專利名稱：一種晶圓允收測(cè)試設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及集成電路領(lǐng)域，且特別涉及集成電路測(cè)試設(shè)備。
背景技術(shù)：
隨著集成電路行業(yè)的不斷發(fā)展，對(duì)于集成電路的測(cè)試要求也越來(lái)越高。在Foundry中，在制造過(guò)程中對(duì)于晶圓的測(cè)試顯得更為重要。在傳統(tǒng)的晶圓允收測(cè)試(WAT)中，通常晶圓允收測(cè)試設(shè)備只設(shè)置有一個(gè)探針卡托盤單元搭配探針卡，對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試。而往往在對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試時(shí)，需要使用不同的Recipe·來(lái)對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于不同的Recipe，需要打開(kāi)測(cè)試腔體更換對(duì)應(yīng)的探針卡，再對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試。更換探針卡的時(shí)間需要15分鐘，而且更換時(shí)打開(kāi)測(cè)試腔體也會(huì)帶來(lái)污染。而由于測(cè)試過(guò)程中經(jīng)常需要人為更換探針卡，難免為增加對(duì)探針卡的損傷幾率。

實(shí)用新型內(nèi)容為了克服上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種具有使晶圓允收測(cè)試過(guò)程簡(jiǎn)單化，加快晶圓允收測(cè)試的速度，并且能夠減少晶圓允收測(cè)試過(guò)程中的污染，減少換針過(guò)程中的誤操作(MO)。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出一種晶圓允收測(cè)試設(shè)備，包括探針器，所述探針器設(shè)有用于提供密閉空間的腔體；設(shè)置于所述探針器的腔體底部、用于承載晶圓的承載底座；設(shè)置于所述腔體內(nèi)，且位于所述承載底座上方，并含有多個(gè)相互獨(dú)立的探針卡托盤的探針卡托盤單元；一固定設(shè)置于所述探針器頂部，且位于所述探針卡托盤單元上方的測(cè)試頭；設(shè)置于所述探針器的腔體側(cè)壁，并旋轉(zhuǎn)所述探針卡托盤單元使每個(gè)探針卡托盤置于測(cè)試頭正下方的機(jī)械臂；設(shè)置于每個(gè)所述探針卡托盤表面并用于插設(shè)探針卡的探針卡接口 ；以及，若干探針卡。進(jìn)一步地，所述晶圓允收測(cè)試設(shè)備還包括用于放置閑置探針卡的氮?dú)鈨?chǔ)存盒。進(jìn)一步地，所述探針卡托盤的數(shù)量大于三個(gè)時(shí)，所有探針卡托盤的圓心連線呈正多邊形。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型所述的晶圓允收測(cè)試設(shè)備的有益效果主要表現(xiàn)在提供多個(gè)探針卡托盤，配合不同測(cè)試所需要的探針卡，通過(guò)機(jī)械臂對(duì)應(yīng)的移至測(cè)試頭下方，使同一晶圓在不同Recipe測(cè)試時(shí)，避免了打開(kāi)測(cè)試腔體來(lái)更換探針卡的操作，使晶圓允收測(cè)試過(guò)程簡(jiǎn)單化，提高晶圓允收測(cè)試的每小時(shí)晶圓吞吐量(WPH)，減少晶圓允收測(cè)試過(guò)程中的污染。

[0016]圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例一的晶圓允收測(cè)試設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例二的晶圓允收測(cè)試設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型晶圓允收測(cè)試設(shè)備的探針器的結(jié)構(gòu)示意圖；晶圓允收測(cè)試設(shè)備I測(cè)試頭2探針器11 氮?dú)鈨?chǔ)存盒12探針卡托盤單元3探針卡托盤31探針卡接口 32探針卡4承載底座5晶圓6機(jī)械臂具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。