jī)械手高精度搬運(yùn)面板。

在其中一個實(shí)施例中，對位搬入機(jī)構(gòu)還包括控制器，所述ccd組件對所述機(jī)械手上的面板進(jìn)行數(shù)據(jù)采集并發(fā)出第一感應(yīng)信號，所述控制器用于根據(jù)所述第一感應(yīng)信號控制所述第一驅(qū)動組件動作和/或所述第二驅(qū)動組件動作，所述控制器分別與所述ccd組件、所述第一驅(qū)動組件和第二驅(qū)動組件通信連接，所述控制器的信號輸入端與所述ccd組件的信號輸出端連接，所述控制器的信號輸出端分別與所述第一驅(qū)動組件和所述第二驅(qū)動組件連接。

在其中一個實(shí)施例中，對位搬入機(jī)構(gòu)還包括磁柵和磁頭，所述磁柵設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌的側(cè)壁上，所述磁頭設(shè)置于所述機(jī)架本體上，且所述磁頭與所述磁柵相對應(yīng)；

所述磁頭與所述控制器通信連接，所述磁頭的信號輸出端與所述控制器的 信號輸入端連接，所述磁頭感應(yīng)所述磁柵并發(fā)出第二感應(yīng)信號，所述控制器根據(jù)所述第二感應(yīng)信號控制所述直線電機(jī)的動作，通過磁頭感應(yīng)磁柵并向控制器發(fā)出感應(yīng)信號，可以精密控制機(jī)架本體相對于第一導(dǎo)軌的滑動。

在其中一個實(shí)施例中，所述第一導(dǎo)軌的數(shù)目為兩個，兩個所述第一導(dǎo)軌分別位于所述電機(jī)定子的兩側(cè)。

在其中一個實(shí)施例中，對位搬入機(jī)構(gòu)還包括第二導(dǎo)軌和第一滑板，所述第一滑板滑動連接于所述第二導(dǎo)軌上，所述第二導(dǎo)軌設(shè)置于所述機(jī)架本體上，所述第一滑板設(shè)置于所述第一連接板上；

所述第二驅(qū)動組件包括第一電機(jī)和第一絲杠，所述第一電機(jī)固定于所述機(jī)架本體上，所述第一電機(jī)的動力輸出端與所述第一絲杠的一端連接，所述第一滑板套接于所述第一絲杠的另一端，使所述第一電機(jī)驅(qū)動所述第一滑板相對于所述第二導(dǎo)軌滑動，第一電機(jī)驅(qū)動第一絲杠轉(zhuǎn)動，由第一絲杠帶動第一滑板相對于第二導(dǎo)軌滑動，可以實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的精密移動。

在其中一個實(shí)施例中，對位搬入機(jī)構(gòu)還包括第一傳感器和第一感應(yīng)片，所述第一傳感器設(shè)置于所述機(jī)架本體上，所述第一感應(yīng)片設(shè)置于所述第一滑板上，且所述第一傳感器能夠感應(yīng)到所述第一感應(yīng)片；

所述第一傳感器的信號輸出端與所述控制器的信號輸入端連接，所述第一傳感器與所述控制器通信連接；

當(dāng)所述第一傳感器感應(yīng)到所述第一感應(yīng)片時，所述第一傳感器發(fā)出第三感應(yīng)信號，所述控制器根據(jù)所述第三感應(yīng)信號控制所述第一電機(jī)動作。

在其中一個實(shí)施例中，對位搬入機(jī)構(gòu)還包括第三導(dǎo)軌和第二滑板，所述第二滑板滑動連接于所述第三導(dǎo)軌上，所述第三導(dǎo)軌設(shè)置于所述第一連接板上，所述第二連接板固定于所述第二滑板上；

所述第二驅(qū)動組件包括第二電機(jī)和第二絲杠，所述第二電機(jī)固定于所述第一連接板上，所述第二電機(jī)的動力輸出端與所述第二絲杠的一端連接，所述第二滑板套接于所述第二絲杠的另一端，使所述第二電機(jī)驅(qū)動所述第二滑板相對于所述第三導(dǎo)軌滑動，第二電機(jī)驅(qū)動第二絲杠轉(zhuǎn)動，由第二絲杠帶動第二滑板相對于第三導(dǎo)軌滑動，可以實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的精密移動。

