用于激光自混合干涉系統(tǒng)的反饋光強(qiáng)度自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種自動(dòng)控制反饋光強(qiáng)度水平的裝置。該裝置包括：分光鏡、反光鏡、中性可調(diào)衰減片、光隔離器、光電探測(cè)器、單片機(jī)、隔離放大電路、步進(jìn)電機(jī)以及連接步進(jìn)電機(jī)與衰減片支架的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。由分光鏡、反光鏡和光隔離器構(gòu)成的分離光路分離出從目標(biāo)反射回來(lái)的激光。反射光經(jīng)1:1分光鏡，一部分進(jìn)入到激光腔內(nèi)與腔內(nèi)激光產(chǎn)生干涉，一部分入射到光電二極管上，通過(guò)光電探測(cè)器把光功率轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，并通過(guò)輸入電路輸入到單片機(jī)中。單片機(jī)通過(guò)編程實(shí)現(xiàn)輸入的光功率P與人為設(shè)定的目標(biāo)功率P0之間的比較，并根據(jù)比較結(jié)果向外輸出脈沖信號(hào)控制步進(jìn)電機(jī)，帶動(dòng)衰減片轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)衰減強(qiáng)度，進(jìn)而達(dá)到調(diào)節(jié)反饋光強(qiáng)度的目的。
【專利說(shuō)明】用于激光自混合干涉系統(tǒng)的反饋光強(qiáng)度自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及激光自混合干涉測(cè)量【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及激光反饋強(qiáng)度調(diào)節(jié)方法和裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，激光自混合干涉儀以其與傳統(tǒng)干涉儀相比，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，易準(zhǔn)直的特點(diǎn)，在很多場(chǎng)合逐漸取代傳統(tǒng)的干涉儀得到廣泛應(yīng)用。自混合干涉儀基于激光自混合干涉現(xiàn)象:激光器發(fā)出的光入射到一物體表面時(shí)會(huì)在物體表面發(fā)生反射和散射，經(jīng)反射或散射的光一部分又反饋回激光器諧振腔內(nèi)，與腔內(nèi)的光發(fā)生相干混合形成新的激光振蕩。激光振蕩的波長(zhǎng)和功率依賴于反饋光的相位和強(qiáng)度。當(dāng)入射表面沿激光軸向移動(dòng)時(shí)，激光器的功率將會(huì)呈周期性變化，每移動(dòng)半個(gè)光波長(zhǎng)，激光器功率變化一個(gè)波形，波形形狀依賴于反饋光的強(qiáng)度。根據(jù)反饋強(qiáng)度系數(shù)C的大小把激光自混合干涉現(xiàn)象分為四種光反饋水平。
[0003]I)當(dāng)C〈〈l時(shí)，系統(tǒng)處于極度弱反饋狀態(tài)，干涉信號(hào)為正弦波，幾乎觀察不到自混合現(xiàn)象
[0004]2)當(dāng)0.1〈C〈1時(shí)，系統(tǒng)處于弱反饋水平，干涉信號(hào)類似于傳統(tǒng)雙光束干涉，具有不對(duì)稱性，其傾斜程度隨外反饋光強(qiáng)度的增大而增加
[0005]3)當(dāng)1〈C〈4.6時(shí)，系統(tǒng)處于適度反饋水平，半導(dǎo)體激光器多模運(yùn)轉(zhuǎn)，自混合干涉信號(hào)為類鋸齒波形，傾斜方向敏感于目標(biāo)物體的運(yùn)動(dòng)方向
[0006]4)當(dāng)CM.6時(shí)，系統(tǒng)處于強(qiáng)反饋狀態(tài)，半導(dǎo)體激光器出現(xiàn)模跳，不再有自混合干涉產(chǎn)生
