本發(fā)明涉及一種陀螺傳感器和電子設(shè)備。

背景技術(shù)：
近年來(lái)，開(kāi)發(fā)了一種例如利用硅MEMS（MicroElectroMechanicalSystem：微電子機(jī)械系統(tǒng)）技術(shù)而對(duì)角速度進(jìn)行檢測(cè)的角速度傳感器（陀螺傳感器）。例如，在專利文獻(xiàn)1中，公開(kāi)了一種如下的陀螺傳感器，所述陀螺傳感器具備：振動(dòng)體；驅(qū)動(dòng)電極，其使振動(dòng)體進(jìn)行振動(dòng)；檢測(cè)電極，其對(duì)根據(jù)振動(dòng)體的角速度而發(fā)生變化的信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)。驅(qū)動(dòng)電極和檢測(cè)電極分別與驅(qū)動(dòng)布線和檢測(cè)布線相連接。但是，在如上文所述的陀螺傳感器中，因?yàn)榻?jīng)由驅(qū)動(dòng)布線而向驅(qū)動(dòng)電極施加交流電壓，所以當(dāng)存在驅(qū)動(dòng)電極和檢測(cè)電極交叉的部分時(shí)，有時(shí)會(huì)經(jīng)由在驅(qū)動(dòng)布線與檢測(cè)布線之間所產(chǎn)生的寄生電容，而在檢測(cè)布線中流通有電流。這種電流無(wú)法與根據(jù)振動(dòng)體的角速度而發(fā)生變化的信號(hào)分離，從而有時(shí)會(huì)導(dǎo)致陀螺傳感器的檢測(cè)精度降低。專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)平7-218268號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的幾個(gè)方式所涉及的目的中之一在于，提供一種如下的陀螺傳感器，所述陀螺傳感器能夠抑制經(jīng)由在驅(qū)動(dòng)布線與檢測(cè)布線之間所產(chǎn)生的寄生電容，而在檢測(cè)布線中流通有電流的情況。此外，本發(fā)明的幾個(gè)方式所涉及的目的之一在于，提供一種具有上述的陀螺傳感器的電子設(shè)備。本發(fā)明是為了解決前述的課題中的至少一部分而完成的，并且能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。應(yīng)用例1本應(yīng)用例所涉及的陀螺傳感器包括：振動(dòng)體；第一固定驅(qū)動(dòng)電極，其在俯視觀察時(shí)，被設(shè)置在與所述振動(dòng)體的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)方向交叉的第一方向側(cè)，并使所述振動(dòng)體進(jìn)行振動(dòng)；第二固定驅(qū)動(dòng)電極，其在俯視觀察時(shí)，被設(shè)置在所述第一方向側(cè)的相反側(cè)，并使所述振動(dòng)體進(jìn)行振動(dòng)；固定檢測(cè)電極，其對(duì)根據(jù)所述振動(dòng)體的角速度而發(fā)生變化的信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)；第一驅(qū)動(dòng)布線，其與所述第一固定驅(qū)動(dòng)電極相連接，并向所述驅(qū)動(dòng)振動(dòng)方向的一側(cè)延伸；第二驅(qū)動(dòng)布線，其與所述第二固定驅(qū)動(dòng)電極相連接，并向所述驅(qū)動(dòng)振動(dòng)方向的所述一側(cè)延伸；檢測(cè)布線，其與所述固定檢測(cè)電極相連接，并向所述一側(cè)的相反側(cè)延伸。根據(jù)這種陀螺傳感器，能夠抑制經(jīng)由在第一驅(qū)動(dòng)布線以及第二驅(qū)動(dòng)布線、與檢測(cè)布線之間所產(chǎn)生的寄生電容，而在檢測(cè)布線中流通有電流的情況。應(yīng)用例2在本應(yīng)用例所涉及的陀螺傳感器中，可以采用如下方式，即，所述第一驅(qū)動(dòng)布線具有在所述振動(dòng)體的所述一側(cè)，向所述第一方向側(cè)的相反側(cè)延伸的部分。根據(jù)這種陀螺傳感器，能夠更加可靠地抑制經(jīng)由在第一驅(qū)動(dòng)布線以及第二驅(qū)動(dòng)布線、與檢測(cè)布線之間所產(chǎn)生的寄生電容，而在檢測(cè)布線中流通有電流的情況。應(yīng)用例3在本應(yīng)用例所涉及的陀螺傳感器中，可以采用如下方式，即，在應(yīng)用例1或2中，所述第一驅(qū)動(dòng)布線和所述第二驅(qū)動(dòng)布線相連接。根據(jù)這種陀螺傳感器，能夠使布線共用化，從而能夠減少布線數(shù)量。應(yīng)用例4在本應(yīng)用例所涉及的陀螺傳感器中，可以采用如下方式，即，所述驅(qū)動(dòng)布線與所述檢測(cè)布線不交叉。根據(jù)這種陀螺傳感器，能夠更加可靠地抑制經(jīng)由在第一驅(qū)動(dòng)布線以及第二驅(qū)動(dòng)布線、與檢測(cè)布線之間所產(chǎn)生的寄生電容，而在檢測(cè)布線中流通有電流的情況。應(yīng)用例5在本應(yīng)用例所涉及的陀螺傳感器中，可以采用如下方式，即，包括從所述振動(dòng)體延伸出的可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極，所述第一固定驅(qū)動(dòng)電極和所述第二固定驅(qū)動(dòng)電極以與所述可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極對(duì)置的方式而設(shè)置。根據(jù)這種陀螺傳感器，能夠抑制經(jīng)由在第一驅(qū)動(dòng)布線以及第二驅(qū)動(dòng)布線、與檢測(cè)布線之間所產(chǎn)生的寄生電容，而在檢測(cè)布線中流通有電流的情況。應(yīng)用例6在本應(yīng)用例所涉及的陀螺傳感器中，可以采用如下方式，即，包括：位移部，其經(jīng)由彈簧部而與所述振動(dòng)體相連接；可動(dòng)檢測(cè)電極，其從所述位移部延伸出，所述固定檢測(cè)電極以與所述可動(dòng)檢測(cè)電極對(duì)置的方式而設(shè)置。根據(jù)這種陀螺傳感器，能夠抑制經(jīng)由在第一驅(qū)動(dòng)布線以及第二驅(qū)動(dòng)布線、與檢測(cè)布線之間所產(chǎn)生的寄生電容，而在檢測(cè)布線中流通有電流的情況。應(yīng)用例7在本應(yīng)用例所涉及的陀螺傳感器中，可以采用如下方式，即，所述振動(dòng)體的形狀為框狀，所述固定檢測(cè)電極被設(shè)置在所述振動(dòng)體的內(nèi)側(cè)。根據(jù)這種陀螺傳感器，能夠抑制經(jīng)由在第一驅(qū)動(dòng)布線以及第二驅(qū)動(dòng)布線、與檢測(cè)布線之間所產(chǎn)生的寄生電容，而在檢測(cè)布線中流通有電流的情況。應(yīng)用例8本應(yīng)用例所涉及的電子設(shè)備包括上述任一應(yīng)用例所涉及的陀螺傳感器。根據(jù)這種電子設(shè)備，能夠具有如下的陀螺傳感器，所述陀螺傳感器能夠抑制經(jīng)由在第一驅(qū)動(dòng)布線以及第二驅(qū)動(dòng)布線、與檢測(cè)布線之間所產(chǎn)生的寄生電容，而在檢測(cè)布線中流通有電流的情況。