專利名稱：一種晶圓檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓檢測(cè)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體器件中廣泛運(yùn)用熔絲(fuse)元件。例如動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器元件中運(yùn)用了多個(gè)熔絲元件。每個(gè)熔絲元件都包括可選擇性地切斷的熔絲，以便選擇性性地將熔絲元件自其余的電路分離。有時(shí)將切斷熔絲的過(guò)程稱為熔絲的燒斷。在晶圓檢測(cè)中，往往需要檢測(cè)在測(cè)試機(jī)施加一定的電壓和電流時(shí)，熔絲是否能夠燒斷，從而使晶圓的電阻值和頻率值達(dá)到理想范圍，保證芯片的正常工作。當(dāng)測(cè)試機(jī)檢測(cè)到晶圓的電阻值不在理想范圍需要燒斷熔絲時(shí)，將向晶圓供應(yīng)大的電壓和大的電流完成熔絲的燒斷，但是，由于熔絲的質(zhì)量參差不齊、測(cè)試機(jī)的性能不穩(wěn)定等問(wèn)題，有時(shí)候熔絲并不一定能夠燒斷，而傳統(tǒng)的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)又無(wú)法對(duì)熔絲的燒斷情況進(jìn)行檢測(cè)，這樣將造成誤判，使得一些存在瑕疵的芯片通過(guò)檢測(cè)，導(dǎo)致對(duì)晶圓進(jìn)行集成電路封裝之后，產(chǎn)品不可用，在實(shí)際應(yīng)用中造成不可估量的損失。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其能夠?qū)θ劢z是否燒斷進(jìn)行檢測(cè)，提高了晶圓檢測(cè)的準(zhǔn)確率，降低生產(chǎn)成本。為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案一種晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其包括探針臺(tái)、探針卡、測(cè)試機(jī)、攝像機(jī)、光源及控制器；所述探針臺(tái)通過(guò)承片臺(tái)固定待測(cè)晶圓，并對(duì)該待測(cè)晶圓執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)、定位操作，使探針卡上的探針對(duì)準(zhǔn)所述待測(cè)晶圓；其中，所述測(cè)試機(jī)通過(guò)電纜線連接探針卡，用于根據(jù)晶圓的電阻值和頻率的需要，向待測(cè)晶圓輸出熔絲的燒斷電壓和燒斷電流，并對(duì)待測(cè)晶圓反饋的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理；所述攝像機(jī)和光源均設(shè)置在探針臺(tái)內(nèi)部，并固定安裝在所述待測(cè)晶圓上方，用于在測(cè)試機(jī)對(duì)待測(cè)晶圓輸出熔絲的燒斷電壓和燒斷電流后，獲取所述待測(cè)晶圓的熔絲圖像信息，并輸出給控制器；所述控制器通過(guò)電纜連接攝像機(jī)和光源，用于將收到的所述熔絲圖像信息與該熔絲燒斷狀態(tài)的樣本圖像進(jìn)行比對(duì)，判斷熔絲是否燒斷，完成對(duì)熔絲的燒斷檢測(cè)。特別地,所述攝像機(jī)為高清攝像機(jī)。特別地，所述光源為亮度可調(diào)光源，通過(guò)控制器對(duì)其亮度進(jìn)行控制。與傳統(tǒng)晶圓檢測(cè)系統(tǒng)相比，本發(fā)明能夠通過(guò)攝像、光源及控制器的相互配合完成對(duì)待測(cè)晶圓中的熔絲是否燒斷進(jìn)行檢測(cè)，可避免因測(cè)試機(jī)測(cè)試問(wèn)題造成誤判，從而減少封裝不良的數(shù)量，降低封裝成本。


圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的攝像機(jī)與晶圓的位置關(guān)系示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。請(qǐng)參照?qǐng)D1所示，圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。本實(shí)施例中晶圓檢測(cè)系統(tǒng)包括探針臺(tái)101、探針卡102、測(cè)試機(jī)103、攝像機(jī)104、光源105及控制器106。所述探針臺(tái)101通過(guò)承片臺(tái)固定待測(cè)晶圓，并對(duì)該待測(cè)晶圓執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)、定位操作，使探針卡102上的探針對(duì)準(zhǔn)所述待測(cè)晶圓。探針臺(tái)101提供晶圓的自動(dòng)上下片、找中心、對(duì)準(zhǔn)、定位以及按照設(shè)置的步距移動(dòng)晶圓的功能，以使探針卡102上的探針對(duì)準(zhǔn)待測(cè)晶圓的檢測(cè)位置進(jìn)行檢測(cè)。所述測(cè)試機(jī)103通過(guò)電纜線連接探針卡102，用于根據(jù)晶圓的電阻值和頻率的需要，向待測(cè)晶圓輸出熔絲的燒斷電壓和燒斷電流，并對(duì)待測(cè)晶圓反饋的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。在檢測(cè)過(guò)程中，測(cè)試機(jī)103可作為電壓源或電流源并能對(duì)輸出的電壓電流進(jìn)行測(cè)量，并通過(guò)其內(nèi)部的處理芯片對(duì)待測(cè)晶圓反饋的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，完成晶圓的等級(jí)分類、數(shù)據(jù)儲(chǔ)存、故障診斷等操作。測(cè)試機(jī)103根據(jù)晶圓的電阻值和頻率的需要，通過(guò)探針卡102將熔絲的燒斷電壓和燒斷電流輸出給晶圓，對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試，按照測(cè)試結(jié)果分類。