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原位固-液相界面化學反應的自對準裝置的制作方法

文檔序號:12358084閱讀:來源:國知局
技術總結
本發(fā)明公開了一種原位固-液相界面化學反應的自對準裝置,包括間隔層(300)、第一絕緣膜(510)、第二絕緣膜(520)以及兩側對應密封結合的上芯片(100)和下芯片(200);上芯片(100)具有朝向下芯片(200)凸起的凸臺(110),下芯片(200)具有朝向上芯片(100)下凹的凹槽(210);間隔層(300)夾設于凸臺(110)表面的第一絕緣膜(510)和凹槽(210)內壁的第二絕緣膜(520)之間。該自對準裝置可應用于常規(guī)TEM樣品臺,免除了特制樣品桿的需求,大幅降低了測試成本;同時,待測液體量較少,可防止第一絕緣膜(510)和/或第二絕緣膜(520)破裂對其他部件的損壞。

技術研發(fā)人員:張躍鋼;馬碩;榮根蘭
受保護的技術使用者:中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
文檔號碼:201510313568
技術研發(fā)日:2015.06.09
技術公布日:2017.01.04

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