附圖說(shuō)明圖1為示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器的俯視圖。圖2為示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器的剖視圖。圖3為示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器的剖視圖。圖4為示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器的功能元件的俯視圖。圖5為用于對(duì)本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖6為用于對(duì)本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖7為用于對(duì)本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖8為用于對(duì)本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖9為示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器的制造工序的剖視圖。圖10為示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器的制造工序的剖視圖。圖11為示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器的制造工序的剖視圖。圖12為示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的立體圖。圖13為示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的立體圖。圖14為示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的立體圖。具體實(shí)施方式下面，利用附圖，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。另外，在下文中所說(shuō)明的實(shí)施方式并不是對(duì)權(quán)利要求中所記載的本發(fā)明的內(nèi)容不當(dāng)?shù)剡M(jìn)行限定的方式。此外，在以下所說(shuō)明的結(jié)構(gòu)并不一定都是本發(fā)明的必要結(jié)構(gòu)要件。1.陀螺傳感器首先，在參照附圖的同時(shí)，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器進(jìn)行說(shuō)明。圖1為示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器100的俯視圖。圖2為示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器100的、沿圖1中的II-II線的剖視圖。圖3為示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器100的、沿圖1中的III-III線的剖視圖。另外，在圖1～圖3中，作為互相正交的三個(gè)軸，圖示了X軸、Y軸、Z軸。如圖1～圖3所示，陀螺傳感器100可以包括：基板10；功能元件102；第一驅(qū)動(dòng)布線20、21；第二驅(qū)動(dòng)布線22、23；檢測(cè)布線30、31。陀螺傳感器100還可以包括：第一連接布線24、25；第二連接布線32、33；固定電位布線40；蓋體50。另外，從方便角度考慮，在圖1和圖3中，省略了蓋體50而進(jìn)行圖示?；?0的材質(zhì)例如為玻璃、硅。如圖2所示，基板10具有第一面11、和第一面11的相反側(cè)的第二面12。在圖示的示例中，第一面11和第二面12為與XY平面平行的面。在基板10的第一面11上，設(shè)置有凹部14。在凹部14的上方，隔著間隙而設(shè)置有功能元件102的振動(dòng)體112。通過(guò)凹部14，從而振動(dòng)體112能夠在不被基板10妨礙的條件下，在所需的方向上可動(dòng)。凹部14的平面形狀并不被特別地限定，例如為矩形。如圖2和圖3所示，在基板10的第一面11上還可以設(shè)置有槽部16、18。另外，從方便角度考慮，在圖1中，省略了凹部14和槽部16、18的圖示。功能元件102被設(shè)置在基板10上（基板10的第一面11上）。在下文中，對(duì)功能元件102為對(duì)繞Z軸的角速度進(jìn)行檢測(cè)的陀螺傳感器元件（靜電電容型MEMS陀螺傳感器元件）的示例進(jìn)行說(shuō)明。圖4為示意性地表示功能元件102的俯視圖。另外，在圖4中，作為互相垂直的三個(gè)軸，圖示了X軸、Y軸、Z軸。如圖2和圖4所示，功能元件102具有第一結(jié)構(gòu)體106和第二結(jié)構(gòu)體108。第一結(jié)構(gòu)體106和第二結(jié)構(gòu)體108沿著X軸而相互連結(jié)。第一結(jié)構(gòu)體106與第二結(jié)構(gòu)體108相比位于-X軸方向側(cè)。如圖4所示，結(jié)構(gòu)體106、108例如具有相對(duì)于兩者的邊界線B（沿著Y軸的直線）對(duì)稱的形狀。另外，雖然未圖示，但是功能元件102可以不具有第二結(jié)構(gòu)體108，而由第一結(jié)構(gòu)體106構(gòu)成。如圖4所示，結(jié)構(gòu)體106、108可以具有：振動(dòng)體112；第一彈簧部114；可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116；位移部122；第二彈簧部124；可動(dòng)檢測(cè)電極126；第一固定驅(qū)動(dòng)電極130、132；第二固定驅(qū)動(dòng)電極134、136；固定檢測(cè)電極140、142；固定部150。振動(dòng)體112、彈簧部114、124、可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116、位移部122、可動(dòng)檢測(cè)電極126以及固定部150，例如通過(guò)對(duì)被接合在基板10上的硅基板（未圖示）進(jìn)行加工，從而被一體地成形。由此，能夠應(yīng)用被利用在硅半導(dǎo)體器件的制造中的微細(xì)的加工技術(shù)，并且能夠?qū)崿F(xiàn)功能元件102的小型化。功能元件102的材質(zhì)為，例如通過(guò)摻雜了磷、硼等雜質(zhì)而被賦予了導(dǎo)電性的硅。振動(dòng)體112例如具有框狀（框架狀）的形狀。在振動(dòng)體112的內(nèi)側(cè)，設(shè)置有位移部122、可動(dòng)檢測(cè)電極126以及固定檢測(cè)電極140、142。第一彈簧部114的一端被連接在振動(dòng)體112上，而另一端被連接在固定部150上。固定部150被固定在基板10上（基板10的第一面11上）。即，在固定部150的下方未設(shè)置有凹部14。振動(dòng)體112經(jīng)由第一彈簧部114而被固定部150支承。在圖示的示例中，第一彈簧部114在第一結(jié)構(gòu)體106和第二結(jié)構(gòu)體108中各設(shè)置有四個(gè)。另外，可以不設(shè)置第一結(jié)構(gòu)體106與第二結(jié)構(gòu)體108之間的分界線B上的固定部150。