[0007]激光自混合干涉儀已被廣泛應(yīng)用于對(duì)象的物理特性和運(yùn)動(dòng)特性的測(cè)量，如形貌測(cè)量、位移和距離測(cè)量、速度和振動(dòng)測(cè)量等。測(cè)量過(guò)程是由光電探測(cè)器接收激光器發(fā)出的光，并轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，得到與光功率信號(hào)相對(duì)應(yīng)的電信號(hào)，通過(guò)進(jìn)一步的信號(hào)處理獲取待測(cè)的量。由于不同的反饋水平下功率波形的變化規(guī)律不同，對(duì)于與之對(duì)應(yīng)的電信號(hào)的處理方法也有所不同，以此衍生出多種測(cè)量方法，每種測(cè)量方法都是在一定的反饋水平下實(shí)現(xiàn)的。另夕卜，在一定的測(cè)量范圍下，不同的測(cè)量精度要求也會(huì)采用不同的反饋強(qiáng)度水平。在實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證反饋光強(qiáng)度對(duì)自混合信號(hào)波形的影響規(guī)律時(shí)，及時(shí)的獲知當(dāng)前的反饋水平并根據(jù)需要對(duì)它進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整是非常重要的。
[0008]現(xiàn)有的用于調(diào)整反饋光強(qiáng)度的方法如光路調(diào)節(jié)方法或是通過(guò)改變目標(biāo)物體的反射率來(lái)調(diào)整強(qiáng)度。論文“光反饋光強(qiáng)度參數(shù)的頻率響應(yīng)”(見(jiàn)《激光與紅外》，2013年43卷第6期)中光路調(diào)節(jié)的方法僅適用于對(duì)激光器端面到待測(cè)目標(biāo)之間距離沒(méi)有特定要求的場(chǎng)合，限制了該方法在其他很多測(cè)量場(chǎng)合的應(yīng)用；而論文“適度反饋下半導(dǎo)體激光器自混合干涉效應(yīng)與微振動(dòng)測(cè)量研究”(見(jiàn)《光電技術(shù)應(yīng)用》，2013年28卷第I期)中改變待測(cè)目標(biāo)的反射率的方法在確定的測(cè)量目標(biāo)的條件下是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]針對(duì)上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一個(gè)自動(dòng)控制反饋光強(qiáng)度的方法，有效的解決在測(cè)量過(guò)程中反饋光強(qiáng)度的檢測(cè)和調(diào)節(jié)。
[0010]本發(fā)明的目的還在于提供一種實(shí)現(xiàn)上述方法的控制裝置。
[0011]本發(fā)明的一種自動(dòng)控制反饋光強(qiáng)度的方法，見(jiàn)圖1。激光器(18)發(fā)出的光透過(guò)分光鏡(I)入射到待測(cè)目標(biāo)(10)上，由于固定在目標(biāo)表面的反射鏡(7)的反射,改變光的傳播方向并依此入射到反射鏡(8)和反射鏡(9)上，最后通過(guò)反射鏡(9)的反射以與原激光器出射光成90°的方向入射到分光鏡(I)。由于分光鏡(I)的分光作用，一部分光透過(guò)分光鏡入射到光電探測(cè)器(2)上，另一部分沿激光器出射光的相反方向返回到激光器(18)腔內(nèi)與腔內(nèi)光發(fā)生混合干涉。
[0012]激光器(18)的出射光在通過(guò)分光鏡(I)時(shí)，也會(huì)被分為兩部分。一部分沿著激光軸線方向傳播，入射到待測(cè)目標(biāo)(10)上；另一部分與激光軸線成90°向下射向反光鏡(9)。為了防止射向反光鏡(9)的這部分光對(duì)分離光路中的光產(chǎn)生影響，在分光鏡(I)和反光鏡
(9)之間放置一個(gè)光隔離器(6)，對(duì)來(lái)自分光鏡(I)的光進(jìn)行隔離。
[0013]為了實(shí)現(xiàn)反射光的正確分離，安裝在待測(cè)目標(biāo)(10)表面的反射鏡(7)和支架上的反射鏡(8)和(9)均采用直角邊為45°的反射鏡。并且在進(jìn)行光路搭建時(shí)，保證三個(gè)反射鏡和分光鏡(I)它們的位置構(gòu)成一個(gè)矩形，它們分別位于矩形的四個(gè)角上。
[0014]由分離光路分離出的反射光入射到光電探測(cè)器(2)上，探測(cè)器(2)接收光信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。探測(cè)器的輸出電信號(hào)與入射光的強(qiáng)度成正比，并通過(guò)輸入電路(3)輸入到單片機(jī)(4)中，其中輸入電路是為了將光電探測(cè)器的輸出信號(hào)轉(zhuǎn)化為單片機(jī)可以接收的信號(hào)。單片機(jī)(4)通過(guò)編程實(shí)現(xiàn)輸入的光強(qiáng)度P與人為設(shè)定的目標(biāo)強(qiáng)度PO之間的比較，并根據(jù)比較結(jié)果向外輸出脈沖信號(hào)，輸出的脈沖信號(hào)通過(guò)隔離放大電路進(jìn)行放大，然后控制步進(jìn)電機(jī)(13)做相應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng):如果Ρ>Ρ0，單片機(jī)(4)輸出正向脈沖控制步進(jìn)電機(jī)(13)
