一種基板檢測裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種基板檢測裝置，包括：檢查部、測量部和判定部；檢查部與測量部并列設(shè)置，其中檢查部用于對(duì)基板進(jìn)行檢查并檢出缺陷，包括用于獲取基板灰度值的圖像采集模塊和用于承載圖像采集模塊的第一支架；測量部用于對(duì)基板的缺陷進(jìn)行測量，包括用于獲取基板特性值的圖像測量模塊和用于承載圖像測量模塊的第二支架；判定部分別與檢查部和測量部連接，測量部對(duì)檢查部確定的缺陷位置進(jìn)行特性值測量，根據(jù)缺陷位置特性值判定缺陷的等級(jí)。本實(shí)用新型改變現(xiàn)有檢查和測量獨(dú)立設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)，將檢查設(shè)備和測量設(shè)備集成一體，通過缺陷位置的灰度值和基板特性值的對(duì)應(yīng)關(guān)系完成對(duì)缺陷等級(jí)的自動(dòng)判定，不僅節(jié)省判定的時(shí)間，還可以減小人為判定產(chǎn)生的誤差。
【專利說明】一種基板檢測裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種基板檢測裝置，所述檢測裝置集檢查、測量和判定缺陷功能
于一體。
【背景技術(shù)】
[0002]彩膜基板為液晶平面顯示器(Liquid Crystal Display)彩色化的關(guān)鍵組件。液晶平面顯示器為非主動(dòng)發(fā)光之組件，其色彩之顯示必需透過內(nèi)部的背光模塊(穿透型LCD)或外部的環(huán)境入射光(反射型或半穿透型LCD)提供光源，再搭配驅(qū)動(dòng)IC與液晶控制形成灰階顯示，而后透過彩色濾光片的R、G、B彩色層提供色相，形成彩色顯示畫面。彩膜基板的基本結(jié)構(gòu)是由玻璃基板01、黑色矩陣02、彩色樹脂層03、保護(hù)層04，一般穿透式液晶顯示器的彩膜基板結(jié)構(gòu)如圖1所示。
[0003]彩膜基板在生產(chǎn)過程中不可避免的會(huì)產(chǎn)生宏觀缺陷，缺陷的形成是由于膜厚的不均一性。由于彩膜基板上PR膜(photoresist，光刻膠，即彩膜基板中的彩色樹脂層)厚度不均一導(dǎo)致的彩色異常，輕重不一，嚴(yán)重等級(jí)的缺陷還會(huì)影響彩膜基板產(chǎn)品品質(zhì)，因此一旦發(fā)現(xiàn)有缺陷就需要立即進(jìn)行缺陷等級(jí)的判定。一般缺陷等級(jí)是根據(jù)缺陷區(qū)域的特性值與正常區(qū)域的特性值存在異常的程度來進(jìn)行判定的。目前常規(guī)的缺陷等級(jí)判定方法是缺陷檢查機(jī)檢查出缺陷后，待產(chǎn)品生產(chǎn)完成后再拿去檢測，主要是進(jìn)行特性值的測量，再根據(jù)特性值的測量結(jié)果判定缺陷等級(jí)，大致的判斷流程如圖2所示，具體包括以下步驟:
[0004]S1、檢查設(shè)備發(fā)現(xiàn)缺陷；
[0005]S2、測量設(shè)備測量缺陷；
[0006]S3、工程師根據(jù)測量數(shù)據(jù)對(duì)缺陷進(jìn)行判定。
[0007]上述常規(guī)的缺陷等級(jí)判定方法不僅浪費(fèi)大量時(shí)間而且容易發(fā)生批量不良。檢查缺陷、測量缺陷時(shí)兩臺(tái)分開的設(shè)備，并且檢查只能發(fā)現(xiàn)缺陷，測量只起到單純的數(shù)據(jù)測量的作用，而判定缺陷是靠工程師根據(jù)檢查結(jié)果和測量的特性值數(shù)據(jù)進(jìn)行人為的判定，由于人為判定過程是根據(jù)工程師的經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行判定，極易發(fā)生誤差，對(duì)最后的缺陷等級(jí)判定也將會(huì)產(chǎn)生較為嚴(yán)重的影響，而且人為判定過程需耗費(fèi)較長時(shí)間，難以提高判定缺陷等級(jí)的速率。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0008](一)要解決的技術(shù)問題