第一彈簧部114被構(gòu)成為，能夠使振動(dòng)體112在X軸方向上發(fā)生位移。即，振動(dòng)體112的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)方向?yàn)閄軸方向。更具體而言，第一彈簧部114具有在于Y軸方向上（沿著Y軸）往復(fù)并在X軸方向上（沿著X軸）延伸的形狀。另外，第一彈簧部114只要能夠使振動(dòng)體112沿著X軸進(jìn)行振動(dòng)，其數(shù)量便不被特別地限定?？蓜?dòng)驅(qū)動(dòng)電極116被連接在振動(dòng)體112上?？蓜?dòng)驅(qū)動(dòng)電極116從振動(dòng)體112向+Y軸方向和-Y軸方向延伸。在圖4所示的示例中，可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116被設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116被排列在X軸方向上?？蓜?dòng)驅(qū)動(dòng)電極116能夠隨著振動(dòng)體112的振動(dòng)而沿著X軸進(jìn)行振動(dòng)。第一固定驅(qū)動(dòng)電極130、132被固定在基板10上（基板10的第一面11上）。在俯視觀察時(shí)，第一固定驅(qū)動(dòng)電極130、132被設(shè)置在振動(dòng)體112的+Y軸方向側(cè)（與振動(dòng)體112的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)方向交叉的第一方向側(cè)）。第一固定驅(qū)動(dòng)電極130、132以與從振動(dòng)體112向+Y軸方向延伸的可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極（第一可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極）116對(duì)置，并隔著第一可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的方式而設(shè)置。更具體而言，對(duì)于隔著第一可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的第一固定驅(qū)動(dòng)電極130、132而言，在第一結(jié)構(gòu)體106中，第一固定驅(qū)動(dòng)電極130被設(shè)置在第一可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的-X軸方向側(cè)，第一固定驅(qū)動(dòng)電極132被設(shè)置在第一可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的+X軸方向側(cè)。在第二結(jié)構(gòu)體108中，第一固定驅(qū)動(dòng)電極130被設(shè)置在第一可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的+X軸方向側(cè)，第一固定驅(qū)動(dòng)電極132被在第一可動(dòng)電極116的-X軸方向側(cè)。如圖1所示，第一固定驅(qū)動(dòng)電極130與第一驅(qū)動(dòng)布線20相連接，第一固定驅(qū)動(dòng)電極132與第一驅(qū)動(dòng)布線21相連接。第一固定驅(qū)動(dòng)電極130、132根據(jù)第一可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的數(shù)量而設(shè)置有多個(gè)，并且被排列在X軸方向上。在圖4所示的示例中，第一固定驅(qū)動(dòng)電極130、132具有梳齒狀的形狀，第一可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116具有能夠插入到第一固定驅(qū)動(dòng)電極130、132的梳齒間的形狀。第二固定驅(qū)動(dòng)電極134、136被固定在基板10上（基板10的第一面11上）。在俯視觀察時(shí)，第二固定驅(qū)動(dòng)電極134、136被設(shè)置在振動(dòng)體112的-Y軸方向側(cè)（第一方向側(cè)的相反側(cè)）。第二固定驅(qū)動(dòng)電極134、136以與從振動(dòng)體112向-Y軸方向延伸的可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極（第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極）116對(duì)置，并隔著第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的方式而設(shè)置。更具體而言，對(duì)于隔著第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的第二固定驅(qū)動(dòng)電極134、136而言，在第一結(jié)構(gòu)體106中，第二固定驅(qū)動(dòng)電極134被設(shè)置在第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的-X軸方向側(cè)，第二固定驅(qū)動(dòng)電極136被設(shè)置在第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的+X軸方向側(cè)。在第二結(jié)構(gòu)體108中，第二固定驅(qū)動(dòng)電極134被設(shè)置在第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的+X軸方向側(cè)，第二固定驅(qū)動(dòng)電極136被設(shè)置在第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的-X軸方向側(cè)。如圖1所示，第二固定驅(qū)動(dòng)電極134與第二驅(qū)動(dòng)布線22相連接，第二固定驅(qū)動(dòng)電極136與第二驅(qū)動(dòng)布線23相連接。第二固定驅(qū)動(dòng)電極134、136根據(jù)第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的數(shù)量而設(shè)置有多個(gè)，并且被排列在X軸方向上。在圖4所示的示例中，第二固定驅(qū)動(dòng)電極134、136具有梳齒狀的形狀，第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116具有能夠插入到第二固定驅(qū)動(dòng)電極134、136的梳齒間的形狀。固定驅(qū)動(dòng)電極130、132、134、136和可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116為，用于使振動(dòng)體112進(jìn)行振動(dòng)的電極。位移部122經(jīng)由第二彈簧部124而與振動(dòng)體112相連接。在圖示的示例中，位移部122的平面形狀為具有沿著Y軸的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)方形。