本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的氣動(dòng)元件控制結(jié)構(gòu)。屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中往往應(yīng)用到許多氣動(dòng)元件，象氣缸、氣動(dòng)電磁閥、氣動(dòng)隔膜閥等零部件。在設(shè)備裝配過程中或設(shè)備維護(hù)時(shí)可能會(huì)同時(shí)對(duì)多個(gè)氣動(dòng)元件進(jìn)行檢測(cè)。如需要對(duì)工藝氣體氣箱進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，因工藝氣體管路較多，每條管路上又存在很多的氣動(dòng)電磁閥、氣動(dòng)隔膜閥等氣動(dòng)元件，在對(duì)其進(jìn)行檢漏操作時(shí)，往往需同時(shí)控制多個(gè)氣動(dòng)元件，對(duì)其單獨(dú)執(zhí)行開啟、關(guān)閉或切換等操作。但一般的廠區(qū)壓縮空氣進(jìn)口往往設(shè)置在潔凈間外圍墻壁上，當(dāng)廠房比較大，需檢測(cè)的氣動(dòng)元件又比較多時(shí)，往往需要從遠(yuǎn)處引入多條壓縮空氣管路來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)氣動(dòng)元件控制的操作。這樣密布的管路可能會(huì)在行人經(jīng)過時(shí)發(fā)生絆倒、刮蹭等現(xiàn)象危害設(shè)備及人員安全。在長(zhǎng)距離引入壓縮空氣管路時(shí)，壓縮空氣的控制閥往往距設(shè)備或待操作氣動(dòng)元件較遠(yuǎn)，而無(wú)法實(shí)現(xiàn)及時(shí)的開、閉，或是必需有人在壓縮空氣進(jìn)氣閥處進(jìn)行留守操作，這樣的長(zhǎng)距離操作即浪費(fèi)人力資源又效率低下，還容易因不能及時(shí)操作而帶來(lái)安全隱患。如果將待檢測(cè)氣動(dòng)元件搬移至壓縮空氣進(jìn)氣附近雖可以避免上述現(xiàn)象的發(fā)生，然而許多元器件如氣缸、氣箱等體積、重量較大，或是已經(jīng)安裝在設(shè)備上將無(wú)法搬移，或浪費(fèi)更多的人力進(jìn)行搬移。但因大多數(shù)廠房的建設(shè)之初無(wú)法完全預(yù)想到未來(lái)設(shè)備的體積、重量及所需 占地空間，所以即便可以進(jìn)行搬移，但壓縮空氣進(jìn)口處也未必有空間位置可以擺放待檢測(cè)的氣動(dòng)元件。這都給氣動(dòng)元件的檢測(cè)帶來(lái)了很大的不便。這無(wú)疑給設(shè)備的生產(chǎn)制造及設(shè)備維護(hù)帶來(lái)了額外的工作量，也在很大程度上影響工作效率，甚至可能發(fā)生一些潛在的安全隱患。

現(xiàn)有的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備在裝配及維護(hù)過程中所需控制氣動(dòng)元件進(jìn)行檢測(cè)操作。在體積大、重量重或已安裝在設(shè)備上的氣動(dòng)元件在長(zhǎng)距離、多路數(shù)控制時(shí)，存在管路過多、混亂、安全性差、可操作性差等問題。以使工作效率降低，安全隱患增大。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明以解決上述問題為目的，主要解決現(xiàn)有的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備在裝配及維護(hù)過程中，控制氣動(dòng)元件需要進(jìn)行檢測(cè)操作。尤其是在體積大、重量重或已安裝在設(shè)備上的氣動(dòng)元件在長(zhǎng)距離、多路數(shù)控制時(shí)，所造成的管路過多、混亂、安全性差、可操作性差等問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案：一種氣動(dòng)元件控制結(jié)構(gòu)，該控制結(jié)構(gòu)采用在一個(gè)氣體分配閥島或氣體分配閥體上安裝多組閥的結(jié)構(gòu)形式。上述氣體分配閥島上設(shè)計(jì)有壓縮空氣進(jìn)口及氣體分配通道；上述氣體分配閥島或氣體分配閥體可以通過機(jī)械加工、鑄造、注塑等方式制成。在設(shè)備裝配及維護(hù)過程中需長(zhǎng)距離控制氣動(dòng)元件進(jìn)行檢測(cè)操作時(shí)，只須將一路氣源引入上述氣體分配閥島或氣體分配閥體的進(jìn)氣口，通過氣體分配閥島或氣體分配閥體上安裝的手動(dòng)閥上的出氣口或出氣孔，分別連接需控制的氣動(dòng)元件。實(shí)現(xiàn)對(duì)氣動(dòng)元件的分別控制功能。