[0015]正轉(zhuǎn)，增大衰減片(5)的衰減率，進(jìn)而減小激光的反饋強(qiáng)度；如果Ρ〈Ρ0，單片機(jī)(4)輸出反向脈沖控制步進(jìn)電機(jī)(13)反轉(zhuǎn)，減小衰減片(5)的衰減率,進(jìn)而增大激光的反饋強(qiáng)度。
[0016]為了實(shí)現(xiàn)步進(jìn)電機(jī)(13)對(duì)可調(diào)衰減片(5)的控制，利用傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)將電機(jī)
(13)與可調(diào)衰減片(5)的可動(dòng)支架相連接。為了保證傳動(dòng)的精確性，選用齒輪傳動(dòng)，如圖2。主動(dòng)輪(19)安裝在步進(jìn)電機(jī)(13)的輸出軸上，從動(dòng)輪(20)安裝在衰減片(5)支架的可動(dòng)軸上，通過(guò)兩個(gè)齒輪的嚙合實(shí)現(xiàn)角度的傳遞。兩傳動(dòng)齒輪的齒數(shù)相同，傳動(dòng)系數(shù)為1:1，由于步進(jìn)電機(jī)(13)的步距角小于1°，通過(guò)齒輪傳動(dòng)傳遞到衰減片(5)支架上的角度變化的間隔也小于1°，實(shí)現(xiàn)了對(duì)整個(gè)圓周角的細(xì)分，當(dāng)可調(diào)衰減片(5)以這樣的角度變化量進(jìn)行調(diào)節(jié)時(shí)，可以保證衰減片衰減強(qiáng)度的連續(xù)調(diào)節(jié)。
[0017]因?yàn)辇X輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)主要傳遞的是運(yùn)動(dòng)，對(duì)齒輪的強(qiáng)度要求不高，加工易于實(shí)現(xiàn)，成本低。為了保證傳遞角度的準(zhǔn)確性，齒輪的精度需要達(dá)到6級(jí)精度。齒輪的大小可以根據(jù)具體的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)來(lái)決定。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1是本發(fā)明激光自混合干涉系統(tǒng)的反饋光強(qiáng)度自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)圖；
[0019]圖2是本發(fā)明自混合干涉系統(tǒng)的反饋光強(qiáng)度自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置中的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)圖；
[0020]圖3是本發(fā)明反饋光強(qiáng)度自動(dòng)控制的流程圖；
[0021]圖中:1.1:1分光鏡2.光電探測(cè)器3.單片機(jī)輸入電路4.處理器5.可調(diào)衰減片6.光隔離器7.第一反光鏡8.第二反光鏡9.第三反光鏡10.待測(cè)目標(biāo)11.信號(hào)發(fā)生器 12.傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 13.電動(dòng)機(jī) 14.隔離放大電路 15.處理和顯示電路16.光電探測(cè)器17.激光器的驅(qū)動(dòng)電源18.激光器19.主動(dòng)齒輪20.從動(dòng)齒輪

【具體實(shí)施方式】