另外，雖然未圖示，但位移部122可以被設(shè)置在振動(dòng)體112的外側(cè)。第二彈簧部124被構(gòu)成為，能夠使位移部122在Y軸方向上發(fā)生位移。更具體而言，第二彈簧部124具有在X軸方向上往復(fù)并在Y軸方向上延伸的形狀。另外，第二彈簧部124只要能夠使位移部122沿著Y軸發(fā)生位移，其數(shù)量便不被特別限定?？蓜?dòng)檢測(cè)電極126與位移部122相連接?？蓜?dòng)檢測(cè)電極126例如被設(shè)置有多個(gè)?？蓜?dòng)檢測(cè)電極126從位移部122向+X軸方向及-X軸方向延伸。固定檢測(cè)電極140、142被固定在基板10上（基板10的第一面11上）。更具體而言，固定檢測(cè)電極140、142的一端被固定在基板10上，另一端作為自由端而向位移部122側(cè)延伸。固定檢測(cè)電極140、142以與可動(dòng)檢測(cè)電極126對(duì)置，并隔著可動(dòng)檢測(cè)電極126的方式而設(shè)置。更具體而言，對(duì)于隔著可動(dòng)檢測(cè)電極126的固定檢測(cè)電極140、142而言，在第一結(jié)構(gòu)體106中，固定檢測(cè)電極140被設(shè)置在可動(dòng)檢測(cè)電極126的-Y軸方向側(cè)，固定檢測(cè)電極142被設(shè)置在可動(dòng)檢測(cè)電極126的+Y軸方向側(cè)。在第二結(jié)構(gòu)體108中，固定檢測(cè)電極140被設(shè)置在可動(dòng)檢測(cè)電極126的+Y軸方向側(cè)，固定檢測(cè)電極142被設(shè)置在可動(dòng)檢測(cè)電極126的-Y軸方向側(cè)。如圖1所示，固定檢測(cè)電極140與檢測(cè)布線30相連接，固定檢測(cè)電極142與檢測(cè)布線31相連接。在圖4所示的示例中，固定檢測(cè)電極140、142被設(shè)置有多個(gè)，并且沿著Y軸而交替地排列。固定檢測(cè)電極140、142和可動(dòng)檢測(cè)電極126為，用于對(duì)根據(jù)振動(dòng)體112的角速度而發(fā)生變化的信號(hào)（靜電電容）進(jìn)行檢測(cè)的電極。如圖1～圖3所示，第一驅(qū)動(dòng)布線20、21被設(shè)置在基板10上。如圖1所示，在俯視觀察時(shí)，第一驅(qū)動(dòng)布線20與第一固定驅(qū)動(dòng)電極130相連接。第一驅(qū)動(dòng)布線20為用于向第一固定驅(qū)動(dòng)電極130施加交流電壓的布線。第一驅(qū)動(dòng)布線20具有被設(shè)置在振動(dòng)體112的（功能元件102的）+Y軸方向側(cè)的第一延伸部20a、和被設(shè)置在振動(dòng)體112的（功能元件102的）-X軸方向側(cè)的第二延伸部20b。第一延伸部20a向-X軸方向側(cè)（振動(dòng)體112的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)方向的一側(cè)）延伸。更具體而言，第一延伸部20a從第二結(jié)構(gòu)體108的位于最靠+X軸方向側(cè)的第一固定驅(qū)動(dòng)電極130，延伸至第一結(jié)構(gòu)體106的位于最靠-X軸方向側(cè)的第一固定驅(qū)動(dòng)電極130，而且，從第一結(jié)構(gòu)體106的位于最靠-X軸方向側(cè)的第一固定驅(qū)動(dòng)電極130向-X軸方向延伸至第二延伸部20b。第二延伸部20b在振動(dòng)體112的-X軸方向側(cè)，向-Y軸方向側(cè)延伸。更具體而言，第二延伸部20b從第一延伸部20a向-Y軸方向延伸至第二驅(qū)動(dòng)布線22。如圖1所示，在俯視觀察時(shí)，第一驅(qū)動(dòng)布線21與第一固定驅(qū)動(dòng)電極132相連接。第一驅(qū)動(dòng)布線21為用于向第一固定驅(qū)動(dòng)電極132施加交流電壓的布線。第一驅(qū)動(dòng)布線21具有被設(shè)置在振動(dòng)體112的（功能元件102的）+Y軸方向側(cè)的第一延伸部21a、和被設(shè)置在振動(dòng)體112的（功能元件102的）-X軸方向側(cè)的第二延伸部21b。第一延伸部21a向-X軸方向側(cè)延伸。更具體而言，第一延伸部21a從第二結(jié)構(gòu)體108的位于最靠+X軸方向側(cè)的第一固定驅(qū)動(dòng)電極132延伸至第一結(jié)構(gòu)體106的位于最靠-X軸方向側(cè)的第一固定驅(qū)動(dòng)電極132，而且，從第一結(jié)構(gòu)體106的位于最靠-X軸方向側(cè)的第一固定驅(qū)動(dòng)電極132向-X軸方向延伸至第二延伸部21b。第二延伸部21b在振動(dòng)體112的-X軸方向側(cè)，向-Y軸方向側(cè)延伸。更具體而言，第二延伸部21b從第一延伸部21a向-Y軸方向延伸至第二驅(qū)動(dòng)布線23。如圖3所示，第一驅(qū)動(dòng)布線20可以具有被設(shè)置在槽部16內(nèi)的第一部分20c、和被設(shè)置在第一面11上的第二部分20d。第二部分20d橫跨設(shè)置有驅(qū)動(dòng)布線21的槽部18。第一部分20c的材質(zhì)例如為金屬，第二部分20d的材質(zhì)例如為被賦予了導(dǎo)電性的硅。第一部分20c和第二部分20d相互連接。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，能夠防止于在俯視觀察時(shí)驅(qū)動(dòng)布線20、21交叉的部分處，驅(qū)動(dòng)布線20和驅(qū)動(dòng)布線21發(fā)生接觸的情況。另外，由于驅(qū)動(dòng)布線20具有第一部分20c，從而能夠防止驅(qū)動(dòng)布線20和固定電位布線40發(fā)生接觸的情況。同樣地，驅(qū)動(dòng)布線21可以具有被設(shè)置在槽部18內(nèi)的第一部分21c、和被設(shè)置在第一面11上的第二部分（未圖示）。由此，能夠防止驅(qū)動(dòng)布線21和固定電位布線40發(fā)生接觸的情況。如圖1～圖3所示，第二驅(qū)動(dòng)布線22、23被設(shè)置在基板10上。如圖1所示，在俯視觀察時(shí)，第二驅(qū)動(dòng)布線22與第二固定驅(qū)動(dòng)電極134相連接。第二驅(qū)動(dòng)布線22為，用于向第二固定驅(qū)動(dòng)電極134施加交流電壓的布線。第二驅(qū)動(dòng)布線22被設(shè)置在振動(dòng)體112的（功能元件102的）-Y軸方向側(cè)。第二驅(qū)動(dòng)布線22向-X軸方向側(cè)延伸。更具體而言，第二驅(qū)動(dòng)布線22從第二結(jié)構(gòu)體108的位于最靠+X軸方向側(cè)的第二固定驅(qū)動(dòng)電極134延伸至第一結(jié)構(gòu)體106的位于最靠-X軸方向側(cè)的第二固定驅(qū)動(dòng)電極134，而且，從第一結(jié)構(gòu)體106的位于最靠-X軸方向側(cè)的第二固定驅(qū)動(dòng)電極134向-X軸方向延伸至第一驅(qū)動(dòng)布線20的第二延伸部20b。即，第一驅(qū)動(dòng)布線20和第二驅(qū)動(dòng)布線22相連接。