[0009]針對(duì)上述缺陷，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是如何將缺陷判定的設(shè)備集成為一體，盡量減少不良廣品的發(fā)生，同時(shí)對(duì)缺陷等級(jí)進(jìn)行自動(dòng)判定，提聞判定缺陷等級(jí)的效率。
[0010](二)技術(shù)方案
[0011]為解決上述問題，本實(shí)用新型提供了一種基板檢測裝置，具體包括:檢查部、測量部和判定部；
[0012]所述檢查部與所述測量部并列設(shè)置，其中所述檢查部用于對(duì)所述基板進(jìn)行檢查并檢出缺陷，包括圖像采集模塊和用于承載圖像采集模塊的第一支架，所述圖像采集模塊獲取基板的灰度值；
[0013]所述測量部用于對(duì)所述基板的缺陷進(jìn)行測量，包括圖像測量模塊和用于承載圖像測量模塊的第二支架，所述圖像測量模塊獲取基板的特性值；
[0014]所述判定部分別與所述檢查部和所述測量部連接，所述檢查部根據(jù)灰度值確定缺陷位置，所述判定部將所述缺陷位置信息傳輸給所述測量部，所述測量部對(duì)所述缺陷位置進(jìn)行特性值測量得到缺陷位置特性值，所述判定部再根據(jù)所述缺陷位置特性值判定缺陷的等級(jí)。
[0015]進(jìn)一步地，所述基板檢測裝置還包括:
[0016]機(jī)臺(tái)，所述第一支架和所述第二支架均呈倒“U”型固定于所述機(jī)臺(tái)之上；
[0017]所述第一支架和/或所述第二支架均包括兩根支腳和一根支撐桿，所述支撐桿的兩端與所述兩根支腳的上端固定連接，所述兩根支腳的下端固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述圖像采集模塊設(shè)置于所述第一支架的支撐桿上，所述圖像測量模塊設(shè)置在所述第二支架的支撐桿上。
[0018]進(jìn)一步地，所述判定部包括通信模塊和判定模塊，所述通信模塊分別與所述檢查部的圖像采集模塊和所述測量部的圖像測量模塊連接。
[0019]進(jìn)一步地，所述圖像采集模塊包括至少一個(gè)電荷耦合元件圖像傳感器，所述圖像測量模塊包括至少一個(gè)電荷耦合元件圖像傳感器。
[0020]進(jìn)一步地，所述圖像采集模塊包括三個(gè)電荷耦合元件圖像傳感器，所述圖像采集模塊固定設(shè)置于所述第一支架的支撐桿上；所述圖像測量模塊包括一個(gè)電荷耦合元件圖像傳感器，所述圖像測量模塊可移動(dòng)地設(shè)置于所述第二支架的支撐桿上，所述圖像測量模塊可以沿所述第二支架的支撐桿移動(dòng)。
[0021]進(jìn)一步地，所述基板檢測裝置還包括:
[0022]傳輸單元，平行設(shè)置于所述機(jī)臺(tái)上，能在所述機(jī)臺(tái)上進(jìn)行前后移動(dòng)，用于承載和傳輸待檢測基板。
[0023]進(jìn)一步地，所述機(jī)臺(tái)周邊設(shè)置有標(biāo)尺，所述機(jī)臺(tái)上的標(biāo)尺與放置在所述傳輸單元上的基板邊緣進(jìn)彳丁比對(duì)，建立基板坐標(biāo)和機(jī)臺(tái)坐標(biāo)的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
[0024]進(jìn)一步地，所述檢查部中的電荷耦合元件圖像傳感器獲取所述基板的圖像，根據(jù)所述缺陷位置的灰度值與所述基板正常區(qū)域的灰度值之間的差異確定缺陷位置，并將所述缺陷位置和所述缺陷位置的灰度值通過所述通信模塊發(fā)送給所述判定模塊。
[0025]進(jìn)一步地，所述判定部將所述缺陷位置信息傳輸給所述測量部，所述測量部中的電荷耦合元件圖像傳感器對(duì)所述缺陷位置進(jìn)行特性值測量，得到所述缺陷位置特性值，并將所述缺陷位置特性值再通過所述通信模塊發(fā)送給所述判定模塊。