實(shí)施例I請(qǐng)參考圖1，圖I是本實(shí)用新型所述的晶圓允收測(cè)試設(shè)備的結(jié)構(gòu)的一種實(shí)施方式。圖3是本實(shí)用新型所述的晶圓測(cè)試設(shè)備的探針器的結(jié)構(gòu)示意圖。晶圓允收測(cè)試設(shè)備I包括探針器11和氮?dú)鈨?chǔ)存盒12。探針器11內(nèi)的腔體提供密閉空間。探針器11的頂部固定設(shè)置有一測(cè)試頭2。在測(cè)試頭2的下方設(shè)置有一探針卡托盤單元3，探針卡托盤單元3上設(shè)置3個(gè)獨(dú)立的探針卡托盤31，3個(gè)探針卡托盤31的圓心的連線呈等邊三角形，每個(gè)探針卡托盤31上設(shè)置有用于插設(shè)探針卡4的探針卡接口 32，可以通過(guò)設(shè)置于探針器11腔體內(nèi)側(cè)壁上的機(jī)械臂7對(duì)探針卡托盤單元3進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，使測(cè)試Recipe對(duì)應(yīng)的探針卡4放置的探針卡托盤31置于測(cè)試頭2的正下方。在探針器11的底部，設(shè)置有用于承載晶圓6的承載基座5。測(cè)試時(shí)，機(jī)械臂7轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)應(yīng)的探針卡托盤31，使對(duì)應(yīng)的探針卡托盤31上的探針卡4位于測(cè)試頭2的正下方，所需測(cè)試的晶圓6與探針卡4、測(cè)試頭2呈一直線。氮?dú)鈨?chǔ)存盒12可以存放未使用過(guò)的探針卡4，也可以存放已使用過(guò)的探針卡4。本實(shí)施例中，當(dāng)本實(shí)用新型所述的晶圓允收測(cè)試設(shè)備I工作之前，先根據(jù)晶圓允收測(cè)試設(shè)備I的電腦端(圖中未示出)的所需測(cè)試Recipe，從氮?dú)鈨?chǔ)存盒12中選擇對(duì)應(yīng)的3個(gè)探針卡4，將這3個(gè)探針卡4分別放置于3個(gè)探針卡托盤31上的探針卡接口 32，多余的探針卡4則儲(chǔ)存在氣氣儲(chǔ)存盒12中。在此，將3個(gè)探針卡4定乂為弟一探針卡、弟_■探針卡、第三探針卡，將3個(gè)探針卡托盤31定義為第一探針卡托盤、第二探針卡托盤、第三探針卡托盤，且第一探針卡、第二探針卡、第三探針卡分別對(duì)應(yīng)放置第一探針卡托盤、第二探針卡托盤、第三探針卡托盤的探針卡接口中。應(yīng)用本實(shí)施例的晶圓允收測(cè)試設(shè)備完成晶圓允收測(cè)試的具體過(guò)程包括將待測(cè)晶圓放入探針器內(nèi)的承載底座，由機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)探針卡托盤單元，將第一測(cè)試Recipe對(duì)應(yīng)的第一探針卡所在的第一探針卡托盤移至測(cè)試頭正下方，測(cè)試頭根據(jù)第一測(cè)試Recipe通過(guò)第一探針卡對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試；完成第一測(cè)試Recipe后，由探針器內(nèi)的機(jī)械臂再次旋轉(zhuǎn)探針卡托盤單元，將第二Recipe對(duì)應(yīng)的第二探針卡所在的第二探針卡托盤移至測(cè)試頭正下方，測(cè)試頭根據(jù)第二測(cè)試Recipe通過(guò)第二探針卡對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試；完成第二測(cè)試Recipe后，由探針器內(nèi)的機(jī)械臂再次旋轉(zhuǎn)探針卡托盤單元，將第三Recipe對(duì)應(yīng)的第三探針卡所在的第三探針卡托盤移至測(cè)試頭正下方，測(cè)試頭根據(jù)第三測(cè)試Recipe通過(guò)第三探針卡對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試；至此，完成了所述待測(cè)晶圓的所有測(cè)試Recipe。在應(yīng)用本實(shí)施例的晶圓允收測(cè)試設(shè)備完成晶圓允收測(cè)試過(guò)程中，不需要打開(kāi)探針