如圖1所示，在俯視觀察時(shí)，第二驅(qū)動(dòng)布線23和第二固定驅(qū)動(dòng)電極136相連接。第二驅(qū)動(dòng)布線23為，用于向第二固定驅(qū)動(dòng)電極136施加交流電壓的布線。第二驅(qū)動(dòng)布線23被設(shè)置在振動(dòng)體112的（功能元件102的）-Y軸方向側(cè)。第二驅(qū)動(dòng)布線23向-X軸方向側(cè)延伸。更具體而言，第二驅(qū)動(dòng)布線23從第二結(jié)構(gòu)體108的位于最靠+X軸方向側(cè)的第二固定驅(qū)動(dòng)電極136延伸至第一結(jié)構(gòu)體106的位于最靠-X軸方向側(cè)的第二固定驅(qū)動(dòng)電極136，而且，從位于最靠-X軸方向側(cè)的第二固定驅(qū)動(dòng)電極136向-X軸方向延伸至第一驅(qū)動(dòng)布線21的第二延伸部21b。即，第一驅(qū)動(dòng)布線21和第二驅(qū)動(dòng)布線23相連接。第二驅(qū)動(dòng)布線22、23可以如第一驅(qū)動(dòng)布線20、21那樣，具有被設(shè)置在被形成于基板10的第一面11上的槽部（未圖示）內(nèi)的第一部分、和被設(shè)置在第一面11上的第二部分。由此，能夠防止于在俯視觀察時(shí)驅(qū)動(dòng)布線22、23交叉的部分處，驅(qū)動(dòng)布線22和驅(qū)動(dòng)布線23發(fā)生接觸的情況。如圖1所示，在俯視觀察時(shí)，驅(qū)動(dòng)布線20、22以包圍振動(dòng)體112的-X軸方向側(cè)的方式，而連接了第一固定驅(qū)動(dòng)電極130和第二固定驅(qū)動(dòng)電極134。驅(qū)動(dòng)布線21、23以包圍振動(dòng)體112的-X軸方向側(cè)的方式，而連接了第一固定驅(qū)動(dòng)電極132和第二固定驅(qū)動(dòng)電極136。驅(qū)動(dòng)布線20、21、22、23沒(méi)有被設(shè)置在振動(dòng)體112的（功能元件102的）+X軸方向側(cè)。第一連接布線24、25被設(shè)置在基板10上。第一連接布線24與驅(qū)動(dòng)布線20、22的交叉部分（連接部分）相連接，在圖1所示的示例中，從該交叉部分向-Y軸方向延伸。第一連接布線25與驅(qū)動(dòng)布線21、23的交叉部分（連接部分）相連接，在圖1所示的示例中，從該交叉部分向-Y軸方向延伸。第一連接布線24、25可以分別與被在設(shè)置于基板10上的焊盤（未圖示）相連接。第一連接布線24、25可以如驅(qū)動(dòng)布線20、21那樣，被設(shè)置在形成于基板10的第一面11上的槽部（未圖示）內(nèi)。檢測(cè)布線30被設(shè)置在基板10上。檢測(cè)布線30與固定檢測(cè)電極140相連接，并且從固定檢測(cè)電極140向振動(dòng)體112的+X軸方向側(cè)（振動(dòng)體112的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)方向的一側(cè)的相反側(cè)）延伸。更具體而言，檢測(cè)布線30從第一結(jié)構(gòu)體106的固定檢測(cè)電極140向第一結(jié)構(gòu)體106的振動(dòng)體112的+X軸方向側(cè)延伸，而且，與第二結(jié)構(gòu)體108的固定檢測(cè)電極140相連接，并向第二結(jié)構(gòu)體108的振動(dòng)體112的+X軸方向側(cè)延伸。檢測(cè)布線31被設(shè)置在基板1上。檢測(cè)布線31與固定檢測(cè)電極142相連接，并從固定檢測(cè)電極142向振動(dòng)體112的+X軸方向側(cè)延伸。更具體而言，檢測(cè)布線31從第一結(jié)構(gòu)體106的固定檢測(cè)電極142向第一結(jié)構(gòu)體106的振動(dòng)體112的+X軸方向側(cè)延伸，而且，與第二結(jié)構(gòu)體108的固定檢測(cè)電極142相連接，并向第二結(jié)構(gòu)體108的振動(dòng)體112的+X軸方向側(cè)延伸。如圖2所示，檢測(cè)布線30、31可以具有被設(shè)置在凹部14內(nèi)的部分。由此，能夠防止檢測(cè)布線30、31和振動(dòng)體112發(fā)生接觸的情況。另外，檢測(cè)布線30、31可以如驅(qū)動(dòng)布線20、21那樣，被設(shè)置在形成于基板10的第一面11上的槽部（未圖示）內(nèi)。在俯視觀察時(shí)，檢測(cè)布線30沒(méi)有與驅(qū)動(dòng)布線20、21、22、23交叉。同樣地，在俯視觀察時(shí)，檢測(cè)布線31沒(méi)有與驅(qū)動(dòng)布線20、21、22、23交叉。檢測(cè)布線30、31為，用于對(duì)可動(dòng)檢測(cè)電極126與固定檢測(cè)電極140、142之間的靜電電容的變化進(jìn)行檢測(cè)的布線。第二連接布線32、33被設(shè)置在基板10上。第二連接布線32與檢測(cè)布線30相連接，在圖1所示的示例中，從檢測(cè)布線30向-Y軸方向延伸。第二檢測(cè)布線33與檢測(cè)布線31相連接，在圖1所示的示例中，從檢測(cè)布線31向-Y軸方向延伸。第二連接布線32、33可以分別與被設(shè)置在基板10上的焊盤（未圖示）相連接。第二連接布線32、33可以如驅(qū)動(dòng)布線20、21那樣，被設(shè)置在形成于基板10的第一面11上的槽部（未圖示）內(nèi)。第二連接布線32被設(shè)置為，在俯視觀察時(shí)不與第一連接布線24、25交叉。同樣地，第二連接布線33被設(shè)置為，在俯視觀察時(shí)不與第一連接布線24、25交叉。布線20、21、22、23、24、25、30、31、32、33的材質(zhì)例如為ITO（IndiumTinOxide：銦錫氧化物）、鋁、金、鉑、鈦、鎢、鉻、被賦予了導(dǎo)電性的硅。布線20、21、22、23、24、25、30、31、32、33的材質(zhì)例如可以具有由如上所述的金屬構(gòu)成的部分、和由被賦予了導(dǎo)電性的硅構(gòu)成的部分。固定電位布線40被設(shè)置在基板10上。固定電位布線40與功能元件102的固定部150相連接。在圖2所示的示例中，固定電位布線40的材質(zhì)為被賦予了導(dǎo)電性的硅，并且和固定部150一體地形成。固定電位布線40可以從固定部150延伸至焊盤（未圖示）。固定電位布線40經(jīng)由固定部150而與振動(dòng)體112、可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116、位移部122以及可動(dòng)檢測(cè)電極126電連接。固定電位布線40可以具有和振動(dòng)體112等相同的電位。另外，固定電位布線40的材質(zhì)并不限定于被賦予了導(dǎo)電性的硅，例如也可以為ITO、鋁、金、鉑、鈦、鎢、鉻。如圖2所示，蓋體50被設(shè)置在基板10上?；?0和蓋體50能夠構(gòu)成封裝件?；?0和蓋體50能夠形成腔室52，從而能夠?qū)⒐δ茉?02收納在腔室52內(nèi)。腔室52例如以真空被密封。蓋體50的材質(zhì)例如為硅、玻璃。接下來(lái)，對(duì)陀螺傳感器100的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖5～圖8為用于對(duì)陀螺傳感器100的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。