在其中一個實(shí)施例中，對位搬入機(jī)構(gòu)還包括第二傳感器和第二感應(yīng)片，所述第二傳感器設(shè)置于所述第一連接板上，所述第一感應(yīng)片設(shè)置于所述第二滑板上，且所述第二傳感器能夠感應(yīng)到所述第二感應(yīng)片；

所述第二傳感器的信號輸出端與所述控制器的信號輸入端連接，所述第二傳感器與所述控制器通信連接；

當(dāng)所述第二傳感器感應(yīng)到所述第二感應(yīng)片時，所述第二傳感器發(fā)出第三感應(yīng)信號，所述控制器根據(jù)所述第三感應(yīng)信號控制所述第二電機(jī)動作。

在其中一個實(shí)施例中，所述第一驅(qū)動組件包括第三電機(jī)和減速器，所述第三電機(jī)的動力輸出端與所述減速器的動力輸入端連接，所述機(jī)械手固定于所述減速器的動力輸出端。

一種自動測試機(jī)，包括上述的對位搬入機(jī)構(gòu)。

附圖說明

圖1為一實(shí)施例的自動測試機(jī)的對位搬入機(jī)構(gòu)的立體圖；

圖2為圖1所示對位搬入機(jī)構(gòu)的另一立體圖；

圖3為圖1所示對位搬入機(jī)構(gòu)的俯視圖。

具體實(shí)施方式

為了便于理解本發(fā)明，下面將參照相關(guān)附圖對自動測試機(jī)及其對位搬入機(jī)構(gòu)進(jìn)行更全面的描述。附圖中給出了自動測試機(jī)及其對位搬入機(jī)構(gòu)的首選實(shí)施例。但是，自動測試機(jī)及其對位搬入機(jī)構(gòu)可以以許多不同的形式來實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所描述的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例的目的是使對自動測試機(jī)及其對位搬入機(jī)構(gòu)的公開內(nèi)容更加透徹全面。

除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在自動測試機(jī)及其對位搬入機(jī)構(gòu)的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本發(fā)明。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個或多個相關(guān)的所列項目的任意的和所有的組合。

如圖1、圖2所示，一實(shí)施例的自動測試機(jī)(圖中未示出)包括對位搬入機(jī)構(gòu)1。對位搬入機(jī)構(gòu)1用于將面板2進(jìn)行對位并搬運(yùn)至測試臺(圖中未示出)。對位搬入機(jī)構(gòu)1包括第一導(dǎo)軌10、機(jī)架20、機(jī)械手30、第一驅(qū)動組件40、第二驅(qū)動組件50以及ccd(charge-coupleddevice，電荷耦合元件)組件60。機(jī)架20包括機(jī)架本體22、第一連接板24和第二連接板26，機(jī)架本體22滑動設(shè)置于第一導(dǎo)軌10上，第一連接板24滑動連接于機(jī)架本體22上，第二連接板26滑動連接于第一連接板24。機(jī)械手30用于抓取面板2。第一驅(qū)動組件40固定于第二連接板26上，機(jī)械手30固定于第一驅(qū)動組件40的動力輸出端，第一驅(qū)動組件40驅(qū)動機(jī)械手30轉(zhuǎn)動。在本實(shí)施例中，機(jī)械手30包括吸盤31和轉(zhuǎn)拉板33，吸盤31的一側(cè)固定于轉(zhuǎn)拉板33的一側(cè)，轉(zhuǎn)拉板33的另一側(cè)固定于第一驅(qū)動組件40的動力輸出端，吸盤31的另一側(cè)吸附面板2。機(jī)架本體22沿第一導(dǎo)軌10滑動的方向為x方向。第一連接板24沿機(jī)架本體22滑動的方向垂直于x方向，即為z方向。第二連接板26沿第一連接板24滑動的方向分別垂直于x方向和z方向，即為y方向。

第二驅(qū)動組件50驅(qū)動機(jī)架本體22相對于第一導(dǎo)軌10滑動、驅(qū)動第一連接板24相對于機(jī)架本體22滑動和驅(qū)動第二連接板26相對于第一連接板24滑動。ccd組件60對機(jī)械手30上的面板2進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。在本實(shí)施例中，ccd組件60包括ccd相機(jī)62和調(diào)節(jié)座64，ccd相機(jī)62位于調(diào)節(jié)座64上，通過調(diào)節(jié)座64可以調(diào)節(jié)ccd相機(jī)62的位置和角度。第一驅(qū)動組件40和/或第二驅(qū)動組件50根據(jù)ccd組件60采集的數(shù)據(jù)動作。

