本新用新型屬于半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊測(cè)試領(lǐng)域，涉及一種半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊性能測(cè)試用治具。

背景技術(shù)：
大功率半導(dǎo)體激光光纖耦合器件因其輸出功率高、壽命長(zhǎng)、轉(zhuǎn)換效率高、體積小等優(yōu)點(diǎn)而廣泛應(yīng)用到工業(yè)、國(guó)防、醫(yī)療、泵浦固體激光器等領(lǐng)域，是目前激光技術(shù)領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。大功率半導(dǎo)體激光芯片在工作中會(huì)產(chǎn)生大量的廢熱，為了更好的散熱，需要高質(zhì)量的封裝工藝，為方便后續(xù)的二次設(shè)計(jì)，如TO_Can封裝、光纖耦合等。如圖1所示即為半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊。此階段工藝關(guān)系著半導(dǎo)體激光模塊的質(zhì)量，故于此封裝工藝步驟后，需要通過(guò)嚴(yán)格的功能性檢測(cè)，其性能參數(shù)的好壞直接影響半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊的質(zhì)量。對(duì)半導(dǎo)體激光光纖耦合耦合模塊的性能參數(shù)(如LIV特性、光譜特性等)進(jìn)行測(cè)試和表征是深刻理解半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊特性、優(yōu)化模塊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及完善模塊生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵，同時(shí)也是判斷激光光纖耦合模塊好壞的重要依據(jù)。因此開(kāi)發(fā)和研制半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊綜合性能測(cè)試系統(tǒng)不論對(duì)于科研單位、生產(chǎn)廠(chǎng)商、使用客戶(hù)都具有極為重要的意義。給激光光纖耦合模塊供電的測(cè)試治具是測(cè)試系統(tǒng)的一個(gè)重要環(huán)節(jié)，它要求供電系統(tǒng)的穩(wěn)定，這是對(duì)激光光纖耦合模塊進(jìn)行無(wú)損測(cè)試的前提和保證?，F(xiàn)有的激光光纖耦合模塊測(cè)試治具大都使用螺釘3將激光光纖耦合模塊2固定方式基臺(tái)1的方式，如圖2所示。存在幾個(gè)問(wèn)題：(1)此方式純粹憑借作業(yè)員的人工操作，包括模塊固定，給電治具安裝等，耗時(shí)時(shí)間長(zhǎng)；(2)使用螺釘固定的方式存在壓力不平衡，重復(fù)測(cè)量精度差、導(dǎo) 致模組損壞等缺陷。如若螺釘緊固壓力過(guò)大，壓痕明顯，外觀(guān)不美觀(guān)，且對(duì)激光光纖耦合模塊具有毀滅性的損壞；(3)散熱效果差，大電流下功率測(cè)試不準(zhǔn)確。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊測(cè)試治具，以解決現(xiàn)有技術(shù)中人工操作低效耗時(shí)、螺釘緊固壓力不平衡易損壞激光光纖耦合模塊以及散熱效果較差的技術(shù)問(wèn)題。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的一個(gè)技術(shù)方案是：提供一種用于半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊測(cè)試治具，包括：散熱載臺(tái)，用于承載激光光纖耦合模塊，并在測(cè)試時(shí)對(duì)所述激光光纖耦合模塊進(jìn)行液冷式散熱；壓緊單元，用于以彈性壓緊方式將所述激光光纖耦合模塊壓緊在所述散熱載臺(tái)上進(jìn)而進(jìn)行測(cè)試。根據(jù)本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例，所述散熱載臺(tái)包括：基板；絕緣層墊，設(shè)于所述基板上；水槽，設(shè)于所述絕緣層墊上；散熱金屬板，設(shè)于所述水槽上，用于承載所述激光光纖耦合模塊的下表面。根據(jù)本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例，所述散熱載臺(tái)還包括半導(dǎo)體制冷片，所述半導(dǎo)體制冷片，設(shè)于所述水槽和所述散熱金屬板之間。根據(jù)本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例，所述散熱載臺(tái)還包括進(jìn)、出水水管，所述進(jìn)、出水水管與所述水槽構(gòu)成流體回路。