[0026]進(jìn)一步地，所述判定模塊根據(jù)所述缺陷位置特性值和所述基板上正常區(qū)域的特性值之間的差異確定缺陷等級(jí)，并根據(jù)所述缺陷位置的灰度值與所述缺陷位置特性值的對(duì)應(yīng)關(guān)系建立數(shù)據(jù)庫，所述數(shù)據(jù)庫中的缺陷位置特性值與所述缺陷等級(jí)具有匹配關(guān)系。
[0027](三)有益效果
[0028]本實(shí)用新型提出了一種基板檢測裝置，改變現(xiàn)有檢測裝置將檢查和測量獨(dú)立設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)，將缺陷檢查設(shè)備和缺陷測量設(shè)備集成一體，通過缺陷位置的灰度值和基板特性值的對(duì)應(yīng)關(guān)系完成對(duì)缺陷等級(jí)的自動(dòng)判定，減少因等待導(dǎo)致的生廣線空閑時(shí)間，提聞生廣線的產(chǎn)能，還能減小由于人為判定產(chǎn)生的誤差，提高判定的精準(zhǔn)度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0029]圖1為彩膜基板結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中判定缺陷的方法流程圖；
[0031]圖3為本實(shí)用新型一種基板檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖4為本實(shí)用新型一種基板檢測裝置中檢查部的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖5為本實(shí)用新型一種基板檢測裝置中測量部的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖6為本實(shí)用新型中機(jī)臺(tái)上表面的示意圖。
[0035]其中各編號(hào)代表結(jié)構(gòu)如下:
[0036]O1、玻璃基板，02、黑色矩陣，03、彩色樹脂層，04、保護(hù)層，，10、檢查部，20、測量部，
11、第一支架，12、圖像采集模塊，21、第二支架，22、圖像測量模塊，40、機(jī)臺(tái)，50、傳輸單元。
【具體實(shí)施方式】
[0037]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。
[0038]本實(shí)用新型實(shí)施例中提供了一種基板檢測裝置，組成結(jié)構(gòu)示意圖如圖3所示，具體包括:
[0039]檢查部10、測量部20和判定部，其中判定部在圖3中未顯示。
[0040]檢查部10與測量部20并列設(shè)置，其中檢查部10用于對(duì)基板進(jìn)行檢查并檢查出缺陷，包括圖像采集模塊12和用于承載圖像采集模塊12的第一支架11，圖像采集模塊12中包括至少一個(gè)電荷I禹合元件(Charge-coupled Device,即CCD)圖像傳感器,用于根據(jù)基板圖像獲取缺陷位置的灰度值，檢查部10的結(jié)構(gòu)示意圖如圖4所示。
[0041]測量部20用于對(duì)基板的缺陷進(jìn)行測量，包括圖像測量模塊22和用于承載圖像測量模塊22的第二支架21，圖像測量模塊22包括至少一個(gè)電荷耦合元件圖像傳感器，用于根據(jù)基板圖像獲取基板的特性值，測量部20的結(jié)構(gòu)示意圖如圖5所示。
[0042]判定部分別與檢查部10和測量部20連接，檢查部10根據(jù)灰度值確定缺陷位置，判定部將缺陷位置信息傳輸給測量部20，測量部20對(duì)缺陷位置進(jìn)行特性值測量得到缺陷位置特性值，判定部再根據(jù)缺陷位置特性值判定缺陷的等級(jí)。判定部包括通信模塊和判定模塊，通信模塊分別與檢查部10的圖像采集模塊12和測量部20的圖像測量模塊22連接。