本實(shí)施例的對位搬入機(jī)構(gòu)1，當(dāng)對位搬入機(jī)構(gòu)1進(jìn)行ccd對位時，ccd組件60對機(jī)械手30上的面板2進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，根據(jù)ccd組件60采集的數(shù)據(jù)，第一驅(qū)動組件40驅(qū)動機(jī)械手30轉(zhuǎn)動，和/或第二驅(qū)動組件50驅(qū)動機(jī)架本體22相對于第一導(dǎo)軌10滑動和驅(qū)動第二連接板26相對于第一連接板24滑動，使機(jī)械手30抓取的面板2的中心移動到與ccd組件60相對的位置，最終完成ccd對位。當(dāng)對位搬入機(jī)構(gòu)1進(jìn)行搬入的動作時，通過第二驅(qū)動組件50的動作將對位好的面板2搬運(yùn)至測試臺進(jìn)行檢測，從而實(shí)現(xiàn)面板2的ccd對位和高精度的搬入。另外，由于對位搬入機(jī)構(gòu)1能夠完成面板2的ccd對位和搬入的動作， 且對位搬入機(jī)構(gòu)1的自動對位機(jī)構(gòu)和機(jī)械手搬入機(jī)構(gòu)集成為一體，使對位搬入機(jī)構(gòu)1的整體結(jié)構(gòu)較為緊湊且簡單，同時也降低了測試機(jī)的成本。

在其中一個實(shí)施例中，對位搬入機(jī)構(gòu)1還包括控制器(圖中未示出)，控制器用于根據(jù)第一感應(yīng)信號控制第一驅(qū)動組件40動作和/或第二驅(qū)動組件50動作，控制器分別與ccd組件60、第一驅(qū)動組件40和第二驅(qū)動組件50通信連接，控制器的信號輸入端與ccd組件60的信號輸出端連接，控制器的信號輸出端分別與第一驅(qū)動組件40和第二驅(qū)動組件50連接。

如圖1所示，在其中一個實(shí)施例中，第二驅(qū)動組件50包括直線電機(jī)51，直線電機(jī)51包括電機(jī)定子512和電機(jī)動子513，電機(jī)定子512平行于第一導(dǎo)軌10，電機(jī)動子513滑動連接于電機(jī)定子512上，且機(jī)架本體22固定于電機(jī)動子513上，通過直線電機(jī)51驅(qū)動機(jī)架本體22移動，可以提高機(jī)架本體22的移動精度，從而可以實(shí)現(xiàn)機(jī)械手30高精度搬運(yùn)面板2。具體地，在本實(shí)施例中，直線電機(jī)51還包括電機(jī)動子板514，基架本體22固定于電機(jī)動子板514上。電機(jī)動子板514通過滑塊515與第一導(dǎo)軌10滑動連接，使基架本體22與第一導(dǎo)軌10相對滑動。

如圖1所示，在其中一個實(shí)施例中，第一導(dǎo)軌10的數(shù)目為兩個，兩個第一導(dǎo)軌10分別位于電機(jī)定子512的兩側(cè)。具體的，在本實(shí)施例中，兩個第一導(dǎo)軌10和電機(jī)定子512均固定于導(dǎo)軌基座12上，且兩個第一導(dǎo)軌10平行設(shè)置于電機(jī)定子512的兩側(cè)。ccd組件60設(shè)置于導(dǎo)軌基座12的一側(cè)。機(jī)架本體22與電機(jī)動子板514連接，電機(jī)動子板514分別通過滑塊515滑動連接于兩個第一導(dǎo)軌10上，使機(jī)架本體22滑動設(shè)置于第一導(dǎo)軌10上。當(dāng)機(jī)架本體22相對于第一導(dǎo)軌10滑動時，機(jī)架本體22帶動機(jī)械手30沿x方向移動，從而使面板2沿x方向移動。

