技術(shù)總結(jié)
氣動元件控制結(jié)構(gòu)，主要解決現(xiàn)有的半導體薄膜沉積設備控制氣動元件需要進行檢測時，由于氣動元件在長距離、多路數(shù)控制時，所造成的管路過多、混亂、安全性差等問題。該控制結(jié)構(gòu)采用在一個氣體分配閥島或氣體分配閥體上安裝多組閥的結(jié)構(gòu)形式。上述氣體分配閥島上設計有壓縮空氣進口及氣體分配通道；上述氣體分配閥島或氣體分配閥體可以通過機械加工、鑄造、注塑等方式制成。在設備裝配及維護過程中需長距離控制氣動元件進行檢測操作時，只須將一路氣源引入上述氣體分配閥島或氣體分配閥體的進氣口，通過氣體分配閥島或氣體分配閥體上安裝的手動閥上的出氣口或出氣孔，分別連接需控制的氣動元件，實現(xiàn)對氣動元件的分別控制功能。

技術(shù)研發(fā)人員：陳英男;姜崴;鄭旭東;關(guān)帥;蘆佳
受保護的技術(shù)使用者：沈陽拓荊科技有限公司
文檔號碼：201510289651
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.29
技術(shù)公布日：2017.01.04