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一種通過識別探針卡類型預防燒針的方法與流程

文檔序號:11802415閱讀:806來源:國知局
一種通過識別探針卡類型預防燒針的方法與流程
本發(fā)明涉及機臺測試領(lǐng)域,更具體地說,本發(fā)明涉及一種通過識別探針卡類型預防燒針的方法。

背景技術(shù):
晶圓級可靠性測試所用的探針卡有一些不同的規(guī)格,針對不同的測試項目和條件需搭配使用不同類型的卡。在某些測試中,會出現(xiàn)在探針卡兩端施加較大的電壓的情況。例如,在絕緣體擊穿電壓測試中,由于擊穿瞬間產(chǎn)生的大電流容易導致高功率而燒毀針尖的現(xiàn)象,測試中需要使用帶串聯(lián)電阻的探針卡來進行測試。如圖1所示為帶串聯(lián)電阻的探針卡進行絕緣體擊穿電壓測試的示意圖。探針卡的兩個探針卡10分別接觸待測器件20的兩端。但是,由于這種帶電阻的探針卡與普通的不帶電阻的探針卡并無外觀上的差別,或者測試人員未意識到需要使用帶電阻探針卡。因此,存在操作人員用非匹配探針卡(例如,不帶電阻的探針卡)去進行絕緣體擊穿電壓測試的可能性,這種誤操作極易導致探針針尖燒毀而不能繼續(xù)使用。