[0043]本實(shí)施例提供的基板檢測裝置還包括:機(jī)臺(tái)40，第一支架11和第二支架21均呈倒“U”型固定于機(jī)臺(tái)40之上，第一支架11和第二支架21均包括兩根支腳和一根支撐桿，支撐桿的兩端與兩根支腳的上端固定連接，兩根支腳的下端固定安裝在機(jī)臺(tái)40上。圖像采集模塊12設(shè)置于第一支架11的支撐桿上，包括至少一個(gè)電荷耦合元件圖像傳感器。在本實(shí)施例中優(yōu)選地方案是圖像采集模塊12包括三個(gè)電荷耦合元件圖像傳感器，能夠?qū)崿F(xiàn)基板在基臺(tái)40上的全方位檢查，而且圖像采集模塊12固定設(shè)置于第一支架11的支撐桿上。圖像測量模塊22設(shè)置在第二支架21的支撐桿上，包括至少一個(gè)電荷耦合元件圖像傳感器。在本實(shí)施例中優(yōu)選地方案是圖像測量模塊22包括一個(gè)電荷耦合元件圖像傳感器，并且可移動(dòng)地設(shè)置于第二支架21的支撐桿上，可以沿第二支架21的支撐桿移動(dòng)，以方便在確定缺陷位置后及時(shí)對(duì)缺陷位置處進(jìn)行特性值的測量。需要說明的是本實(shí)施例中使用的第一支架和第二支架的主要作用是承載圖像采集模塊和圖像測量模塊，下端固定在機(jī)臺(tái)上，并且第一支架和第二支架的高度還可以升降。
[0044]本實(shí)施例提供的基板檢測裝置還包括:傳輸單元50，平行設(shè)置于機(jī)臺(tái)40上，能在機(jī)臺(tái)40上進(jìn)行前后移動(dòng)，用于承載和傳輸待檢測基板，傳輸單元50與機(jī)臺(tái)40可以是獨(dú)立設(shè)計(jì)，還可以是設(shè)計(jì)成一體式的結(jié)構(gòu)。機(jī)臺(tái)40上的傳輸單元50帶動(dòng)基板沿著前后方向進(jìn)行移動(dòng)，從而保證基板在機(jī)臺(tái)40上的每個(gè)區(qū)域都處于檢查和測量的范圍內(nèi)。機(jī)臺(tái)40周邊設(shè)置有標(biāo)尺，機(jī)臺(tái)40上的標(biāo)尺與放置在傳輸單元50上的基板邊緣進(jìn)行比對(duì)，建立基板坐標(biāo)和機(jī)臺(tái)坐標(biāo)的對(duì)應(yīng)關(guān)系，機(jī)臺(tái)上表面的示意圖如圖6所示。通過圖像采集模塊12捕捉圖像，根據(jù)灰度值找出基板的邊界，建立基板坐標(biāo)和機(jī)臺(tái)坐標(biāo)的對(duì)應(yīng)關(guān)系，以方便對(duì)后續(xù)基板測量。
[0045]檢查部10中的電荷耦合元件圖像傳感器獲取基板的圖像，根據(jù)缺陷位置的灰度值與基板正常區(qū)域的灰度值之間的差異確定缺陷位置，得到缺陷位置的灰度值，并將缺陷位置和缺陷位置的灰度值通過通信模塊發(fā)送給判定模塊。判定模塊將檢查部10確定的缺陷位置傳輸給測量部20，測量部20中的電荷耦合元件圖像傳感器對(duì)基板上缺陷位置進(jìn)行特性值測量，得到缺陷位置特性值，并將該缺陷位置特性值再通過通信模塊發(fā)送給判定模塊。判定模塊根據(jù)缺陷位置特性值和基板上正常區(qū)域的特性值之間的差異確定缺陷等級(jí)，及判斷出該基板是否合格，并根據(jù)缺陷位置的灰度值與缺陷位置特性值的對(duì)應(yīng)關(guān)系建立數(shù)據(jù)庫，數(shù)據(jù)庫中的缺陷位置特性值與缺陷等級(jí)具有匹配關(guān)系。
[0046]其中判定模塊是基于計(jì)算機(jī)進(jìn)行判定的，檢查部確定缺陷位置后就將缺陷位置發(fā)送給判定模塊，判定模塊接收到檢查部確定的缺陷位置后確定缺陷在彩膜基板上存在的具體位置，再將缺陷位置傳送給測量部，測量部就不再需要對(duì)基板的整塊區(qū)域進(jìn)行特性值測量，而只需要找到缺陷位置，并將圖像測量模塊通過第二支架移動(dòng)到缺陷位置所在處，對(duì)缺陷位置處進(jìn)行特性值測量。其中特性值是彩膜基板產(chǎn)品主要性能指標(biāo)之一，測量的特性值包括:BM (Black Matrix，黑矩陣)工藝是膜厚值，RGB (紅色、綠色、藍(lán)色樹脂)工藝是膜厚和色度值，OC (Overcoat，平坦層)、PS (Post Spacer，隔墊物)工藝是膜厚值。完成這樣一組缺陷定位和特性值的測量后，就將這一組缺陷位置的灰度值和缺陷特性值的對(duì)應(yīng)關(guān)系，以及缺陷特性值與缺陷等級(jí)的匹配關(guān)系添加到數(shù)據(jù)庫中。