根據(jù)本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例，所述壓緊單元包括：固定機(jī)構(gòu)；滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，與所述固定機(jī)構(gòu)相固定；控制機(jī)構(gòu)，與所述固定機(jī)構(gòu)相固定并與所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)活動(dòng)配合；彈性機(jī)構(gòu)，與所述控制機(jī)構(gòu)相連接，以在所述控制機(jī)構(gòu)的作用下進(jìn) 行升降。根據(jù)本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例，所述固定機(jī)構(gòu)包括：支撐桿；橫梁塊，固定于所述支撐桿上；L型載板，固定于所述橫梁塊上。根據(jù)本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例，所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：滑軌安裝板，固定于所述橫梁塊上；滑動(dòng)導(dǎo)軌，固定于所述滑軌安裝板上；滑塊，與所述滑動(dòng)導(dǎo)軌滑動(dòng)配合。根據(jù)本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例，所述控制機(jī)構(gòu)包括：快速夾，固定于所述橫梁塊上；連接板，安裝于所述快速夾上。根據(jù)本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例，所述彈性機(jī)構(gòu)包括：彈簧支撐塊，連接于所述連接板的底部；彈簧伸縮板，與所述彈簧支撐塊相固定；彈簧引導(dǎo)桿，一端穿設(shè)于所述彈簧伸縮板上；彈簧，套設(shè)于所述彈簧引導(dǎo)桿上；硅膠軟墊安裝板，連接于所述彈簧引導(dǎo)桿的另一端，所述彈簧位于所述彈簧伸縮板和所述硅膠軟墊安裝板之間；彈性硅膠墊，固定于所述硅膠軟墊安裝板表面，用于彈性壓住所述激光光纖耦合模塊的上表面。根據(jù)本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例，所述彈簧引導(dǎo)桿和所述彈簧為四組。本實(shí)用新型的有益效果是：區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本實(shí)用新型提供的用于半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊測(cè)試治具可以進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)測(cè)試、可以較好保證探針與半導(dǎo)體激光芯片的相對(duì)位置并且不易對(duì)芯片產(chǎn)生損傷。附圖說(shuō)明為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖，其中：圖1是一種激光光纖耦合模塊的示意圖；圖2是現(xiàn)有技術(shù)激光光纖耦合模塊測(cè)試時(shí)的安裝示意圖；圖3是本實(shí)用新型提供的用于半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊測(cè)試治具的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖3，圖3是本實(shí)用新型提供的用于半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊測(cè)試治具的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊測(cè)試治具，該用于半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊測(cè)試治具包括散熱載臺(tái)和壓緊單元，其中，散熱載臺(tái)用于承載激光光纖耦合模塊，并在測(cè)試時(shí)對(duì)所述激光光纖耦合模塊進(jìn)行液冷式散熱；壓緊單元用于以彈性壓緊方式將所述激光光纖耦合模塊壓緊在所述散熱載臺(tái)上進(jìn)而進(jìn)行測(cè)試。具體而言，所述散熱載臺(tái)包括基板110、絕緣層墊120、水槽130、散熱金屬板140、半導(dǎo)體制冷片150以及進(jìn)水水管161、出水水管162。其中，基板110可由平板101和立板112支撐至預(yù)定高度以提供一個(gè)穩(wěn)定的支撐承載測(cè)試平臺(tái)；絕緣層墊120設(shè)于所述基板110上以將基板110與基板110之上的部件絕緣隔離以防止給電測(cè)試時(shí)漏電；水槽130設(shè)于所述絕緣層墊120上，水槽130可采用導(dǎo)熱系數(shù)較好的材料，例如 鋁合金材料等；散熱金屬板140設(shè)于所述水槽130上，用于承載激光光纖耦合模塊的下表面，散熱金屬板140工作面設(shè)計(jì)有嚴(yán)格的平坦性，使得激光光纖耦合模塊底面能夠與其充分接觸，散熱金屬板140用于在激光模塊測(cè)試過(guò)程及時(shí)將熱量散出，提供良好的散熱環(huán)境，其尺寸可以根據(jù)不同模塊的尺寸進(jìn)行相應(yīng)的改變。在本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例中，所述散熱載臺(tái)還包括半導(dǎo)體制冷片150，所述半導(dǎo)體制冷片150設(shè)于所述水槽130和所述散熱金屬板140之間，通過(guò)循環(huán)冷水加半導(dǎo)體制冷二級(jí)溫度控制方式可實(shí)現(xiàn)大范圍的溫度精度控制，可以滿(mǎn)足不同溫度情況下的激光光纖耦合模塊測(cè)試。