另外，在圖5～圖8中，作為互相正交的三個(gè)軸，圖示了X軸、Y軸、Z軸。此外，從方便角度考慮，在圖5～圖8中，省略了功能元件102以外的部件的圖示，而且省略了可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116、可動(dòng)檢測(cè)電極126、固定驅(qū)動(dòng)電極130、132、134、136以及固定檢測(cè)電極140、142的圖示，并且簡(jiǎn)化圖示了功能元件102。當(dāng)通過(guò)未圖示的電源，而向從振動(dòng)體112向+Y軸方向延伸的可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極（第一可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極）116與第一固定驅(qū)動(dòng)電極130、132之間、以及從振動(dòng)體112向-Y軸方向延伸的可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極（第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極）116與第二固定驅(qū)動(dòng)電極134、136之間施加電壓時(shí)，能夠在可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116與第一固定驅(qū)動(dòng)電極130、132之間、以及第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116與第二固定驅(qū)動(dòng)電極134、136之間產(chǎn)生靜電力（參照?qǐng)D1及圖4）。由此，如圖5及圖6所示，能夠使第一彈簧部114沿著X軸進(jìn)行伸縮，從而能夠使振動(dòng)體112沿著X軸進(jìn)行振動(dòng)。更具體而言，經(jīng)由固定電位布線40而向可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116施加固定的電位Vr。另外，經(jīng)由第一連接布線24和驅(qū)動(dòng)布線20、22而向固定驅(qū)動(dòng)電極130、134施加以Vr為基準(zhǔn)的第一交流電壓。此外，經(jīng)由第一連接布線25和驅(qū)動(dòng)布線21、23而向固定驅(qū)動(dòng)電極132、136施加以電位Vr為基準(zhǔn)且相位與第一交流電壓錯(cuò)開(kāi)了180度的第二交流電壓。在此，對(duì)于隔著第一可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的第一固定驅(qū)動(dòng)電極130、132而言，第一結(jié)構(gòu)體106中，第一固定驅(qū)動(dòng)電極130被設(shè)置在第一可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的-X軸方向側(cè)，第一固定驅(qū)動(dòng)電極132被設(shè)置在第一可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的+X軸方向側(cè)（參照?qǐng)D1及圖4）。在第二結(jié)構(gòu)體108中，第一固定驅(qū)動(dòng)電極130被設(shè)置在第一可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的+X軸方向側(cè)，第一固定驅(qū)動(dòng)電極132被設(shè)置在第一可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的-X軸方向側(cè)（參照?qǐng)D1及圖4）。此外，對(duì)于隔著第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的第二固定驅(qū)動(dòng)電極134、136而言，在第一結(jié)構(gòu)體106中，第二固定驅(qū)動(dòng)電極134被設(shè)置在第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的-X軸方向側(cè)，第二固定驅(qū)動(dòng)電極136被設(shè)置在第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的+X軸方向側(cè)（參照?qǐng)D1及圖4）。在第二結(jié)構(gòu)體108中，第二固定驅(qū)動(dòng)電極134被設(shè)置在第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的+X軸方向側(cè)，第二固定驅(qū)動(dòng)電極136被設(shè)置在第二可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極116的-X軸方向側(cè)（參照?qǐng)D1及圖4）。因此，能夠通過(guò)第一交流電壓和第二交流電壓，而使第一結(jié)構(gòu)體106的振動(dòng)體112a和第二結(jié)構(gòu)體108的振動(dòng)體112b以相互反相且預(yù)定的頻率而沿著X軸進(jìn)行振動(dòng)。在圖5所示的示例中，振動(dòng)體112a向α1方向發(fā)生位移，而振動(dòng)體112b向與α1方向相反的α2方向發(fā)生位移。在圖6所示的示例中，振動(dòng)體112a向α2方向發(fā)生位移，而振動(dòng)體112b向α1方向發(fā)生位移。另外，位移部122隨著振動(dòng)體112的振動(dòng)而沿著X軸發(fā)生位移。同樣地，可動(dòng)檢測(cè)電極126（參照?qǐng)D1和圖4）隨著振動(dòng)體112的振動(dòng)而沿著X軸發(fā)生位移。如圖7和圖8所示，當(dāng)在振動(dòng)體112a、112b沿著X軸進(jìn)行振動(dòng)的狀態(tài)下，向功能元件102施加繞Z軸的角速度ω時(shí)，科里奧利力將發(fā)揮作用，從而位移部122將沿著Y軸發(fā)生位移。即，與振動(dòng)體112a相連接的位移部122a、和與振動(dòng)體112b相連接的位移部122b沿著Y軸而向互相相反的方向發(fā)生位移。在圖7所示的示例中，位移部122a向β1方向發(fā)生位移，而位移部122b向與β1方向相反的β2方向發(fā)生位移。在圖8所示的示例中，位移部122a向β2方向發(fā)生位移，而第二位移部122b向β1方向發(fā)生位移。由于位移部122a、122b沿著Y軸而發(fā)生位移，從而可動(dòng)檢測(cè)電極126與固定驅(qū)動(dòng)電極140之間的距離發(fā)生變化（參照?qǐng)D1及圖4）。同樣地，可動(dòng)檢測(cè)電極126與固定驅(qū)動(dòng)電極142之間的距離發(fā)生變化（參照?qǐng)D1及圖4）。因此，可動(dòng)檢測(cè)電極126與固定驅(qū)動(dòng)電極140之間的靜電電容發(fā)生變化。同樣地，可動(dòng)檢測(cè)電極126與固定驅(qū)動(dòng)電極142之間的靜電電容發(fā)生變化。