器11的腔體更換探針卡，就能對(duì)一枚晶圓進(jìn)行3個(gè)測(cè)試Recipe，節(jié)省了 2次更換探針卡的時(shí)間，約30分鐘，簡(jiǎn)化了晶圓允收測(cè)試過(guò)程，提高了晶圓允收測(cè)試的WPH，而且不需要打開(kāi)探針器的腔體，減少了晶圓允收測(cè)試過(guò)程中的污染，且測(cè)試過(guò)程中無(wú)需更換探針卡，減少了更換探針卡時(shí)出現(xiàn)的誤操作(MO)。實(shí)施例2請(qǐng)參考圖2，圖2是本實(shí)用新型所述的晶圓允收測(cè)試設(shè)備結(jié)構(gòu)的再一種實(shí)施方式。圖3是本實(shí)用新型所述的晶圓測(cè)試設(shè)備的探針器的結(jié)構(gòu)示意圖。晶圓允收測(cè)試設(shè)備I包括探針器11和氮?dú)鈨?chǔ)存盒12。探針器11內(nèi)的腔體提供密閉空間。探針器11的頂部固定設(shè)置有一測(cè)試頭2。在測(cè)試頭2的下方設(shè)置有一探針卡托盤單元3，探針卡托盤單元3上設(shè)置4個(gè)獨(dú)立的探針卡托盤31，4個(gè)探針卡托盤31的圓心的連線呈正方形，每個(gè)探針卡托盤31上設(shè)置有用于插設(shè)探針卡4的探針卡接口 32，可以通過(guò)設(shè)置于探針器11腔體內(nèi)側(cè)壁上的機(jī)械臂7對(duì)探針卡托盤單元3進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，使測(cè)試Recipe對(duì)應(yīng)的探針卡4放置的探針卡托盤31置于測(cè)試頭2的正下方。在探針器11的底部，設(shè)置有用于承載晶圓6的承載基座5。測(cè)試時(shí)，機(jī)械臂7轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)應(yīng)的探針卡托盤31，使對(duì)應(yīng)的探針卡托盤31上的探針卡4位于測(cè)試頭2的正下方，所需測(cè)試的晶圓6與探針卡4、測(cè)試頭2呈一直線。氮?dú)鈨?chǔ)存盒12可以存放未使用過(guò)的探針卡4，也可以存放已使用過(guò)的探針卡4。本實(shí)施例中，當(dāng)本實(shí)用新型所述的晶圓允收測(cè)試設(shè)備I工作之前，先根據(jù)晶圓允收測(cè)試設(shè)備I的電腦端(圖中未示出)的所需測(cè)試Recipe，從氮?dú)鈨?chǔ)存盒12中選擇對(duì)應(yīng)的4個(gè)探針卡4，將4個(gè)探針卡4分別放置于4個(gè)探針卡托盤31上的探針卡接口 32，多余的探針卡4儲(chǔ)存在氮?dú)鈨?chǔ)存盒12中。在此，將4個(gè)探針卡4定義為第一探針卡、第二探針卡、第三探針卡、第四探針卡，將4個(gè)探針卡托盤31定義為第一探針卡托盤、第二探針卡托盤、第三探針卡托盤、第三探針卡托盤，且第一探針卡、第二探針卡、第三探針卡、第四探針卡托盤分別對(duì)應(yīng)放置第一探針卡托盤、第二探針卡托盤、第三探針卡托盤、、第四探針卡托盤的探針卡接口中。應(yīng)用本實(shí)施例的晶圓允收測(cè)試設(shè)備完成晶圓允收測(cè)試的具體過(guò)程包括將待測(cè)晶圓放入探針器內(nèi)的承載底座，由機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)探針卡托盤單元，將第一測(cè)試Recipe對(duì)應(yīng)的第一探針卡所在的第一探針卡托盤移至測(cè)試頭正下方，測(cè)試頭根據(jù)第一測(cè)試Recipe通過(guò)第一探針卡對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試；完成第一測(cè)試Recipe后，由探針器內(nèi)的機(jī)械臂再次旋轉(zhuǎn)探針卡托盤單元，將第二Recipe對(duì)應(yīng)的第二探針卡所在的第二探針卡托盤移至測(cè)試頭正下方，測(cè)試頭根據(jù)第二測(cè)試Recipe通過(guò)第二探針卡對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試；完成第二測(cè)試Recipe后，由探針器內(nèi)的機(jī)械臂再次旋轉(zhuǎn)探針卡托盤單元，將第三Recipe對(duì)應(yīng)的第三探針卡所在的第三探針卡托盤移至測(cè)試頭正下方，測(cè)試頭根據(jù)第三測(cè)試Recipe通過(guò)第三探針卡對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試；完成第三測(cè)試Recipe后，由探針器內(nèi)的機(jī)械臂再次旋轉(zhuǎn)探針卡托盤單元，將第四Recipe對(duì)應(yīng)的第四探針卡的第四探針卡托盤移至測(cè)試頭正下方，測(cè)試頭根據(jù)第四測(cè)試Recipe通過(guò)第四探針卡對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試；至此，完成了所述待測(cè)晶圓的所有測(cè)試Recipe。 