[0022]下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0023]參見(jiàn)附圖1，用于激光自混合干涉系統(tǒng)的反饋光強(qiáng)度自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置包括:激光器(18)、分光鏡(I)、中性可調(diào)衰減片(5)、第一反光鏡(7)、第二反光鏡(8)、第三反光鏡(9)、光電探測(cè)器⑵和處理器(4)，其特征在于，所述分光鏡(I)、中性可調(diào)衰減片(5)和待測(cè)目標(biāo)(10)依次設(shè)置在激光器(18)的出射光的光軸上,所述分光鏡為1:1分光鏡，能夠?qū)⑷肷涔夥譃閮墒鴱?qiáng)度相同、傳播方向垂直的光；所述第一反光鏡(7)固定在所述待測(cè)目標(biāo)(10)的表面上，所述第二反光鏡和第三反光鏡設(shè)置在一支架上，且其位置關(guān)系設(shè)置為通過(guò)第二反光鏡(8)和第三反光鏡(9)將第一反光鏡(7)反射的來(lái)自激光器的光反射到分光鏡(I),且反射光的方向與出射光方向垂直；所述反射光經(jīng)過(guò)分光鏡后，一部分經(jīng)分光鏡(I)反射后回到所述激光器(18)，與激光器(18)腔內(nèi)的光線發(fā)生混合干涉；另一部分方向不變，進(jìn)入所述光電探測(cè)器(2)，光電探測(cè)器(2)將信號(hào)輸出給所述處理器(4)，處理器(4)對(duì)光電探測(cè)器探測(cè)到的光信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行處理，并生產(chǎn)相應(yīng)的控制信號(hào)，所述裝置還包括隔離放大電路(17)、步進(jìn)電機(jī)(13)和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(12),所述步進(jìn)電機(jī)(13)通過(guò)所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)連接所述中性可調(diào)衰減片(5)，所述處理器產(chǎn)生的所述控制信號(hào)為脈沖信號(hào)，且所述脈沖信號(hào)經(jīng)過(guò)隔離放大電路(17)放大后輸出到步進(jìn)電機(jī)(13)，控制步進(jìn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)，從而控制中性可調(diào)衰減片(5);所述激光器由驅(qū)動(dòng)電源(17)驅(qū)動(dòng)。
[0024]安裝在待測(cè)目標(biāo)(10)表面的第一反射鏡(7)和支架上的第二反射鏡(8)和第三反光鏡(9)均米用直角邊為45°的反射鏡,并且第一、第二、第三反射鏡和分光鏡(I)的位置構(gòu)成一個(gè)矩形，第一、第二、第三反射鏡和分光鏡(I)分別位于矩形的四個(gè)角上。
[0025]激光器(18)的出射光在通過(guò)分光鏡(I)時(shí)，也會(huì)被分為兩部分，一部分與激光軸線成90°向下射向反光鏡(9)，為了防止這部分光對(duì)分離光路中的光產(chǎn)生影響，在分光鏡
(I)和反光鏡(9)之間放置一個(gè)光隔離器(6)，對(duì)來(lái)自分光鏡⑴的光進(jìn)行隔離。
[0026]所述處理器(4)可以為單片機(jī)、DSP、或FPGA中的任意一種。
[0027]所述光電探測(cè)器(2)的輸出信號(hào)經(jīng)過(guò)一個(gè)輸入電路⑶后輸出給所述處理器⑷。
[0028]所述處理器(4)對(duì)比光電探測(cè)器(2)探測(cè)到的光強(qiáng)度P與目標(biāo)光強(qiáng)度強(qiáng)度Ptl,并根據(jù)對(duì)比結(jié)果向外輸出脈沖信號(hào)，輸出的脈沖信號(hào)通過(guò)所述隔離放大電路(14)進(jìn)行放大，控制步進(jìn)電機(jī)(13)做相應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)；如果PSPtl，處理器(4)輸出正向脈沖控制步進(jìn)電機(jī)(13)正轉(zhuǎn)，增大所述中性可調(diào)衰減片(5)的衰減率，進(jìn)而減小激光的反饋強(qiáng)度；如果PJtl，處理器⑷輸出反向脈沖控制步進(jìn)電機(jī)(13)反轉(zhuǎn)，減小所述中性可調(diào)衰減片(5)的衰減率，進(jìn)而增大激光的反饋強(qiáng)度。
[0029]所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)可以為齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)或其他可以將步進(jìn)電機(jī)的運(yùn)動(dòng)精確傳遞給轉(zhuǎn)動(dòng)支架的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0030]調(diào)整激光器、分光鏡以及待測(cè)目標(biāo)使它們?cè)谕凰骄€上，保證光路的暢通。將反光鏡8和9的支架調(diào)整到與分光鏡在同一水平線上，距離激光軸線15cm的位置。選擇反光鏡的反射系數(shù)均為0.9，分光鏡為1:1分光鏡。選擇激光器的輸出功率為20mW，在不進(jìn)行衰減的情況下，反饋回激光腔內(nèi)的功率是初始功率的36.5%。設(shè)置理想的反饋光功率是初始功率的25%，通過(guò)編程把數(shù)據(jù)寫入單片機(jī)中。連接設(shè)備，運(yùn)行程序結(jié)果顯示通過(guò)對(duì)衰減片進(jìn)行調(diào)節(jié)，可以把反饋光功率調(diào)節(jié)到初始功率的24.5?25.5%之間。
