亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

陀螺傳感器和電子設(shè)備的制作方法與工藝

文檔序號:12701980閱讀:來源:國知局
陀螺傳感器和電子設(shè)備的制作方法與工藝

技術(shù)特征:
1.一種陀螺傳感器,包括:振動體;第一固定驅(qū)動電極,其在俯視觀察時,被設(shè)置在與所述振動體的驅(qū)動振動方向交叉的第一方向側(cè),并使所述振動體進(jìn)行振動;第二固定驅(qū)動電極,其在俯視觀察時,被設(shè)置在所述第一方向側(cè)的相反側(cè),并使所述振動體進(jìn)行振動;固定檢測電極,其對根據(jù)所述振動體的角速度而發(fā)生變化的信號進(jìn)行檢測;第一驅(qū)動布線,其與所述第一固定驅(qū)動電極相連接,并具有向所述驅(qū)動振動方向的一側(cè)延伸的第一延伸部和從第一延伸部的所述驅(qū)動振動方向的一側(cè)的端部向所述第一方向側(cè)的相反側(cè)延伸的第二延伸部;第二驅(qū)動布線,其與所述第二固定驅(qū)動電極相連接,并向所述驅(qū)動振動方向的所述一側(cè)延伸至所述第一驅(qū)動布線的所述第二延伸部;檢測布線,其與所述固定檢測電極相連接,并向所述一側(cè)的相反側(cè)延伸。2.如權(quán)利要求1所述的陀螺傳感器,其中,所述驅(qū)動布線和所述檢測布線不交叉。3.如權(quán)利要求1所述的陀螺傳感器,其中,包括從所述振動體延伸出的可動驅(qū)動電極,所述第一固定驅(qū)動電極和所述第二固定驅(qū)動電極以與所述可動驅(qū)動電極對置的方式而設(shè)置。4.如權(quán)利要求1所述的陀螺傳感器,其中,包括:位移部,其經(jīng)由彈簧部而與所述振動體相連接;可動檢測電極,其從所述位移部延伸出,所述固定檢測電極以與所述可動檢測電極對置的方式而設(shè)置。5.如權(quán)利要求1所述的陀螺傳感器,其中,所述振動體的形狀為框狀,所述固定檢測電極被設(shè)置在所述振動體的內(nèi)側(cè)。6.一種電子設(shè)備,其包括權(quán)利要求1所述的陀螺傳感器。
當(dāng)前第2頁1 2 3 
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點(diǎn)贊!
1