[0047]需要說明的是該數(shù)據(jù)庫可在使用過程中逐漸添加上述對(duì)應(yīng)關(guān)系和匹配關(guān)系來建立，也可以是在數(shù)據(jù)庫中的數(shù)據(jù)源足夠多時(shí)直接使用。如果數(shù)據(jù)庫是在建立的過程中使用的，則當(dāng)判定部再接收到缺陷位置的灰度值時(shí)，將接收的缺陷位置的灰度值與數(shù)據(jù)庫中已有的缺陷位置的灰度值進(jìn)行對(duì)比，如果在數(shù)據(jù)庫中存在與接收的缺陷位置的灰度值相同的缺陷位置的灰度值則直接根據(jù)數(shù)據(jù)庫中的缺陷位置的灰度值以及其與缺陷等級(jí)的匹配關(guān)系確定缺陷等級(jí)，否則還需接收測量部與該缺陷位置的灰度值相對(duì)應(yīng)的特性值，確定新的缺陷等級(jí)，并將接收的缺陷位置的灰度值與新的缺陷等級(jí)添加到數(shù)據(jù)庫中。數(shù)據(jù)庫建立后，判定部就可以根據(jù)檢查部提供的灰度值根據(jù)數(shù)據(jù)庫中缺陷位置的灰度值與缺陷位置特性值的對(duì)應(yīng)關(guān)系和缺陷位置特性值與缺陷等級(jí)的匹配關(guān)系直接判定出缺陷的等級(jí)，無需測量部的特性值數(shù)據(jù)，提高缺陷的判定速度，節(jié)省時(shí)間，減少不良品發(fā)生。
[0048]同時(shí)為了提高運(yùn)算速度，判定模塊出的計(jì)算機(jī)可以將得到的灰度值和特性值分配給多臺(tái)計(jì)算機(jī)同時(shí)進(jìn)行處理，將缺陷位置的灰度值和缺陷位置特性值的對(duì)應(yīng)關(guān)系與缺陷位置特性值與缺陷等級(jí)的匹配關(guān)系保存到數(shù)據(jù)庫中，在檢查出缺陷的同時(shí)即可直接進(jìn)行判定，節(jié)省大量時(shí)間。
[0049]本實(shí)施例提供的一種基板檢測設(shè)備，改變了現(xiàn)有技術(shù)中檢查缺陷和測量缺陷分開設(shè)置的結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)出一種將檢查、測量和判定的功能集于一體的設(shè)備，可以對(duì)缺陷進(jìn)行等級(jí)判定，通過缺陷位置的灰度值和基板特性值的對(duì)應(yīng)關(guān)系完成對(duì)缺陷等級(jí)的自動(dòng)判定，既節(jié)省判定時(shí)間，能快速檢出彩膜基板的宏觀缺陷，減少因等待導(dǎo)致的生產(chǎn)線空閑時(shí)間，提高生產(chǎn)線的產(chǎn)能，還能減小由于人為判定產(chǎn)生的誤差，提高判定的精準(zhǔn)度。
[0050]以上實(shí)施方式僅用于說明本實(shí)用新型，而并非對(duì)本實(shí)用新型的限制，有關(guān)【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本實(shí)用新型的范疇，本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
【權(quán)利要求】
1.一種基板檢測裝置，其特征在于，具體包括:檢查部、測量部和判定部； 所述檢查部與所述測量部并列設(shè)置，其中所述檢查部用于對(duì)所述基板進(jìn)行檢查并檢出缺陷，包括圖像采集模塊和用于承載圖像采集模塊的第一支架，所述圖像采集模塊獲取基板的灰度值； 所述測量部用于對(duì)所述基板的缺陷進(jìn)行測量，包括圖像測量模塊和用于承載圖像測量模塊的第二支架，所述圖像測量模塊獲取基板的特性值； 所述判定部分別與所述檢查部和所述測量部連接，所述檢查部根據(jù)灰度值確定缺陷位置，所述判定部將所述缺陷位置信息傳輸給所述測量部，所述測量部對(duì)所述缺陷位置進(jìn)行特性值測量得到缺陷位置特性值，所述判定部再根據(jù)所述缺陷位置特性值判定缺陷的等級(jí)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述基板檢測裝置還包括: 