[0031]具體的工作流程如圖3所示。激光器發(fā)出的光入射到待測(cè)目標(biāo)上，由于固定在目標(biāo)表面以及固定在支架上的反射鏡的反射，改變光的傳播方向入射到分光鏡。由于分光鏡的分光作用，一部分光透過(guò)分光鏡入射到光電探測(cè)器上，探測(cè)器輸出與光強(qiáng)度成正比的電信號(hào)，輸入到單片機(jī)內(nèi)，與預(yù)先輸入到單片機(jī)內(nèi)的理想光強(qiáng)度進(jìn)行比較。如果光強(qiáng)大于理想光強(qiáng)，單片機(jī)輸出正脈沖控制步進(jìn)電機(jī)正轉(zhuǎn)，增大衰減片的衰減率，進(jìn)而減小激光的反饋強(qiáng)度；如果光強(qiáng)小于理想光強(qiáng)，單片機(jī)則輸出負(fù)脈沖控制步進(jìn)電機(jī)反轉(zhuǎn)，減少衰減片的衰減率，進(jìn)而增大激光的反饋強(qiáng)度。
[0032]本發(fā)明未詳細(xì)闡述的技術(shù)內(nèi)容屬于本領(lǐng)域技術(shù)人員的公知技術(shù)。
[0033]盡管上面對(duì)本發(fā)明說(shuō)明性的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了描述，以便于本技術(shù)領(lǐng)的技術(shù)人員理解本發(fā)明，但應(yīng)該清楚，本發(fā)明不限于【具體實(shí)施方式】的范圍，對(duì)本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)講，只要各種變化在所附的權(quán)利要求限定和確定的本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，這些變化是顯而易見(jiàn)的，一切利用本發(fā)明構(gòu)思的發(fā)明創(chuàng)造均在保護(hù)之列。
【權(quán)利要求】
1.一種用于激光自混合干涉系統(tǒng)的反饋光強(qiáng)度自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，包括:激光器(18)、分光鏡(I)、中性可調(diào)衰減片(5)、第一反光鏡(7)、第二反光鏡(8)、第三反光鏡(9)、光電探測(cè)器(2)和處理器(4)，其特征在于，所述分光鏡(I)、中性可調(diào)衰減片(5)和待測(cè)目標(biāo)(10)依次設(shè)置在激光器(18)的出射光的光軸上,所述分光鏡為1:1分光鏡，能夠?qū)⑷肷涔夥譃閮墒鴱?qiáng)度相同、傳播方向垂直的光；所述第一反光鏡(7)固定在所述待測(cè)目標(biāo)(10)的表面上，所述第二反光鏡和第三反光鏡設(shè)置在一支架上，且其位置關(guān)系設(shè)置為通過(guò)第二反光鏡(8)和第三反光鏡(9)將第一反光鏡(7)反射的來(lái)自激光器的光反射到分光鏡(I),且反射光的方向與出射光方向垂直；所述反射光經(jīng)過(guò)分光鏡后，一部分經(jīng)分光鏡(I)反射后回到所述激光器(18)，與激光器(18)腔內(nèi)的光線發(fā)生混合干涉；另一部分方向不變，進(jìn)入所述光電探測(cè)器(2)，光電探測(cè)器(2)將信號(hào)輸出給所述處理器(4)，處理器(4)對(duì)光電探測(cè)器探測(cè)到的光信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行處理，并生產(chǎn)相應(yīng)的控制信號(hào)，通過(guò)該控制信號(hào)控制所述中性可調(diào)衰減片(5);所述激光器由驅(qū)動(dòng)電源(17)驅(qū)動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的反饋光強(qiáng)度自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:安裝在待測(cè)目標(biāo)(10)表面的第一反射鏡(7)和支架上的第二反射鏡(8)和第三反光鏡(9)均米用直角邊為45°的反射鏡，并且第一、第二、第三反射鏡和分光鏡(I)的位置構(gòu)成一個(gè)矩形，第一、第二、第三反射鏡和分光鏡(I)分別位于矩形的四個(gè)角上。
