專利名稱：一種基板上殘留物的檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及液晶顯示技術(shù)，特別涉及一種基板上殘留物的檢測裝置。
背景技術(shù)：
在制造液晶顯示器(IXD)的過程中，需要沉積薄膜，再涂覆光刻膠，曝光顯影制作圖案，然后進行刻蝕工藝得到相應(yīng)圖案，最后再剝離掉光刻膠。這就要求每次的刻蝕工藝后，能夠從玻璃基板上完全剝離需要剝離的光刻膠，以免殘留的光刻膠等殘留物污染沉積設(shè)備，影響薄膜的品質(zhì)。目前，通常通過肉眼檢測玻璃基板上需要剝離的光刻膠是否完全剝離，這種操作方式的準確率低，并且耗時長。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種基板上殘留物的檢測裝置，以提聞基板上的殘留物檢測的準確率。為達到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的一種基板上殘留物的檢測裝置，該裝置包括檢測信號發(fā)射源、檢測信號接收器和控制器；其中，所述檢測信號發(fā)射源，用于向基板發(fā)射波信號；所述檢測信號接收器，用于接收基板所反饋的波信號，并將收到的波信號中用于檢測殘留物的有用信息發(fā)送給控制器；所述控制器中預(yù)先設(shè)置有用于檢測殘留物的有用信息與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，所述控制器用于根據(jù)該對應(yīng)關(guān)系確定收到的用于檢測殘留物的有用信息所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)是否為殘留物。上述方案中，所述檢測信號發(fā)射源為光源，用于發(fā)射光； 所述檢測信號接收器為光電傳感器，用于接收所述光源被基板反射后所發(fā)出的光信號，并將收到的光信號轉(zhuǎn)換為電信號，再將該電信號發(fā)送給所述控制器。上述方案中，所述控制器中預(yù)先設(shè)置的所述對應(yīng)關(guān)系為電信號的大小與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系。上述方案中，所述光源、光電傳感器以及控制器中的任何一個或多個，設(shè)置于操控基板的機械手上。上述方案中，所述檢測信號發(fā)射源為聲波源，用于發(fā)射聲波；所述檢測信號接收器為頻率探測器，用于接收所述聲波源經(jīng)過基板傳播后反饋的聲波，再將收到的聲波的頻率發(fā)送給控制器。上述方案中，所述控制器中預(yù)先設(shè)置的所述對應(yīng)關(guān)系為聲波在介質(zhì)中的傳播速度與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，或聲波頻率與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系。
3[0019]上述方案中，所述控制器中預(yù)先設(shè)置的所述對應(yīng)關(guān)系為聲波在介質(zhì)中的傳播速度與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系時，控制器用于根據(jù)收到的聲波頻率，基于多普勒效應(yīng)計算以得到聲波在介質(zhì)中的傳播速度，再根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系獲知計算得到的聲波在介質(zhì)中的傳播速度所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)是否為殘留物。上述方案中，所述聲波源、頻率探測器以及控制器中的任何一個或多個，設(shè)置于操控基板的機械手上。上述方案中，在確定收到的用于檢測殘留物的有用信息所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)為殘留物時，所述控制器還用于發(fā)出告警，和/或控制機械手對基板進行操控。上述方案中，所述檢測信號接收器和控制器相連，所述控制器為機械手控制芯片?？梢姡捎跈z測信號發(fā)射源能夠向基板發(fā)射波信號；檢測信號接收器能夠接收基板所反饋的波信號，并將收到的波信號中用于檢測殘留物的有用信息發(fā)送給控制器；再加上控制器能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)置的用于檢測殘留物的有用信息與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，確定收到的用于檢測殘留物的有用信息所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)是否為殘留物。因此，本實用新型提供的基板上殘留物的檢測裝置，能夠自動實現(xiàn)基板上的殘留物檢測，相比人工操作而言能夠明顯提高準確率，減少耗時。