所述攝像機(jī)104和光源105均設(shè)置在探針臺(tái)101內(nèi)部，并固定安裝在所述待測(cè)晶圓上方，用于在測(cè)試機(jī)103對(duì)待測(cè)晶圓輸出熔絲的燒斷電壓和燒斷電流后，獲取所述待測(cè)晶圓的熔絲圖像信息，并輸出給控制器106。如圖2所述，圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的攝像機(jī)與晶圓的位置關(guān)系示意圖。所述攝像機(jī)104和光源105均設(shè)置在探針臺(tái)101內(nèi)部，并固定安裝在待測(cè)晶圓201上方。本實(shí)施例中所述攝像機(jī)104選用高清攝像機(jī)104,所述高清攝像機(jī)104是指可以高質(zhì)量、高清晰影像，拍攝出來(lái)的畫面可以達(dá)到720線逐行掃描方式、分辨率1280*720，或到達(dá)1080線隔行掃描方式、分辨率1920*1080的數(shù)碼攝像機(jī)104。所述光源105選用亮度可調(diào)光源105，控制器106根據(jù)攝像機(jī)104輸入的熔絲圖像信息的清晰度，適當(dāng)調(diào)節(jié)光源105的亮度，使攝像機(jī)104拍攝出高質(zhì)量的熔絲圖像。所述控制器106通過(guò)電纜連接攝像機(jī)104和光源105，用于將收到的所述熔絲圖像信息與該熔絲燒斷狀態(tài)的樣本圖像進(jìn)行比對(duì)，判斷熔絲是否燒斷，完成對(duì)熔絲的燒斷檢測(cè)。本實(shí)施例中所述控制器106選用計(jì)算機(jī)。通過(guò)控制器106可以對(duì)攝像機(jī)104的拍攝頻率等參數(shù)進(jìn)行控制。在對(duì)待測(cè)晶圓進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，首先要將該待測(cè)晶圓中熔絲燒斷狀態(tài)下的圖像存入存儲(chǔ)器中，作為熔絲燒斷狀態(tài)的樣本圖像，當(dāng)攝像機(jī)104將待測(cè)晶圓的熔絲圖像信息傳入控制器106后，控制器106將把所述熔絲圖像信息與存儲(chǔ)的熔絲燒斷狀態(tài)的樣本圖像進(jìn)行比對(duì)，根據(jù)相似度判斷熔絲是否燒斷，完成對(duì)熔絲的燒斷檢測(cè)。本發(fā)明的技術(shù)方案能夠通過(guò)攝像、光源及控制器的相互配合完成對(duì)待測(cè)晶圓中的熔絲是否燒斷進(jìn)行檢測(cè)，可避免因測(cè)試機(jī)測(cè)試問(wèn)題造成誤判，從而減少封裝不良的數(shù)量，降低封裝成本。上述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例及所運(yùn)用技術(shù)原理，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.ー種晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括探針臺(tái)、探針卡、測(cè)試機(jī)、攝像機(jī)、光源及控制器；其中，所述探針臺(tái)通過(guò)承片臺(tái)固定待測(cè)晶圓，并對(duì)該待測(cè)晶圓執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)、定位操作，使探針卡上的探針對(duì)準(zhǔn)所述待測(cè)晶圓；所述測(cè)試機(jī)通過(guò)電纜線連接探針卡，用于根據(jù)晶圓的電阻值和頻率的需要，向待測(cè)晶圓輸出熔絲的燒斷電壓和燒斷電流，并對(duì)待測(cè)晶圓反饋的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理；所述攝像機(jī)和光源均設(shè)置在探針臺(tái)內(nèi)部，并固定安裝在所述待測(cè)晶圓上方，用于在測(cè)試機(jī)對(duì)待測(cè)晶圓輸出熔絲的燒斷電壓和燒斷電流后，獲取所述待測(cè)晶圓的熔絲圖像信息，并輸出給控制器；所述控制器通過(guò)電纜連接攝像機(jī)和光源，用于將收到的所述熔絲圖像信息與該熔絲燒斷狀態(tài)的樣本圖像進(jìn)行比對(duì)，判斷熔絲是否燒斷，完成對(duì)熔絲的燒斷檢測(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述攝像機(jī)為高清攝像機(jī)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述光源為亮度可調(diào)光源，通過(guò)控制器對(duì)其亮度進(jìn)行控制。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)一種晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其包括探針臺(tái)、探針卡、測(cè)試機(jī)、攝像機(jī)、光源及控制器。所述探針臺(tái)通過(guò)承片臺(tái)固定待測(cè)晶圓，并對(duì)該待測(cè)晶圓執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)、定位操作，使探針卡上的探針對(duì)準(zhǔn)所述待測(cè)晶圓。所述測(cè)試機(jī)通過(guò)電纜線連接探針卡。所述攝像機(jī)和光源均設(shè)置在探針臺(tái)內(nèi)部，并固定安裝在所述待測(cè)晶圓上方。所述控制器通過(guò)電纜連接攝像機(jī)和光源。本發(fā)明能夠?qū)θ劢z是否燒斷進(jìn)行檢測(cè)，提高了晶圓檢測(cè)的準(zhǔn)確率，降低封裝成本。
文檔編號(hào)G01N21/95GK103018650SQ20121051006
公開(kāi)日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
發(fā)明者虞君新, 劉波 申請(qǐng)人:無(wú)錫圓方半導(dǎo)體測(cè)試有限公司