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一種差壓測試裝置的制作方法

文檔序號:5988250閱讀:184來源:國知局
專利名稱:一種差壓測試裝置的制作方法
技術領域
本實用新型涉及一種差壓測試裝置。
背景技術
PClOD型硅壓阻式差壓芯體,PClOD型硅壓阻式差壓芯體是制造壓力傳感器及壓力變送器的核心部件,作為一種高性能的壓力敏感元件,采用一體化結構,耐靜壓值高,穩(wěn)
定、可靠。但是現(xiàn)有的PClOD型硅壓阻式差壓芯體只能精確的測量壓力差,不能測量單獨的 進壓值。

實用新型內容本實用新型目的是針對現(xiàn)有技術存在的缺陷提供一種差壓測試裝置。本實用新型為實現(xiàn)上述目的,采用如下技術方案本實用新型一種差壓測試裝置,包括基座、管腳、兩個壓環(huán)、兩個擴散硅壓力敏感芯片和兩個補償板,其中壓環(huán)分別設置于基座的兩端,兩個壓環(huán)內分別設置膜片,基座的兩端之間設置兩個通孔分別用于安放兩個擴散硅壓力敏感芯片,所述通孔還設置充油管,管腳的一端通過金絲與擴散硅壓力敏感芯片連接,管腳的另一端穿出基座與設置于基座上的補償板連接,補償板還設置輸出導線。優(yōu)選地,所述管腳與基座之間設置玻璃絕緣子。優(yōu)選地,所述充油管上的充油孔通過鋼珠密封。優(yōu)選地,所述補償板與基座之間還設置絕緣板。優(yōu)選地,所述基座兩端分別設置O型圈。優(yōu)選地,所述金絲與擴散硅壓力敏感芯片之間還設置轉接板。本實用新型兩個芯片壓在同一個面上,在同一個面上受到壓力,形成壓力差,方便測量,不但可以精確的測量差壓值,還可以測量各個獨立的進壓值。

圖I :本實用新型結構示意圖。圖2:本實用新型左視圖。圖3 :本實用新型外觀示意圖。附圖標號含義如下I、壓環(huán)2、底座3、玻璃絕緣子4、管腿5、導線6、膜片7、金絲8、芯片
9、充油管10、鋼珠11、鋼珠12、補償板13、絕緣板14、“0”型圈15、轉接板。
具體實施方式
如圖I至圖3所示,本實用新型一種差壓測試裝置,包括基座2、管腳4、兩個壓環(huán)I、兩個擴散硅壓力敏感芯片8和兩個補償板12,其中壓環(huán)I分別設置于基座2的兩端,兩個壓環(huán)I內分別設置膜片6,基座2的兩端之間設置兩個通孔分別用于安放兩個擴散硅壓力敏感芯片8,所述通孔還設置充油管9,管腳4的一端通過金絲7與擴散硅壓力敏感芯片8連接,管腳4的另一端穿出基座2與設置于基座2上的補償板12連接,補償板12還設置輸出導線5。所述管腳4與基座2之間設置玻璃絕緣子3。所述充油管9上的充油孔通過鋼珠10、11密封。所述補償板12與基座2之間還設置絕緣板13。所述基座2兩端分別設置O型圈14。所述金絲7與擴散硅壓力敏感芯片8之間還設置轉接板。將擴散硅壓力敏感芯片(圖中的元件8)封裝到316L不銹鋼外殼(圖中的元件2)中,外加壓力通過不銹鋼膜片(圖中的元件6)內部密封的硅油傳遞到敏感芯片上,敏感芯片不直接接觸被測介質,形成壓力測量的全固態(tài)結構,實現(xiàn)差壓的精確測量。敏感元件高壓端和低壓端在同一面上,可通過敏感元件上的“ + 標識來識別高、低壓端,也可通過測試來檢測,使用過程中,高壓端的壓力值應不小于低壓端的壓力值。本實用新型采用機構及材質如下膜片材質不銹鋼316L ;基座材質不銹鋼316L ;充油娃油;O型圈丁氰或氟橡膠。
權利要求1.一種差壓測試裝置,其特征在于包括基座(2)、管腳(4)、兩個壓環(huán)(I)、兩個擴散硅壓力敏感芯片(8)和兩個補償板(12),其中壓環(huán)(I)分別設置于基座(2)的兩端,兩個壓環(huán)(O內分別設置膜片(6),基座(2)的兩端之間設置兩個通孔分別用于安放兩個擴散硅壓力敏感芯片(8),所述通孔還 設置充油管(9),管腳(4)的一端通過金絲(7)與擴散硅壓力敏感芯片(8)連接,管腳(4)的另一端穿出基座(2)與設置于基座(2)上的補償板(12)連接,補償板(12)還設置輸出導線(5)。
2.根據權利要求I所述的一種差壓測試裝置,其特征在于所述管腳(4)與基座(2)之間 設置玻璃絕緣子(3)。
3.根據權利要求I所述的一種差壓測試裝置,其特征在于所述充油管(9)上的充油孔通過鋼珠密封。
4.根據權利要求I所述的一種差壓測試裝置,其特征在于所述補償板(12)與基座(2)之間還設置絕緣板(13)。
5.根據權利要求I所述的一種差壓測試裝置,其特征在于所述基座(2)兩端分別設置·O型圈(14)。
6.根據權利要求I所述的一種差壓測試裝置,其特征在于所述金絲(7)與擴散硅壓力敏感芯片(8 )之間還設置轉接板(15)。
專利摘要本實用新型公布了一種差壓測試裝置,包括基座、管腳、兩個壓環(huán)、兩個擴散硅壓力敏感芯片和兩個補償板,其中壓環(huán)分別設置于基座的兩端,兩個壓環(huán)內分別設置膜片,基座的兩端之間設置兩個通孔分別用于安放兩個擴散硅壓力敏感芯片,所述通孔還設置充油管,管腳的一端通過金絲與擴散硅壓力敏感芯片連接,管腳的另一端穿出基座與設置于基座上的補償板連接,補償板還設置輸出導線。本實用新型兩個芯片壓在同一個面上,在同一個面上受到壓力,形成壓力差,方便測量,不但可以精確的測量差壓值,還可以測量各個獨立的進壓值。
文檔編號G01L13/06GK202693165SQ201220358330
公開日2013年1月23日 申請日期2012年7月23日 優(yōu)先權日2012年7月23日
發(fā)明者高峰 申請人:南京盛業(yè)達電子有限公司
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