圖I為本實用新型一實施例的檢測裝置檢測玻璃基板上殘留物的原理示意圖；圖2為本實用新型另一實施例的檢測裝置檢測玻璃基板上殘留物的原理示意圖；圖3為本實用新型一實施例的玻璃基板上殘留物的檢測裝置；附圖標(biāo)記說明I、機械手；2、玻璃基板；3、光源；4、光電傳感器；5、控制器；6、聲波源；7、頻率探測器；8、檢測信號發(fā)射源；9、檢測信號接收器。
具體實施方式
在實際應(yīng)用中，光照射到物質(zhì)表面后通常會發(fā)生折射和反射。針對不同的物質(zhì)，所折射的光的光強不同，所反射的光的光強也不同?；谏鲜鲈?，可以進行如圖I所示的設(shè)置。圖I中，在用于操控玻璃基板2的機械手I上設(shè)置光源3、光電傳感器4和控制器5,光電傳感器4可以和控制器5相連。其中,光源3能夠發(fā)射光,光源3所發(fā)射的光被玻璃基板2反射后由光電傳感器4以光信號的形式接收，并且，光電傳感器4將收到的光信號轉(zhuǎn)換為電信號，再將該電信號發(fā)送給控制器5?？刂破?中預(yù)先設(shè)置有電信號的大小與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，如大小為a的電信號對應(yīng)于光刻膠，大小為b的電信號對應(yīng)于玻璃基板,大小為c的電信號對應(yīng)于塑料。之所以這樣設(shè)置，是因為由于光照射到不同的物質(zhì)表面(即具有不同材質(zhì)的物質(zhì))后所反射的光的光強不同，再加上不同光強的光被轉(zhuǎn)換成的電信號的大小也不同，這就導(dǎo)致電信號的大小與物質(zhì)的材質(zhì)之間存在對應(yīng)關(guān)系，并且不同大小的電信號對應(yīng)不同材質(zhì)的物質(zhì)。因此控制器5在收到來自光電傳感器4的電信號之后，就可以根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系獲知收到的電信號的大小所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)，如收到大小為a的電信號時，確定該電信號所對應(yīng)的材質(zhì)為光刻膠；收到大小為b的電信號時,確定該電信號所對應(yīng)的材質(zhì)為玻璃基板；收到大小為c的電信號時，確定該電信號所對應(yīng)的材質(zhì)為塑料。在確定收到的電信號所對應(yīng)的材質(zhì)為光刻膠時,控制器5可發(fā)出告警,還可以控制機械手I對玻璃基板2進行操控，如停止運行、取下玻璃基板2等。需要說明的是，光源3和光電傳感器4的位置可以隨意設(shè)置，只要光源3發(fā)出的光被玻璃基板2反射后能順利被光電傳感器4接收即可。與上述利用光進行檢測的原理類似，在實際應(yīng)用中，聲波在不同介質(zhì)中傳播的速度不同?；谏鲜鲈?，可以進行如圖2所示的設(shè)置。圖2中，在用于操控玻璃基板2的機械手I上設(shè)置聲波源6、頻率探測器7和控制器5，頻率探測器7可以和控制器5相連，聲波源6在發(fā)射聲波時相對于玻璃基板2具有一定的移動速度。其中，聲波源6能夠發(fā)射聲波,聲波源6所發(fā)射的聲波經(jīng)過玻璃基板2的傳播后由頻率探測器7接收，頻率探測器7再將收到的聲波的頻率發(fā)送給控制器5?？刂破?中預(yù)先設(shè)置有聲波在介質(zhì)中的傳播速度與物質(zhì)的材質(zhì)(即前述的介質(zhì))之間的對應(yīng)關(guān)系，如大小為X的聲波傳播速度對應(yīng)于光刻膠(即經(jīng)過光刻膠傳播后的聲波傳播速度為X)，大小為I的聲波傳播速度對應(yīng)于玻璃基板(即經(jīng)過玻璃基板傳播后的聲波傳播速度為y)，大小為Z的聲波傳播速度對應(yīng)于塑料(即經(jīng)過塑料傳播后的聲波傳播速度為z)。之所以這樣設(shè)置，是因為根據(jù)多普勒效應(yīng)，可以得到以下的公式(I)m = u*f/(u-s)(I)其中，聲波源6發(fā)出的聲波的頻率為f，聲波源6發(fā)出的聲波在介質(zhì)中的傳播速度為U，聲波源6相對于玻璃基板2的移動速度為S，頻率探測器7接收到的聲波的頻率為m。可見，基于公式⑴以及已知的上述參數(shù)m、f和S，控制器5通過計算可以得到聲波在介質(zhì)中的傳播速度U。