技術(shù)編號：6192398
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開一種基板檢測裝置，包括檢查部、測量部和判定部；檢查部與測量部并列設置，其中檢查部用于對基板進行檢查并檢出缺陷，包括用于獲取基板灰度值的圖像采集模塊和用于承載圖像采集模塊的第一支架；測量部用于對基板的缺陷進行測量，包括用于獲取基板特性值的圖像測量模塊和用于承載圖像測量模塊的第二支架；判定部分別與檢查部和測量部連接，測量部對檢查部確定的缺陷位置進行特性值測量，根據(jù)缺陷位置特性值判定缺陷的等級。本實用新型改變現(xiàn)有檢查和測量獨立設計的結(jié)構(gòu)，將檢查設備...
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