如圖1所示，在其中一個實(shí)施例中，對位搬入機(jī)構(gòu)1還包括磁柵70和磁頭80，磁柵70設(shè)置于第一導(dǎo)軌10的側(cè)壁上，磁頭80設(shè)置于機(jī)架本體22上，且磁頭80與磁柵70相對應(yīng)。磁頭80與控制器通信連接，磁頭80的信號輸出端與控制器的信號輸入端連接，磁頭80感應(yīng)磁柵70并發(fā)出第二感應(yīng)信號，控制器根據(jù)第二感應(yīng)信號控制直線電機(jī)51的動作，通過磁頭80感應(yīng)磁柵70并向控 制器發(fā)出感應(yīng)信號，可以精密控制機(jī)架本體22相對于第一導(dǎo)軌10的滑動。在其他實(shí)施例中，磁柵70還可以設(shè)置于導(dǎo)軌基座12的側(cè)壁上。

如圖2、圖3所示，在其中一個實(shí)施例中，對位搬入機(jī)構(gòu)1還包括第二導(dǎo)軌90和第一滑板100，第一滑板100滑動連接于第二導(dǎo)軌90上，第二導(dǎo)軌90設(shè)置于機(jī)架本體22上，第一滑板100設(shè)置于第一連接板24上。第二驅(qū)動組件50包括第一電機(jī)52和第一絲杠53，第一電機(jī)52固定于機(jī)架本體22上，第一電機(jī)52的動力輸出端與第一絲杠53的一端連接，第一滑板100套接于第一絲杠53的另一端，使第一電機(jī)52驅(qū)動第一滑板100相對于第二導(dǎo)軌90滑動，第一電機(jī)52驅(qū)動第一絲杠53轉(zhuǎn)動，由第一絲杠53帶動第一滑板100相對于第二導(dǎo)軌90滑動，可以實(shí)現(xiàn)機(jī)械手30的精密移動。在本實(shí)施例中，第一電機(jī)52為伺服電機(jī)。第一電機(jī)52驅(qū)動第一滑板100相對于第二導(dǎo)軌90滑動，從而帶動面板2沿z方向滑動。

如圖1所示，在其中一個實(shí)施例中，對位搬入機(jī)構(gòu)1還包括第一傳感器110和第一感應(yīng)片120，第一傳感器110設(shè)置于機(jī)架本體22上，第一感應(yīng)片120設(shè)置于第一滑板100上，且第一傳感器110能夠感應(yīng)到第一感應(yīng)片120。第一傳感器110的信號輸出端與控制器的信號輸入端連接，第一傳感器110與控制器通信連接。當(dāng)?shù)谝粋鞲衅?10感應(yīng)到第一感應(yīng)片120時，第一傳感器110發(fā)出第三感應(yīng)信號，控制器根據(jù)第三感應(yīng)信號控制第一電機(jī)52動作。在本實(shí)施例中，第一傳感器110為光電開關(guān)，第一傳感器110的數(shù)目為三個，三個第一傳感器110均勻分布于第一滑板100上。第一感應(yīng)片120感應(yīng)到三個第一傳感器110發(fā)出相應(yīng)的感應(yīng)信號，可以提高控制第一滑板100相對于機(jī)架本體22滑動的精度。

如圖2、圖3所示，在其中一個實(shí)施例中，對位搬入機(jī)構(gòu)1還包括第三導(dǎo)軌130和第二滑板140，第二滑板140滑動連接于第三導(dǎo)軌130上，第三導(dǎo)軌130設(shè)置于第一連接板24上，第二連接板26固定于第二滑板140上。第二驅(qū)動組件50包括第二電機(jī)54和第二絲杠55，第二電機(jī)54固定于第一連接板24上，第二電機(jī)54的動力輸出端與第二絲杠55的一端連接，第二滑板140套接于第二絲杠55的另一端，使第二電機(jī)54驅(qū)動第二滑板140相對于第三導(dǎo)軌130滑動，第二電機(jī)54驅(qū)動第二絲杠55轉(zhuǎn)動，由第二絲杠55帶動第二滑板140相對 于第三導(dǎo)軌130滑動，可以實(shí)現(xiàn)機(jī)械手30的精密移動。在本實(shí)施例中，第三導(dǎo)軌130的數(shù)目為兩個，第二滑板140滑動設(shè)置于兩個第三導(dǎo)軌130上。第二滑板140沿第三導(dǎo)軌130的滑動方向與y方向平行。第二電機(jī)54為伺服電機(jī)，第二電機(jī)54通過聯(lián)軸器542連接于第二絲杠55的一端。第二絲杠55通過絲杠螺母座543固定于第二連接板26上。第二電機(jī)54的動力通過聯(lián)軸器542傳遞到第二絲杠55上，由于第二滑板140套接于第二絲杠55上，所以第二電機(jī)54驅(qū)動第二滑板140運(yùn)動，第二滑板140同時帶動面板2運(yùn)動，使面板2沿y方向移動。