這樣，控制器5就可以根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系獲知計算得到的聲波在介質(zhì)中的傳播速度u所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)，如根據(jù)收到的大小為A的聲波頻率計算得到聲波傳播速度為X，確定該聲波傳播速度X所對應(yīng)的材質(zhì)為光刻膠；根據(jù)收到的大小為B的聲波頻率計算得到聲波傳播速度為y，確定該聲波傳播速度y所對應(yīng)的材質(zhì)為玻璃基板；根據(jù)收到的大小為C的聲波頻率計算得到聲波傳播速度為z，確定該聲波傳播速度z所對應(yīng)的材質(zhì)為塑料。根據(jù)聲波頻率計算得到的聲波傳播速度所對應(yīng)的材質(zhì)為光刻膠時，控制器5可發(fā)出告警，還可以控制機械手I對玻璃基板2進行操控，如停止運行、取下玻璃基板2等。根據(jù)以上描述可知，控制器5中也可以預(yù)先設(shè)置有聲波頻率與物質(zhì)的材質(zhì)(即前述的介質(zhì))之間的對應(yīng)關(guān)系，控制器5能夠根據(jù)該對應(yīng)關(guān)系確定收到的聲波頻率所對應(yīng)的材質(zhì)是否為光刻膠。需要說明的是，聲波源6和頻率探測器7的位置可以隨意設(shè)置，只要聲波源6發(fā)出的聲波在經(jīng)過玻璃基板2傳播后能順利被頻率探測器7接收即可。如頻率探測器7靠近玻璃基板2設(shè)置。另外，由于超聲波的波長比普通聲波短，能夠透過不透明物質(zhì)，并且具有較好的方向性，因此聲波源6所發(fā)出的聲波通常為超聲波。結(jié)合圖1、2可以得到如圖3所述的設(shè)置方式，圖3中，在用于操控玻璃基板2的機械手I上設(shè)置檢測信號發(fā)射源8 (可以是光源3、聲波源6等)、檢測信號接收器9 (可以是光電傳感器4、頻率探測器7等)和控制器5，檢測信號接收器9可以和控制器5相連。其中，檢測信號發(fā)射源8能夠向玻璃基板2發(fā)射波信號(如光波、或聲波)，檢測信號接收器9能夠接收玻璃基板2所反饋的波信號，并將收到的波信號中用于檢測光刻膠的有用信息(如由光信號轉(zhuǎn)換成的電信號的大小、或聲波的頻率)發(fā)送給控制器5?？刂破?中預(yù)先設(shè)置有用于檢測光刻膠的有用信息與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，因此可以根據(jù)該對應(yīng)關(guān)系確定收到的用于檢測光刻膠的有用信息所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)是否為光刻膠。在確定收到的用于檢測光刻膠的有用信息所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)為光刻膠時，控制器5可發(fā)出告警，還可以控制機械手I對玻璃基板2進行操控，如停止運行、取下玻璃基板2等。需要說明的是，檢測信號發(fā)射源8和檢測信號接收器9的位置可以隨意設(shè)置，只要檢測信號發(fā)射源8能夠向玻璃基板2發(fā)射波信號，并且檢測信號接收器9能夠順利接收玻璃基板2所反饋的波信號即可。并且，控制器5可以是目前常用的機械手控制芯片等。再有，檢測信號發(fā)射源8、檢測信號接收器9和控制器5中的任何一個或多個均可設(shè)置于機械手I以外的其它位置，如設(shè)置在安裝有機械手I的工作臺上；無論設(shè)置位置如何，只要檢測信號發(fā)射源8、檢測信號接收器9和控制器5能夠按照以上所述順利工作即可。另外，以上描述只是以光刻膠為例，實際上，玻璃基板上可能有其它的需要清除的殘留物(如塑料、水等)；在這種情況下，具體的操作方式與前述的圖1、2、3中的操作方式類似，在此不再贅述。以上只是以玻璃基板為例對本實用新型的具體實現(xiàn)進行說明，實際上本實用新型提供的技術(shù)方案還可以應(yīng)用于柔性基板等其它基板。綜上所述可見，本實用新型提供的基板上殘留物的檢測裝置，能夠自動實現(xiàn)基板上的殘留物檢測，相比人工操作而言能夠明顯提高準確率，減少耗時。以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用于限定本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種基板上殘留物的檢測裝置，其特征在于，該裝置包括檢測信號發(fā)射源、檢測信號接收器和控制器；其中，所述檢測信號發(fā)射源，用于向基板發(fā)射波信號；所述檢測信號接收器，用于接收基板所反饋的波信號，并將收到的波信號中用于檢測殘留物的有用信息發(fā)送給控制器；所述控制器中預(yù)先設(shè)置有用于檢測殘留物的有用信息與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，所述控制器用于根據(jù)該對應(yīng)關(guān)系確定收到的用于檢測殘留物的有用信息所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)是否為殘留物。