在陀螺傳感器100中，通過(guò)經(jīng)由檢測(cè)布線30和固定電位布線40而向可動(dòng)檢測(cè)電極126與固定檢測(cè)電極140之間施加電壓，從而能夠?qū)蓜?dòng)檢測(cè)電極126與固定檢測(cè)電極140之間的靜電電容的變化量進(jìn)行檢測(cè)（參照?qǐng)D1）。而且，通過(guò)經(jīng)由檢測(cè)布線31和固定電位布線40，而向可動(dòng)檢測(cè)電極126與固定檢測(cè)電極142之間施加電壓，從而能夠?qū)蓜?dòng)檢測(cè)電極126與固定檢測(cè)電極142之間的靜電電容的變化量進(jìn)行檢測(cè)（參照?qǐng)D1）。通過(guò)這種方式，陀螺傳感器100能夠根據(jù)可動(dòng)檢測(cè)電極126與固定檢測(cè)電極140、142之間的靜電電容的變化量而求出繞Z軸的角速度ω。本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器100例如具有以下的特征。根據(jù)陀螺傳感器100，第一驅(qū)動(dòng)布線20、21與第一固定驅(qū)動(dòng)電極130、132相連接，并向-X軸方向側(cè)延伸，第二驅(qū)動(dòng)布線22、23與第二固定驅(qū)動(dòng)電極134、136相連接，并向-X軸方向側(cè)延伸，檢測(cè)布線30、31與固定檢測(cè)電極140、142相連接，并向+X軸方向側(cè)延伸。因此，根據(jù)陀螺傳感器100，檢測(cè)布線30不與驅(qū)動(dòng)布線20、21、22、23交叉，并且檢測(cè)布線31不與驅(qū)動(dòng)布線20、21、22、23交叉。由此，能夠抑制經(jīng)由在驅(qū)動(dòng)布線20、21、22、23與檢測(cè)布線30之間所產(chǎn)生的寄生電容，而在檢測(cè)布線30中流通有電流的情況。同樣地，能夠抑制經(jīng)由在驅(qū)動(dòng)布線20、21、22、23與檢測(cè)布線31之間所產(chǎn)生的寄生電容，而在檢測(cè)布線31中流通有電流的情況。其結(jié)果為，陀螺傳感器100例如能夠具有較高的檢測(cè)精度。根據(jù)陀螺傳感器100，第一驅(qū)動(dòng)布線20、21具有在振動(dòng)體112的-X軸方向上，從第一延伸部20a、21a向-Y軸方向延伸至第二驅(qū)動(dòng)布線22、23的部分（第二延伸部20b、21b），檢測(cè)布線30、31從固定檢測(cè)電極140、142向振動(dòng)體112的+X軸方向側(cè)延伸。因此，能夠更加可靠地抑制經(jīng)由在驅(qū)動(dòng)布線20、21、22、23與檢測(cè)布線30、31之間所產(chǎn)生的寄生電容，而在檢測(cè)布線30、31中流通有電流的情況。根據(jù)陀螺傳感器100，第一驅(qū)動(dòng)布線20、21和第二驅(qū)動(dòng)布線22、23相連接。由此，能夠使布線共用化，從而能夠減少布線數(shù)。2.陀螺傳感器的制造方法接下來(lái)，在參照附圖的同時(shí)，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。圖9～圖11為示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器100的制造工序的剖視圖，且與圖2相對(duì)應(yīng)。如圖9所示，在基板10的第一面11上形成有凹部14和槽部16、18。凹部14和槽部16、18例如通過(guò)光刻技術(shù)和蝕刻技術(shù)而形成。由此，能夠準(zhǔn)備出在第一面11上設(shè)置有凹部14和槽部16、18的基板10。如圖10所示，在包括凹部14內(nèi)部在內(nèi)的基板10上形成檢測(cè)布線30、31，在槽部16、18內(nèi)分別形成第一驅(qū)動(dòng)布線20、21的第一部分20c、21c，并且形成第二驅(qū)動(dòng)布線22、23的被設(shè)置在槽部?jī)?nèi)的第一部分（未圖示）。同時(shí)，能夠在基板10上形成連接布線24、25、32、33。第一驅(qū)動(dòng)布線20、21的第一部分20c、21c、第二驅(qū)動(dòng)布線22、23的第一部分以及布線24、25、30、31、32、33例如通過(guò)如下方式而被形成，即，在利用濺射法或CVD（ChemicalVaporDeposition：化學(xué)氣相沉積）法等而成膜之后，利用光刻技術(shù)和蝕刻技術(shù)而被進(jìn)行圖案形成的方式。如圖11所示，在基板10上形成功能元件102。更加具體而言，功能元件102通過(guò)如下方式而被形成，即，將硅基板（未圖示）放置（接合）在基板10的第一面11上，并在使該硅基板薄膜化之后進(jìn)行圖案形成的方式。圖案形成通過(guò)光刻技術(shù)和蝕刻技術(shù)來(lái)實(shí)施。硅基板和基板10的接合例如通過(guò)陽(yáng)極接合來(lái)實(shí)施。在形成功能元件102的工序中，通過(guò)形成驅(qū)動(dòng)布線20、21、22、23的被設(shè)置在第一面11上的部分（第二部分），從而形成驅(qū)動(dòng)布線20、21、22、23，并且能夠形成固定電位布線40。如圖2所示，通過(guò)將基板10和蓋體50接合在一起，從而將功能元件102收納在由基板10和蓋體50包圍而成的腔室52內(nèi)?；?0和蓋體50之間的接合例如通過(guò)陽(yáng)極接合來(lái)實(shí)施。通過(guò)以上的工序，從而能夠制造出陀螺傳感器100。根據(jù)陀螺傳感器100的制造方法，如上文所述，能夠形成如下的陀螺傳感器100，所述陀螺傳感器100能夠抑制經(jīng)由在驅(qū)動(dòng)布線20、21、22、23與檢測(cè)布線30、31之間所產(chǎn)生的寄生電容，而在檢測(cè)布線30、31中流通有電流的情況。3.電子設(shè)備接下來(lái)，在參照附圖的同時(shí)，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備包括本發(fā)明所涉及的陀螺傳感器。在下文中，對(duì)包括作為本發(fā)明所涉及的陀螺傳感器的陀螺傳感器100的電子設(shè)備進(jìn)行說(shuō)明。圖12為示意性地表示作為本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的便攜式（或者筆記本式）個(gè)人計(jì)算機(jī)1100的立體圖。如圖12所示，個(gè)人計(jì)算機(jī)1100通過(guò)具備鍵盤1102的主體部1104、和具有顯示部1108的顯示單元1106而構(gòu)成，顯示單元1106以能夠通過(guò)鉸鏈結(jié)構(gòu)部而相對(duì)于主體部1104進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的方式被支承。在這種個(gè)人計(jì)算機(jī)1100中內(nèi)置有陀螺傳感器100。圖13為示意性地表示作為本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的移動(dòng)電話（也包括PHS（PersonalHandy-phoneSystem：個(gè)人移動(dòng)電話系統(tǒng)））1200的立體圖。如圖13所示，移動(dòng)電話1200具備多個(gè)操作按鈕1202、聽(tīng)筒1204以及話筒1206，并且在操作按鈕1202與聽(tīng)筒1204之間配置有顯示部1208。