不需要打開(kāi)探針器11的腔體更換探針卡，就能對(duì)一枚晶圓進(jìn)行4個(gè)探針卡的測(cè)試，在應(yīng)用本實(shí)施例的晶圓允收測(cè)試設(shè)備完成晶圓允收測(cè)試過(guò)程中，不需要打開(kāi)探針器11的腔體更換探針卡，就能對(duì)一枚晶圓進(jìn)行4個(gè)測(cè)試Recipe，節(jié)省了 3次更換探針卡的時(shí)間，約45分鐘，簡(jiǎn)化了晶圓允收測(cè)試過(guò)程，提高了晶圓允收測(cè)試的WPH，而且不需要打開(kāi)探針器的腔體，減少了晶圓允收測(cè)試過(guò)程中的污染，且測(cè)試過(guò)程中無(wú)需更換探針卡，減少了更換探針卡時(shí)出現(xiàn)的誤操作(MO)。綜上，本實(shí)用新型的晶圓允收測(cè)試設(shè)備，提供多個(gè)探針卡托盤，配合不同測(cè)試所需要的探針卡，通過(guò)機(jī)械臂對(duì)應(yīng)的移至測(cè)試頭下方，使同一晶圓在不同Recipe測(cè)試時(shí)，避免了打開(kāi)測(cè)試腔體來(lái)更換探針卡的操作，使晶圓允收測(cè)試過(guò)程簡(jiǎn)單化，提高晶圓允收測(cè)試的每小時(shí)晶圓吞吐量(WPH)，減少晶圓允收測(cè)試過(guò)程中的污染，減少探針卡更換過(guò)程中出現(xiàn)的誤操作(MO)綜上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本實(shí)用新型起到任何限制作用。任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種晶圓允收測(cè)試設(shè)備，其特征在于，包括 探針器，所述探針器設(shè)有用于提供密閉空間的腔體； 設(shè)置于所述探針器的腔體底部、用于承載晶圓的承載底座； 設(shè)置于所述腔體內(nèi)，且位于所述承載底座上方，并含有多個(gè)相互獨(dú)立的探針卡托盤的探針卡托盤單元； 一固定設(shè)置于所述探針器頂部，且位于所述探針卡托盤單元上方的測(cè)試頭； 設(shè)置于所述探針器的腔體側(cè)壁，并旋轉(zhuǎn)所述探針卡托盤單元使每個(gè)探針卡托盤置于測(cè)試頭正下方的機(jī)械臂； 設(shè)置于每個(gè)所述探針卡托盤表面并用于插設(shè)探針卡的探針卡接口 ；以及， 若干探針卡。
2.如權(quán)利要求I所述的晶圓允收測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述晶圓允收測(cè)試設(shè)備還包括 用于放置閑置探針卡的氮?dú)鈨?chǔ)存盒。
3.如權(quán)利要求I所述的晶圓允收測(cè)試設(shè)備，其特征在于所述探針卡托盤的數(shù)量大于三個(gè)時(shí)，所有探針卡托盤的圓心的連線呈正多邊形。
專利摘要本實(shí)用新型提出一種晶圓允收測(cè)試設(shè)備，提供多個(gè)探針卡托盤，配合不同測(cè)試所需要的探針卡，通過(guò)機(jī)械臂對(duì)應(yīng)的移至測(cè)試頭下方，使同一晶圓在不同Recipe測(cè)試時(shí)，避免了打開(kāi)測(cè)試腔體來(lái)更換探針卡的操作，使晶圓允收測(cè)試過(guò)程簡(jiǎn)單化，提高晶圓允收測(cè)試的每小時(shí)晶圓吞吐量(WPH)，減少晶圓允收測(cè)試過(guò)程中的污染。
文檔編號(hào)G01R31/01GK202770936SQ20122026404
公開(kāi)日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月5日
發(fā)明者劉剛, 瞿奇, 陳玉立, 梁俊娜 申請(qǐng)人:武漢新芯集成電路制造有限公司, 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司