一種蝕刻機(jī)托盤蓋板的測量治具的制作方法
【專利摘要】一種蝕刻機(jī)托盤蓋板的測量治具，包括待測鋁蓋板、固定底板、鎖緊壓板、三坐標(biāo)定位用直角塊，固定底板的圓柱面上兩個(gè)相鄰的平面與三坐標(biāo)定位用直角塊定位；固定底板的上平面設(shè)置有待測鋁蓋板，待測鋁蓋板的沉孔內(nèi)均設(shè)置有鎖緊壓板；待測鋁蓋板為圓柱體；固定底板為圓柱體；鎖緊壓板為階梯軸，階梯軸小端的平面中心設(shè)置有通孔。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，采用了多點(diǎn)壓緊的結(jié)構(gòu)，避免了測量力引起的產(chǎn)品變形對(duì)測量結(jié)果的影響；鎖緊壓板的貼合形狀及采用固定底板外形定位的方法使測量操作變得方便、可靠、快捷；固定底板兩條邊為重復(fù)測量的定位提供基準(zhǔn)，保證了產(chǎn)品的加工質(zhì)量，推廣使用具有良好的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益。
【專利說明】一種蝕刻機(jī)托盤蓋板的測量治具

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于蝕刻設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及到一種LED蝕刻機(jī)托盤蓋板的測量治具，適用于藍(lán)寶石裝配機(jī)構(gòu)中鋁蓋板的測量。

【背景技術(shù)】
[0002]LED領(lǐng)域藍(lán)寶石襯底圖形化刻蝕工藝中，ICP藍(lán)寶石刻蝕機(jī)在當(dāng)前市場得到廣泛應(yīng)用，在ICP刻蝕機(jī)工作過程中，通過一套托盤和蓋板機(jī)構(gòu)作為藍(lán)寶石裝載、傳輸、刻蝕等整個(gè)工藝過程的載體，鋁蓋板上刻蝕區(qū)域的邊緣伸出四個(gè)深度相等的臺(tái)階壓在藍(lán)寶石襯底上，藍(lán)寶石襯底向下壓縮密封圈使其變形來阻止冷氣體的泄漏，藍(lán)寶石襯底裝載后的平整度、密封性對(duì)工藝效果起到關(guān)鍵的作用，密封圈及鋁蓋板上伸出的臺(tái)階需要足夠小，來實(shí)現(xiàn)藍(lán)寶石襯底的最大利用率，這就大大增加了托盤和鋁蓋板在加工上的形位誤差要求，其中鋁蓋板伸出的臺(tái)階高度的精度定義在±0.0lmm,在使用過程中因?yàn)橛卸鄠€(gè)均布的螺釘鎖緊，平面度要求并不高，產(chǎn)品會(huì)隨三坐標(biāo)測量機(jī)的測力作用而翹曲、晃動(dòng)，導(dǎo)致測量結(jié)果產(chǎn)生偏差，如何快速精確的對(duì)產(chǎn)品的尺寸進(jìn)行測量變成了難題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是克服以上所述的問題。
[0004]本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種蝕刻機(jī)托盤蓋板的測量治具，包括待測鋁蓋板、固定底板、鎖緊壓板、三坐標(biāo)定位用直角塊，其特征在于:所述的固定底板的圓柱面上兩個(gè)相鄰的平面與三坐標(biāo)定位用直角塊定位；固定底板的上平面設(shè)置有待測鋁蓋板，待測鋁蓋板的沉孔內(nèi)均設(shè)置有鎖緊壓板。
[0005]所述的待測鋁蓋板為圓柱體，待測鋁蓋板的平面上由內(nèi)到外依次設(shè)置有中心位置的沉孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的通孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的沉孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的通孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的沉孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的通孔。
[0006]所述的固定底板為圓柱體，固定底板的平面上由內(nèi)到外依次設(shè)置有中心位置的螺紋通孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的螺紋通孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的螺紋通孔；固定底板的圓柱面上設(shè)置有4個(gè)圓周均布的平面，任意兩個(gè)相鄰的平面均互成直角。
[0007]所述的鎖緊壓板為階梯軸，階梯軸小端的平面中心設(shè)置有通孔；階梯軸圓柱面上設(shè)置有4個(gè)圓周均布的凹槽。
[0008]所述的三坐標(biāo)定位用直角塊的兩個(gè)支腳上設(shè)置有數(shù)個(gè)與三坐標(biāo)測量機(jī)臺(tái)面孔位對(duì)應(yīng)的沉孔。
[0009]所述的待測鋁蓋板的材質(zhì)采用鋁板。
[0010]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，采用了多點(diǎn)壓緊的結(jié)構(gòu)，避免了測量力引起的產(chǎn)品變形對(duì)測量結(jié)果的影響；鎖緊壓板裝配鎖緊后，鋁蓋板底面與固定底板貼實(shí)，解決薄片狀鋁蓋板結(jié)構(gòu)的高精度測量問題，鎖緊壓板的貼合形狀及采用固定底板外形定位的方法使測量操作變得方便、可靠、快捷；固定底板兩條邊為重復(fù)測量的定位提供基準(zhǔn)，保證了產(chǎn)品的加工質(zhì)量，推廣使用具有良好的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型的安裝示意圖。
[0012]圖2為本實(shí)用新型的待測鋁蓋板俯視圖。
[0013]圖3為圖2的A-A剖視圖。
[0014]圖4為圖3的I放大圖。
[0015]圖5為本實(shí)用新型的固定底板俯視圖。
[0016]圖6為圖5的B-B剖視圖。
[0017]圖7為本實(shí)用新型的鎖緊壓板結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖8為本實(shí)用新型的三坐標(biāo)定位用直角塊結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖中:1.待測鋁蓋板；2.固定底板；3.鎖緊壓板；4.三坐標(biāo)定位用直角塊。