進(jìn)水水管161、出水水管162與所述水槽130構(gòu)成流體回路。在本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例，所述壓緊單元包括固定機(jī)構(gòu)、滑動(dòng)機(jī)構(gòu)、控制機(jī)構(gòu)以及彈性機(jī)構(gòu)，其中，固定機(jī)構(gòu)用于提供壓緊單元的其他機(jī)構(gòu)固定安裝，滑動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述固定機(jī)構(gòu)相固定；控制機(jī)構(gòu)與所述固定機(jī)構(gòu)相固定并與所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)活動(dòng)配合；彈性機(jī)構(gòu)與所述控制機(jī)構(gòu)相連接，以在所述控制機(jī)構(gòu)的作用下進(jìn)行升降。具體而言，所述固定機(jī)構(gòu)包括支撐桿210、橫梁塊220以及L型載板230。其中，支撐桿210與基板110相固定；橫梁塊220固定于所述支撐桿210上；L型載板230的一面固定于所述橫梁塊220上。所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括滑軌安裝板240、滑動(dòng)導(dǎo)軌250以及滑塊260。其中，滑軌安裝板240固定于所述橫梁塊220的外端面；滑動(dòng)導(dǎo)軌250固定于所述滑軌安裝板240的外表面并豎直設(shè)置；滑塊260與所述滑動(dòng)導(dǎo)軌250滑動(dòng)配合。所述控制機(jī)構(gòu)包括快速夾270和連接板280。其中，快速夾270固定于所述橫梁塊220上，所述快速夾270主要用來(lái)快速將壓緊單元抬起或下壓，下壓時(shí)可以自鎖，不反彈。連接板280安裝于所述快速夾270上，連接板280呈匚形，其中間部與滑滑塊260相固定，兩頭側(cè)板分別與快速夾270和彈簧支撐塊290相連接。所述彈性機(jī)構(gòu)包括彈簧支撐塊290、彈簧伸縮板300、彈簧引導(dǎo)桿 310、彈簧320、硅膠軟墊安裝板330以及彈性硅膠墊340。其中，彈簧支撐塊290連接于所述連接板280的底部，具體地，彈簧支撐塊290亦呈匚形，其中間板與連接板280的一塊側(cè)板相固定；彈簧伸縮板300與所述彈簧支撐塊290相固定，具體地，彈簧伸縮板300固定連接于彈簧支撐塊290的兩側(cè)板的端部；彈簧引導(dǎo)桿310的一端穿設(shè)于所述彈簧伸縮板300上，該彈簧引導(dǎo)桿310包括桿體和端帽，桿體和彈簧伸縮板300穿設(shè)并通過(guò)端帽限位；彈簧320套設(shè)于所述彈簧320引導(dǎo)桿310上；硅膠軟墊安裝板330連接于所述彈簧引導(dǎo)桿310的另一端，所述彈簧320位于所述彈簧320伸縮板300和所述硅膠軟墊安裝板330之間；彈性硅膠墊340固定于所述硅膠軟墊安裝板330的下表面，用于彈性壓住所述激光光纖耦合模塊的上表面，彈性硅膠墊340為一塊，采用耐熱性能及彈性適中的材料，可以保證激光光纖耦合模塊與散熱基板充分接觸，使得激光光纖耦合模塊在測(cè)試過(guò)程中可以更好的散熱。在本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例中，所述彈簧引導(dǎo)桿310和所述彈簧320為四組，彈簧320采用彈性系數(shù)良好的材料，可以保證在壓緊過(guò)程中激光光纖耦合模塊受力均勻，不會(huì)使激光光纖耦合模塊受到機(jī)械硬傷。利用本實(shí)用新型提供的用于半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊測(cè)試治具測(cè)試時(shí)，首先利用快速夾270將彈性機(jī)構(gòu)抬起，然后手動(dòng)將待測(cè)的激光光纖耦合模塊放置在散熱金屬板140中，最后利用快速夾270將彈性機(jī)構(gòu)下壓，使得彈性硅膠墊340緊壓在待測(cè)的激光光纖耦合模塊上。綜上所述，本領(lǐng)域技術(shù)人員容理解，本實(shí)用新型提供的用于半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊測(cè)試治具能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)激光光纖耦合模塊的均勻壓力和電流注入，對(duì)大功率的半導(dǎo)體激光光纖耦合模塊進(jìn)行無(wú)損測(cè)試。直上直下的簡(jiǎn)單操作即可完成激光光纖耦合模塊的裝載，可提供穩(wěn)定的電流注入，大大提高測(cè)試效率，并且具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉、操作方便等優(yōu)點(diǎn)。以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專(zhuān)利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本 實(shí)用新型的專(zhuān)利保護(hù)范圍內(nèi)。