專利名稱：一種探針修正裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種透視檢測機，尤其涉及一種探針修正裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，包括晶圓測試和成品測試；其中，晶圓測試是通過探針臺上的探針和晶圓PAD點去接觸，以進行測試。現(xiàn)有探針臺上的探針比較細，易發(fā)生偏移，從而使得探針不能夠與晶圓的PAD—一對應(yīng)起來，此時，需要對探針進行修復(fù)；目前，用于修復(fù)探針偏移的裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，操作繁瑣，且效率低下。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于針對上述問題，提供一種探針修正裝置，以解決現(xiàn)有用于修復(fù)探針偏移的裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，操作繁瑣，且效率低下的問題。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)一種探針修正裝置，包括探針修復(fù)工具，所述探針修復(fù)工具的頭部設(shè)置有與探針相配合的卡鉤，且其下端可前后移動的設(shè)置在旋轉(zhuǎn)平臺上，所述旋轉(zhuǎn)平臺可左右移動的設(shè)置在水平板上，所述水平板可上下移動的設(shè)置在垂直板上。進一步的，所述探針修復(fù)工具的下端連接有絲母，所述絲母與設(shè)置在旋轉(zhuǎn)平臺上的絲桿相配合。進一步的，所述旋轉(zhuǎn)平臺的下端連接有水平絲母，所述水平絲母與橫向設(shè)置在水平板上的水平絲桿相配合。進一步的，所述旋轉(zhuǎn)平臺包括底板和轉(zhuǎn)臺，所述底板上設(shè)置有減速電機，所述減速電機的輸出軸與轉(zhuǎn)臺固定連接。進一步的，所述水平板的一端縱向開有貫通的螺紋孔，所述螺紋孔與縱向設(shè)置在垂直板上的螺桿相配合。本發(fā)明的有益效果為，所述探針修正裝置結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn)，其可通過探針所需修正方向而進行上下、左右、前后的移動，并可根據(jù)需要修正的方向進行旋轉(zhuǎn)，操作方便，簡單，修正效率高。


圖1為本發(fā)明一種探針修正裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、探針修復(fù)工具；2、旋轉(zhuǎn)平臺；3、水平絲桿；4、水平絲母；5、水平板；6、垂直板；7、螺桿。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖并通過具體實施方式
來進一步說明本發(fā)明的技術(shù)方案。
請參照圖1所示，圖1為本發(fā)明一種探針修正裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；于本實施例中，一種探針修正裝置，包括探針修復(fù)工具1，所述探針修復(fù)工具I的頭部設(shè)置有與探針相配合的卡鉤，且其下端連接有絲母，所述絲母與設(shè)置在旋轉(zhuǎn)平臺2上的絲桿相配合，所述絲桿由伺服電機驅(qū)動，所述旋轉(zhuǎn)平臺2的下端連接有水平絲母4，所述水平絲母4與橫向設(shè)置在水平板5上的水平絲桿3相配合，所述水平絲桿3由伺服電機驅(qū)動，所述水平板5的一端縱向開有貫通的螺紋孔，所述螺紋孔與縱向設(shè)置在垂直板6上的螺桿7相配合，所述螺桿7由伺服電機驅(qū)動。所述的旋轉(zhuǎn)平臺2包括底板和轉(zhuǎn)臺，所述底板上設(shè)置有減速電機，所述減速電機的輸出軸與轉(zhuǎn)臺固定連接。使用時，通過伺服電機驅(qū)動絲桿，可使得探針修復(fù)工具I進行前后移動，通過伺服電機驅(qū)動水平絲桿3，可使得探針修復(fù)工具I進行左右移動，通過伺服電機驅(qū)動螺桿7，可使得探針修復(fù)工具I上下移動，通過減速電機，可帶動探針修復(fù)工具I旋轉(zhuǎn)至所需方向，并通過探針修復(fù)工具I頭部的卡鉤，帶動探針移動，實現(xiàn)探針的偏移修復(fù)，操作方便，簡單，修正效率高。以上實施例只是闡述了本發(fā)明的基本原理和特性，本發(fā)明不受上述實施例限制，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還有各種變化和改變，這些變化和改變都落入要求保護的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求
1.一種探針修正裝置，其特征在于包括探針修復(fù)工具，所述探針修復(fù)工具的頭部設(shè)置有與探針相配合的卡鉤，且其下端可前后移動的設(shè)置在旋轉(zhuǎn)平臺上，所述旋轉(zhuǎn)平臺可左右移動的設(shè)置在水平板上，所述水平板可上下移動的設(shè)置在垂直板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針修正裝置，其特征在于所述探針修復(fù)工具的下端連接有絲母，所述絲母與設(shè)置在旋轉(zhuǎn)平臺上的絲桿相配合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針修正裝置，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)平臺的下端連接有水平絲母，所述水平絲母與橫向設(shè)置在水平板上的水平絲桿相配合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種探針修正裝置，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)平臺包括底板和轉(zhuǎn)臺，所述底板上設(shè)置有減速電機，所述減速電機的輸出軸與轉(zhuǎn)臺固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針修正裝置，其特征在于所述水平板的一端縱向開有貫通的螺紋孔，所述螺紋孔與縱向設(shè)置在垂直板上的螺桿相配合。
全文摘要
本發(fā)明公開一種探針修正裝置，包括探針修復(fù)工具，所述探針修復(fù)工具的頭部設(shè)置有與探針相配合的卡鉤，且其下端可前后移動的設(shè)置在旋轉(zhuǎn)平臺上，所述旋轉(zhuǎn)平臺可左右移動的設(shè)置在水平板上，所述水平板可上下移動的設(shè)置在垂直板上。所述探針修正裝置結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn)，其可通過探針所需修正方向而進行上下、左右、前后的移動，并可根據(jù)需要修正的方向進行旋轉(zhuǎn)，操作方便，簡單，修正效率高。
文檔編號G01R3/00GK103018505SQ20121051020
公開日2013年4月3日 申請日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
發(fā)明者虞君新, 劉波 申請人:無錫圓方半導(dǎo)體測試有限公司