3.如權(quán)利要求2所述的反饋光強(qiáng)度自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:激光器(18)的出射光在通過(guò)分光鏡(I)時(shí)，也會(huì)被分為兩部分，一部分與激光軸線成90°向下射向反光鏡(9)，為了防止這部分光對(duì)分離光路中的光產(chǎn)生影響，在分光鏡(I)和反光鏡(9)之間放置一個(gè)光隔離器(6)，對(duì)來(lái)自分光鏡(I)的光進(jìn)行隔離。
4.如權(quán)利要求1-3之一所述的反饋光強(qiáng)度自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:所述裝置還包括隔離放大電路(17)、步進(jìn)電機(jī)(13)和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)，所述步進(jìn)電機(jī)(13)通過(guò)所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)連接所述中性可調(diào)衰減片(5)，所述處理器產(chǎn)生的所述控制信號(hào)為脈沖信號(hào)，且所述脈沖信號(hào)經(jīng)過(guò)隔離放大電路(17)放大后輸出到步進(jìn)電機(jī)(13)，控制步進(jìn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)，從而控制中性可調(diào)衰減片(5)。
5.如權(quán)利要求4所述的反饋光強(qiáng)度自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:所述處理器(4)為單片機(jī)、DSP、或 FPGA。
6.如權(quán)利要求5所述的反饋光強(qiáng)度自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:所述光電探測(cè)器(2)的輸出信號(hào)經(jīng)過(guò)一個(gè)輸入電路(3)后輸出給所述處理器(4)。
7.如權(quán)利要求4所述的反饋光強(qiáng)度自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:所述處理器(4)對(duì)比光電探測(cè)器(2)探測(cè)到的光強(qiáng)度P與目標(biāo)光強(qiáng)度強(qiáng)度Ptl，并根據(jù)對(duì)比結(jié)果向外輸出脈沖信號(hào)，輸出的脈沖信號(hào)通過(guò)所述隔離放大電路(14)進(jìn)行放大，控制步進(jìn)電機(jī)(13)做相應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)；如果PWtl，處理器(4)輸出正向脈沖控制步進(jìn)電機(jī)(13)正轉(zhuǎn)，增大所述中性可調(diào)衰減片(5)的衰減率，進(jìn)而減小激光的反饋強(qiáng)度；如果PCPci，處理器(4)輸出反向脈沖控制步進(jìn)電機(jī)(13)反轉(zhuǎn)，減小所述中性可調(diào)衰減片(5)的衰減率，進(jìn)而增大激光的反饋強(qiáng)度。
8.如權(quán)利要求7所述的反饋光強(qiáng)度自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:利用傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)將所述步進(jìn)電機(jī)(13)與所述中性可調(diào)衰減片(5)的可動(dòng)支架相連接，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)為齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】G01B9/02GK104266584SQ201410546959
【公開日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年10月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月16日
【發(fā)明者】朱煒, 辛倩倩, 田麗 申請(qǐng)人:北京理工大學(xué)