技術編號：5982763
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及集成電路領域，且特別涉及集成電路測試設備。背景技術隨著集成電路行業(yè)的不斷發(fā)展，對于集成電路的測試要求也越來越高。在Foundry中，在制造過程中對于晶圓的測試顯得更為重要。在傳統(tǒng)的晶圓允收測試(WAT)中，通常晶圓允收測試設備只設置有一個探針卡托盤單元搭配探針卡，對晶圓進行測試。而往往在對晶圓進行測試時，需要使用不同的Recipe·來對晶圓進行測試。對于不同的Recipe，需要打開測試腔體更換對應的探針卡，再對晶圓進行測試。更換探針卡的時間需...
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