【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:
[0021]一種蝕刻機(jī)托盤蓋板的測量治具，包括待測鋁蓋板1、固定底板2、鎖緊壓板3、三坐標(biāo)定位用直角塊4，所述的固定底板2的圓柱面上兩個(gè)相鄰的平面與三坐標(biāo)定位用直角塊4定位；固定底板2的上平面設(shè)置有待測鋁蓋板1，待測鋁蓋板I的沉孔內(nèi)均設(shè)置有鎖緊壓板3 ;所述的待測鋁蓋板I為圓柱體，待測鋁蓋板I的平面上由內(nèi)到外依次設(shè)置有中心位置的沉孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的通孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的沉孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的通孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的沉孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的通孔；所述的固定底板2為圓柱體，固定底板2的平面上由內(nèi)到外依次設(shè)置有中心位置的螺紋通孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的螺紋通孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的螺紋通孔；固定底板2的圓柱面上設(shè)置有4個(gè)圓周均布的平面，任意兩個(gè)相鄰的平面均互成直角；所述的鎖緊壓板3為階梯軸，階梯軸小端的平面中心設(shè)置有通孔；階梯軸圓柱面上設(shè)置有4個(gè)圓周均布的凹槽；所述的三坐標(biāo)定位用直角塊4的兩個(gè)支腳上設(shè)置有數(shù)個(gè)與三坐標(biāo)測量機(jī)臺(tái)面孔位對(duì)應(yīng)的沉孔；所述的待測鋁蓋板I的材質(zhì)采用鋁板。
[0022]具體實(shí)施時(shí)，I)、待測鋁蓋板I為厚度4mm，外徑330mm的薄板，待測尺寸為
2.5±0.0lmm的臺(tái)階深度；2)、固定底板2根據(jù)待測鋁蓋板I的外形尺寸，選定厚度為25mm左右的鋁板，精加工兩個(gè)平面，兩個(gè)平面的平面度、平行度分別控制在0.01mm、0.02mm,在與待測鋁蓋板I相對(duì)應(yīng)的孔位上再加工M8螺紋孔；3)、鎖緊壓板3的外形與待測鋁蓋板I上的孔一致，尺寸控制在0.05?0.1mm間隙配合，在鎖緊壓板3上與待測鋁蓋板I上待測量的凸臺(tái)區(qū)域加工出避讓的凹槽，便于三坐標(biāo)測量機(jī)的測針采集測量點(diǎn)；4)、三坐標(biāo)定位用直角塊4的內(nèi)側(cè)兩條邊垂直度要求不大于0.005_，用于重復(fù)測量時(shí)的定位。
【權(quán)利要求】
1.一種蝕刻機(jī)托盤蓋板的測量治具，包括待測鋁蓋板(I)、固定底板(2)、鎖緊壓板(3)、三坐標(biāo)定位用直角塊(4)，其特征在于:所述的固定底板(2)的圓柱面上兩個(gè)相鄰的平面與三坐標(biāo)定位用直角塊(4)定位；固定底板(2)的上平面設(shè)置有待測鋁蓋板(1)，待測鋁蓋板(I)的沉孔內(nèi)均設(shè)置有鎖緊壓板(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機(jī)托盤蓋板的測量治具，其特征在于:所述的待測鋁蓋板(I)為圓柱體，待測鋁蓋板(I)的平面上由內(nèi)到外依次設(shè)置有中心位置的沉孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的通孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的沉孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的通孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的沉孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的通孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機(jī)托盤蓋板的測量治具，其特征在于:所述的固定底板(2)為圓柱體，固定底板(2)的平面上由內(nèi)到外依次設(shè)置有中心位置的螺紋通孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的螺紋通孔、數(shù)十個(gè)圓周均布的螺紋通孔；固定底板(2)的圓柱面上設(shè)置有4個(gè)圓周均布的平面，任意兩個(gè)相鄰的平面均互成直角。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機(jī)托盤蓋板的測量治具，其特征在于:所述的鎖緊壓板(3)為階梯軸，階梯軸小端的平面中心設(shè)置有通孔；階梯軸圓柱面上設(shè)置有4個(gè)圓周均布的凹槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機(jī)托盤蓋板的測量治具，其特征在于:所述的三坐標(biāo)定位用直角塊(4)的兩個(gè)支腳上設(shè)置有數(shù)個(gè)與三坐標(biāo)測量機(jī)臺(tái)面孔位對(duì)應(yīng)的沉孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機(jī)托盤蓋板的測量治具，其特征在于:所述的待測鋁蓋板(I)的材質(zhì)采用鋁板。
【文檔編號(hào)】G01B21/00GK203929045SQ201420349481
【公開日】2014年11月5日 申請(qǐng)日期:2014年6月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月28日
【發(fā)明者】游利 申請(qǐng)人:靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司