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于，所述檢測信號發(fā)射源為光源，用于發(fā)射光；所述檢測信號接收器為光電傳感器，用于接收所述光源被基板反射后所發(fā)出的光信號，并將收到的光信號轉(zhuǎn)換為電信號，再將該電信號發(fā)送給所述控制器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述控制器中預(yù)先設(shè)置的所述對應(yīng)關(guān)系為電信號的大小與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的裝置，其特征在于，所述光源、光電傳感器以及控制器中的任何一個或多個，設(shè)置于操控基板的機械手上。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于，所述檢測信號發(fā)射源為聲波源，用于發(fā)射聲波；所述檢測信號接收器為頻率探測器，用于接收所述聲波源經(jīng)過基板傳播后反饋的聲波，再將收到的聲波的頻率發(fā)送給控制器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述控制器中預(yù)先設(shè)置的所述對應(yīng)關(guān)系為聲波在介質(zhì)中的傳播速度與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，或聲波頻率與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述控制器中預(yù)先設(shè)置的所述對應(yīng)關(guān)系為聲波在介質(zhì)中的傳播速度與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系時，控制器用于根據(jù)收到的聲波頻率，基于多普勒效應(yīng)計算以得到聲波在介質(zhì)中的傳播速度，再根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系獲知計算得到的聲波在介質(zhì)中的傳播速度所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)是否為殘留物。
8.根據(jù)權(quán)利要求5至7任一項所述的裝置，其特征在于，所述聲波源、頻率探測器以及控制器中的任何一個或多個，設(shè)置于操控基板的機械手上。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于，在確定收到的用于檢測殘留物的有用信息所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)為殘留物時，所述控制器還用于發(fā)出告警，和/或控制機械手對基板進行操控。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于，所述檢測信號接收器和控制器相連，所述控制器為機械手控制心片。
專利摘要本實用新型公開了一種基板上殘留物的檢測裝置，包括檢測信號發(fā)射源、檢測信號接收器和控制器；其中，所述檢測信號發(fā)射源，用于向基板發(fā)射波信號；所述檢測信號接收器，用于接收基板所反饋的波信號，并將收到的波信號用于檢測殘留物的有用信息發(fā)送給控制器；所述控制器中預(yù)先設(shè)置有用于檢測殘留物的有用信息與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，所述控制器用于根據(jù)該對應(yīng)關(guān)系確定收到的用于檢測殘留物的有用信息所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)是否為殘留物。本實用新型提供的基板上殘留物的檢測裝置，能夠自動實現(xiàn)基板上的殘留物檢測，相比人工操作而言能夠明顯提高準確率，減少耗時。
文檔編號G01N21/88GK202735259SQ20122026870
公開日2013年2月13日 申請日期2012年6月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月7日
發(fā)明者閻長江, 姜曉輝 申請人:北京京東方光電科技有限公司