本發(fā)明的有益效果及特點(diǎn)：

本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理，操作簡(jiǎn)便、靈活、可單手操作。能夠滿足現(xiàn)有的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備在裝配及維護(hù)過程中所需的多氣路、長(zhǎng)距離、單獨(dú)控制氣動(dòng)元件進(jìn)行檢測(cè)操作的需求。有效地避免了在體積大、重量重或已安裝在設(shè)備上的氣動(dòng)元件在長(zhǎng)距離、多路數(shù)控制時(shí)，所造成的管路過多、混亂、安全性差、可操作性差等問題。以實(shí)現(xiàn)對(duì)其氣箱、氣動(dòng)電磁檢漏、氣缸等氣動(dòng)元件的檢漏及故障排查的目的。當(dāng)對(duì)氣缸等氣動(dòng)元件操作時(shí)，可實(shí)現(xiàn)及時(shí)、快速的啟動(dòng)、停止、切換等操作。在需要對(duì)工藝氣體氣箱進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，同樣只須將待控制的各個(gè)氣動(dòng)電磁閥、氣動(dòng)隔膜閥等氣動(dòng)元件與手動(dòng)閥上的氣體出口相連接，通過手柄控制即可簡(jiǎn)單、快速的啟動(dòng)、停止、切換等操作，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣動(dòng)元件的近距離手動(dòng)操作，

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖，也是本發(fā)明的實(shí)施例1。

圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖，也是本發(fā)明的實(shí)施例2。

圖中零件標(biāo)號(hào)分別代表:

1、出氣孔；2、氣體分配閥體；3、手動(dòng)旋鈕；4、進(jìn)氣孔；5、氣體分配閥島；6、氣體進(jìn)口；7、氣體出口；8、手動(dòng)閥；9、手動(dòng)閥手柄。

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1

如圖1所示，氣動(dòng)元件控制結(jié)構(gòu)，包括氣體分配閥體2，氣體分配閥體2上設(shè)計(jì)有進(jìn)氣孔4及出氣孔1。上述氣體分配閥體2上還安裝手動(dòng)旋鈕3。上述的進(jìn)氣孔4是遠(yuǎn)端進(jìn)氣輸送管路與氣體分配閥體2連接的紐帶。當(dāng)氣體 通入氣體分配閥體2時(shí)，通過旋轉(zhuǎn)手動(dòng)旋鈕3實(shí)現(xiàn)每路氣體路徑的單獨(dú)導(dǎo)通與關(guān)閉，以使氣體從出氣孔1將氣體輸送進(jìn)需控制的氣動(dòng)元件，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)氣動(dòng)元器件的多通路，單獨(dú)控制。上述氣體分配閥體2與通路數(shù)量可根據(jù)實(shí)際使用的數(shù)量靈活制定。

實(shí)施例2

如圖2所示，氣動(dòng)元件控制結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括氣體分配閥島5，分配閥島5上設(shè)計(jì)有氣體進(jìn)口6，并在上述氣體分配閥島5上安裝多組手動(dòng)閥8。上述的氣體進(jìn)口6是遠(yuǎn)端進(jìn)氣輸送管路與氣體分配閥島5連接的紐帶。當(dāng)氣體通入氣體分配閥島5時(shí)，通過扳動(dòng)手動(dòng)閥手柄9控制手動(dòng)閥8的開、閉，以實(shí)現(xiàn)每路氣體路徑的單獨(dú)導(dǎo)通與關(guān)閉，以使氣體從位于手動(dòng)閥8上的氣體出口7將氣體輸送進(jìn)需控制的氣動(dòng)元件，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)氣動(dòng)元器件的多通路，單獨(dú)控制。上述手動(dòng)閥手柄9，可以更快速的扳動(dòng)方式進(jìn)行操作，進(jìn)而滿足靈活、快速切換需求。上述氣體分配閥島5與手動(dòng)閥8數(shù)量可根據(jù)實(shí)際使用的數(shù)量靈活制定。