技術(shù)實現(xiàn)要素:
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)中存在上述缺陷,提供一種能夠預防燒針的方法。為了實現(xiàn)上述技術(shù)目的,根據(jù)本發(fā)明,提供了一種通過識別探針卡類型預防燒針的方法,其包括:第一步驟:提供探針卡電阻測試結(jié)構(gòu),其中所述探針卡電阻測試結(jié)構(gòu)包括測試電阻,所述測試電阻的第一端包括第一連接點和第二連接點,所述測試電阻的第二端包括第三連接點和第四連接點,其中第一連接點連接至第一金屬墊,第二連接點連接至第二金屬墊,第三連接點連接至第三金屬墊,第四連接點連接至第四金屬墊;第二步驟:利用探針卡電阻測試結(jié)構(gòu)來測試探針卡的電阻值,其中將探針卡的兩個探針的一端分別連接至第一金屬墊和第二金屬墊并測量探針卡的兩個探針的另一端之間的電阻大小,或者將探針卡的兩個探針的一端分別連接至第三金屬墊和第四金屬墊并測量探針卡的兩個探針的另一端之間的電阻大?。坏谌襟E:當?shù)诙襟E測得的電阻大小不小于預定電阻值時,利用所述探針卡執(zhí)行測試;第四步驟:當?shù)诙襟E測得的電阻大小小于預定電阻值時,發(fā)出警告信息,并且不利用所述探針卡執(zhí)行測試。優(yōu)選地,所述探針卡用于絕緣體擊穿電壓測試。優(yōu)選地,所述預定電阻值的大小介于80歐姆至110歐姆之間。優(yōu)選地,所述預定電阻值的大小等于100歐姆。優(yōu)選地,在第四步驟中,當?shù)诙襟E測得的電阻大小小于預定電阻值時,停止測試。由此,本發(fā)明的通過識別探針卡類型預防燒針的方法通過測試探針卡電阻的方法來自動識別探針卡類型,防止因放錯探針卡導致探針損傷的現(xiàn)象。其中,在本發(fā)明中,通過在諸如絕緣體擊穿電壓測試程序之類的測試程序中加入探針卡識別功能,從而當操作人員放入非匹配的探針卡時能夠偵測出,并自動停止測試,預防燒針。附圖說明結(jié)合附圖,并通過參考下面的詳細描述,將會更容易地對本發(fā)明有更完整的理解并且更容易地理解其伴隨的優(yōu)點和特征,其中:圖1示意性地示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的探針卡測試結(jié)構(gòu)。圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實施例的通過識別探針卡類型預防燒針的方法的流程圖。圖3示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實施例的通過識別探針卡類型預防燒針的方法采用的探針卡電阻測試結(jié)構(gòu)。圖4示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實施例的通過識別探針卡類型預防燒針的方法的示意圖。需要說明的是,附圖用于說明本發(fā)明,而非限制本發(fā)明。注意,表示結(jié)構(gòu)的附圖可能并非按比例繪制。并且,附圖中,相同或者類似的元件標有相同或者類似的標號。具體實施方式為了使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚和易懂,下面結(jié)合具體實施例和附圖對本發(fā)明的內(nèi)容進行詳細描述。圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實施例的通過識別探針卡類型預防燒針的方法的流程圖。具體地說,如圖2所示,根據(jù)本發(fā)明實施例的通過識別探針卡類型預防燒針的方法包括:第一步驟S1:提供探針卡電阻測試結(jié)構(gòu),其中如圖3所示,所述探針卡電阻測試結(jié)構(gòu)包括測試電阻30,所述測試電阻30的第一端31包括第一連接點1和第二連接點2,所述測試電阻30的第二端32包括第三連接點3和第四連接點4,其中第一連接點1連接至第一金屬墊P1,第二連接點2連接至第二金屬墊P2,第三連接點3連接至第三金屬墊P3,第四連接點4連接至第四金屬墊P4。第二步驟S2:利用探針卡電阻測試結(jié)構(gòu)來測試探針卡的電阻值,其中將探針卡的兩個探針10的一端分別連接至第一金屬墊P1和第二金屬墊P2(如圖4所示)并測量兩個探針10的另一端之間的電阻大小,或者將探針卡的兩個探針10的一端分別連接至第三金屬墊P3和第四金屬墊P4并測量兩個探針10的另一端之間的電阻大小。第三步驟S3:當?shù)诙襟ES2測得的電阻大小不小于預定電阻值時,利用所述探針卡執(zhí)行測試(例如絕緣體擊穿電壓測試)。優(yōu)選地,所述預定電阻值的大小介于80歐姆至110歐姆之間,進一步優(yōu)選地,所述預定電阻值的大小等于100歐姆。第四步驟S4:當?shù)诙襟ES2測得的電阻大小小于預定電阻值時,發(fā)出警告信息,并且不利用所述探針卡執(zhí)行測試(例如絕緣體擊穿電壓測試),并且例如可以停止測試。由于帶電阻的探針卡與不帶電阻的探針卡的區(qū)別在于在每根探針上串聯(lián)了一個額外的大電阻(≥100歐姆),因此如果能探測探針卡的電阻值就能識別出帶電阻探針卡或常規(guī)探針卡?,F(xiàn)有的很多電阻測試結(jié)構(gòu)中都采用四端法的結(jié)構(gòu)設(shè)計,如圖2所示測試電阻30有四個連接點1、2、3、4,其中連接點1和2之間或連接點3和4之間的電阻很小(加上接觸電阻小于10歐姆)。本發(fā)明建立了一個處理程式,借用任何短接的金屬墊如連接點1和2達到將兩根探針短接的目的(如圖3所示),從而可以測量兩根探針之間的電阻,若電阻小于預定電阻值(例如100歐姆)則判斷為普通不帶電阻的探針卡,隨后可跳出測試程序并報錯;若電阻大于設(shè)定值,則判斷為帶電阻探針卡,繼續(xù)測試。在每個絕緣體擊穿電壓測試程序前加入此程式,這樣如果放錯探針卡,就能夠在測試前自動偵測到,然后終止測試,預防燒針。由此,本發(fā)明的通過識別探針卡類型預防燒針的方法通過測試探針卡電阻的方法來自動識別探針卡類型,防止因放錯探針卡導致探針損傷的現(xiàn)象。其中,在本發(fā)明中,通過在諸如絕緣體擊穿電壓測試程序之類的測試程序中加入探針卡識別功能,從而當操作人員放入非匹配的探針卡時能夠偵測出,并自動停止測試,預防燒針。此外,需要說明的是,除非特別說明或者指出,否則說明書中的術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”等描述僅僅用于區(qū)分說明書中的各個組件、元素、步驟等,而不是用于表示各個組件、元素、步驟之間的邏輯關(guān)系或者順序關(guān)系等??梢岳斫獾氖?,雖然本發(fā)明已以較佳實施例披露如上,然而上述實施例并非用以限定本發(fā)明。對于任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言,在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下,都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動和修飾,或修改為等同變化的等效實施例。因此,凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容,依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾,均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護的范圍內(nèi)。
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