在這種移動(dòng)電話1200中內(nèi)置有陀螺傳感器100。圖14為示意性地表示作為本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)1300的立體圖。另外，在圖14中，還簡(jiǎn)單地圖示了與外部設(shè)備之間的連接。在此，通常的照相機(jī)通過(guò)被攝物體的光學(xué)圖像而使銀鹽感光膠片感光，與此相對(duì)，數(shù)碼照相機(jī)1300通過(guò)CCD（ChargeCoupledDevice:電荷耦合器件）等攝像元件而對(duì)被攝物體的光學(xué)圖像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，從而生成攝像信號(hào)（圖像信號(hào)）。在數(shù)碼照相機(jī)1300的殼體(主體)1302的背面設(shè)置有顯示部1310,并且成為根據(jù)由CCD產(chǎn)生的攝像信號(hào)來(lái)進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部1310作為將被攝物體顯示為電子圖像的取景器而發(fā)揮功能。此外，在殼體1302的正面?zhèn)龋▓D中背面?zhèn)龋┰O(shè)置有包括光學(xué)鏡片（攝像光學(xué)系統(tǒng)）與CCD等在內(nèi)的受光單元1304。當(dāng)攝影者對(duì)被顯示在顯示部1310上的被攝物體圖像進(jìn)行確認(rèn)，并按下快門按鈕1306時(shí)，該時(shí)間點(diǎn)上的CCD的攝像信號(hào)被傳送并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器1308中。此外，在該數(shù)碼照相機(jī)1300中，在殼體1302的側(cè)面設(shè)置有影像信號(hào)輸出端子1312、和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。并且，根據(jù)需要，而在影像信號(hào)輸出端子1312上連接有影像監(jiān)視器1430，在數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314上連接有個(gè)人計(jì)算機(jī)1440。另外，形成了如下的結(jié)構(gòu)，即，通過(guò)預(yù)定的操作，從而使被存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器1308中的攝像信號(hào)向影像監(jiān)視器1430或個(gè)人計(jì)算機(jī)1440輸出。在這種數(shù)碼照相機(jī)1300中內(nèi)置有陀螺傳感器100。如上文所述的電子設(shè)備1100、1200、1300能夠具有如下的陀螺傳感器100，所述陀螺傳感器100能夠抑制經(jīng)由在驅(qū)動(dòng)布線與檢測(cè)布線之間所產(chǎn)生的寄生電容，而在檢測(cè)布線中流通有電流的情況。另外，具備上述陀螺傳感器100的電子設(shè)備除了能夠應(yīng)用于圖12所示的個(gè)人計(jì)算機(jī)（便攜式個(gè)人計(jì)算機(jī)）、圖13所示的移動(dòng)電話、圖14所示的數(shù)碼照相機(jī)中之外，還能夠應(yīng)用于如下裝置中，例如，噴墨式噴出裝置（例如噴墨打印機(jī)）、膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視機(jī)、攝像機(jī)、錄像機(jī)、頭戴式顯示器、各種汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本（也包括附帶通信功能的產(chǎn)品）、電子詞典、臺(tái)式電子計(jì)算機(jī)、電子游戲設(shè)備、文字處理器、工作站、可視電話、防盜用監(jiān)控器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS（Pointofsale：銷售點(diǎn)）終端、醫(yī)療設(shè)備（例如，電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖儀、心電圖測(cè)量裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡）、魚群探測(cè)器、各種測(cè)量設(shè)備、計(jì)量?jī)x器類（例如，車輛、飛機(jī)、火箭、船舶的計(jì)量?jī)x器類）、機(jī)器人或人體等的姿態(tài)控制、飛行模擬器等。本發(fā)明包括與在實(shí)施方式中所說(shuō)明的結(jié)構(gòu)實(shí)質(zhì)上相同的結(jié)構(gòu)（例如，功能、方法及結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)、或者目的和效果相同的結(jié)果）。此外，本發(fā)明包括對(duì)在實(shí)施方式中所說(shuō)明的結(jié)構(gòu)的非本質(zhì)的部分進(jìn)行了置換的結(jié)構(gòu)。此外，本發(fā)明還包括能夠起到與在實(shí)施方式中所說(shuō)明的結(jié)構(gòu)相同的作用效果的結(jié)構(gòu)、或者能夠達(dá)成相同的目的的結(jié)構(gòu)。此外，本發(fā)明包括在實(shí)施方式中所說(shuō)明的結(jié)構(gòu)上附加了公知技術(shù)的結(jié)構(gòu)。符號(hào)說(shuō)明10…基板；11…第一面；12…第二面；14…凹部；16、18…槽部；20…第一驅(qū)動(dòng)布線；20a…第一延伸部；20b…第二延伸部；20c…第一部分；20d…第二部分；21…第一驅(qū)動(dòng)布線；21a…第一延伸部；21b…第二延伸部；21c…第一部分；22、23…第二驅(qū)動(dòng)布線；24、25…第一連接布線；30、31…檢測(cè)布線；32、33…第二連接布線；40…固定電位布線；50…蓋體；52…腔室；100…陀螺傳感器；102…功能元件；106…第一結(jié)構(gòu)體；108…第二結(jié)構(gòu)體；112…振動(dòng)體；112a…振動(dòng)體；112b…振動(dòng)體；114…第一彈簧部；116…可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極；122…位移部；122a…位移部；122b…位移部；124…第二彈簧部；126…可動(dòng)檢測(cè)電極；130、132…第一固定驅(qū)動(dòng)電極；134、136…第二固定驅(qū)動(dòng)電極；140、142…固定檢測(cè)電極；150…固定部；1100…個(gè)人計(jì)算機(jī)；1102…鍵盤；1104…主體部；1106…顯示單元；1108…顯示部；1200…移動(dòng)電話；1202…操作按鈕；1204…聽(tīng)筒；1206…話筒；1208…顯示部；1300…數(shù)碼照相機(jī)；1302…殼體；1304…受光單元；1306…快門按鈕；1308…存儲(chǔ)器；1310…顯示部；1312…影像信號(hào)輸出端子；1314…輸入輸出端子；1430…影像監(jiān)視器；1440…個(gè)人計(jì)算機(jī)。