機(jī)臺(tái)，所述第一支架和所述第二支架均呈倒“U”型固定于所述機(jī)臺(tái)之上； 所述第一支架和/或所述第二支架均包括兩根支腳和一根支撐桿，所述支撐桿的兩端與所述兩根支腳的上端固定連接，所述兩根支腳的下端固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述圖像采集模塊設(shè)置于所述第一支架的支撐桿上，所述圖像測量模塊設(shè)置在所述第二支架的支撐桿上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述判定部包括通信模塊和判定模塊，所述通信 模塊分別與所述檢查部的圖像采集模塊和所述測量部的圖像測量模塊連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述圖像采集模塊包括至少一個(gè)電荷耦合元件圖像傳感器，所述圖像測量模塊包括至少一個(gè)電荷耦合元件圖像傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述圖像采集模塊包括三個(gè)電荷耦合元件圖像傳感器，所述圖像采集模塊固定設(shè)置于所述第一支架的支撐桿上；所述圖像測量模塊包括一個(gè)電荷耦合元件圖像傳感器，所述圖像測量模塊可移動(dòng)地設(shè)置于所述第二支架的支撐桿上，所述圖像測量模塊可以沿所述第二支架的支撐桿移動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述基板檢測裝置還包括: 傳輸單元，平行設(shè)置于所述機(jī)臺(tái)上，能在所述機(jī)臺(tái)上進(jìn)行前后移動(dòng)，用于承載和傳輸待檢測基板。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述機(jī)臺(tái)周邊設(shè)置有標(biāo)尺，所述機(jī)臺(tái)上的標(biāo)尺與放置在所述傳輸單元上的基板邊緣進(jìn)行比對(duì)，建立基板坐標(biāo)和機(jī)臺(tái)坐標(biāo)的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述檢查部中的電荷耦合元件圖像傳感器獲取所述基板的圖像，根據(jù)所述缺陷位置的灰度值與所述基板正常區(qū)域的灰度值之間的差異確定缺陷位置，并將所述缺陷位置和所述缺陷位置的灰度值通過所述通信模塊發(fā)送給所述判定模塊。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述判定部將所述缺陷位置信息傳輸給所述測量部，所述測量部中的電荷耦合元件圖像傳感器對(duì)所述缺陷位置進(jìn)行特性值測量，得到所述缺陷位置特性值，并將所述缺陷位置特性值再通過所述通信模塊發(fā)送給所述判定模塊。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述判定模塊根據(jù)所述缺陷位置特性值和所述基板上正常區(qū)域的特性值之間的差異確定缺陷等級(jí)，并根據(jù)所述缺陷位置的灰度值與所述缺陷位置特性值的對(duì)應(yīng)關(guān)系建立數(shù)據(jù)庫，所述數(shù)據(jù)庫中的缺陷位置特性值與所述缺陷等級(jí) 具有匹配關(guān)系。
【文檔編號(hào)】G01N21/88GK203443900SQ201320362852
【公開日】2014年2月19日 申請(qǐng)日期:2013年6月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月24日
【發(fā)明者】張學(xué)剛, 周鵬, 章旭, 齊勤瑞 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司