如圖1所示，在其中一個實(shí)施例中，對位搬入機(jī)構(gòu)1還包括第二傳感器150和第二感應(yīng)片160，第二傳感器150設(shè)置于第一連接板24上，第一感應(yīng)片120設(shè)置于第二滑板140上，且第二傳感器150能夠感應(yīng)到第二感應(yīng)片160。第二傳感器150的信號輸出端與控制器的信號輸入端連接，第二傳感器150與控制器通信連接。當(dāng)?shù)诙鞲衅?50感應(yīng)到第二感應(yīng)片160時，第二傳感器150發(fā)出第三感應(yīng)信號，控制器根據(jù)第三感應(yīng)信號控制第二電機(jī)54動作。在本實(shí)施例中，第二傳感器150為光電開關(guān)，第二傳感器150的數(shù)目為三個，三個第二傳感器150分別固定于第一連接板24的側(cè)壁上。

如圖1所示，在其中一個實(shí)施例中，第一驅(qū)動組件40包括第三電機(jī)41和減速器(圖中未示出)，第三電機(jī)41的動力輸出端與減速器的動力輸入端連接，機(jī)械手30固定于減速器的動力輸出端。在本實(shí)施例中，第三電機(jī)41為東方電機(jī)，減速器42為諧波減速器，減速器的動力輸出端通過轉(zhuǎn)拉板33與機(jī)械手30連接，使機(jī)械手30隨減速器的動力輸出端轉(zhuǎn)動。第三電機(jī)41通過減速器驅(qū)動機(jī)械手30轉(zhuǎn)動，使機(jī)械手30能夠在θ(θ為x方向與y方向之間的某一角度)方向上運(yùn)動。

如圖1所示，在其中一個實(shí)施例中，第一驅(qū)動組件40還包括第三傳感器43和第三感應(yīng)片44，第三傳感器43為光電開關(guān)，第三傳感器43通過光電安裝片432固定于導(dǎo)軌基座12上。第三感應(yīng)片44設(shè)置于基架本體22上。第三傳感器43能夠感應(yīng)到第三感應(yīng)片44，且第三傳感器43與控制器通信連接。當(dāng)?shù)谌齻鞲衅?3感應(yīng)到第三感應(yīng)片44時，第三傳感器43發(fā)出第四感應(yīng)信號，控制器根 據(jù)第四感應(yīng)信號控制直線電機(jī)51動作。

對位搬入機(jī)構(gòu)1的工作過程為：

首先，通過ccd組件60上的ccd相機(jī)62在x方向上兩次或多次拍照面板2，ccd相機(jī)62將拍照采集的數(shù)據(jù)傳輸?shù)娇刂破鬟M(jìn)行圖像處理得到相關(guān)的數(shù)據(jù)。其次，控制器根據(jù)圖像處理的數(shù)據(jù)控制第一驅(qū)動組件40和第二驅(qū)動組件50動作，具體地，控制器根據(jù)圖像處理的數(shù)據(jù)控制直線電機(jī)51/第一驅(qū)動組件40/第二電機(jī)54動作，使面板2在x方向/y方向/θ方向上運(yùn)動，以對應(yīng)補(bǔ)償面板2在x方向/y方向/θ方向的位置，最終完成ccd對位。再次，通過第一電機(jī)52驅(qū)動第一滑板100相對于第二導(dǎo)軌90滑動，使面板2沿z方向上升降運(yùn)動，以及通過直線電機(jī)51動作帶動機(jī)架本體22沿第一導(dǎo)軌10滑動，使面板2沿x方向運(yùn)動，從而把對位好的面板2依次搬運(yùn)到測試臺上，最終完成面板2的高精度搬入。

以上所述實(shí)施例的各技術(shù)特征可以進(jìn)行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實(shí)施例中的各個技術(shù)特征所有可能的組合都進(jìn)行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾，都應(yīng)當(dāng)認(rèn)為是本說明書記載的范圍。

以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。